摘要 0T))>.iu# S}cF0B1E* 5B*qbM 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
5UO k)rOf J8;Okzb!L 设计任务 ? ) _7U Y<Q\d[3^F Ae49n4J 连接建模技术：蛾眼结构 wmYvD< /DO'IHC.o 4ht\&2&: 光栅阶数分析器 C9jbv/c 9":2"<'+ V]c5
Z$B d 元件内场分析器：FMM h|p[OecG hYb9`0G"2 t5) J;0/ 参数运行 F=}Z51|:~ \hbi U ] _M5Xk? e= 参数优化 54q3R`y qks|d_ O
>FO> 模拟结果 kCA5|u Of`c`-<j 通过计算器进行参考测量 " H1:0p ;+`uER gX,9Gh 结构内的场 U9#WN.noG #T \ 8i: [:Z @!\K>G >9[ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 z+3 9ee ]MAT2$"le (F8 AL6 初始解决方案 #1 的参数优化
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