摘要 _M+'30
9x,Aqr$t SzR0Mu3uK 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
oW-Tw@D >eg&i(C+ 设计任务 dhN[\Z% I?v)>||Q oh`I$ 连接建模技术:蛾眼结构 O`O{n_o^u OE-$P n37C"qJ/i 光栅阶数分析器 <JHU*Z R0;c'W) $EbxV"b+ 元件内场分析器:FMM *$x/(!UE
f)q\RJA)X )#MKOsOct 参数运行 kwdmw_ #lQbMuR lph3"a^ 参数优化 !%NxSJ
p2PD';" .s|n}{D_i 模拟结果 6g!#"=ls; 6hYv 通过计算器进行参考测量 9u1)Kr=e
,JT|E~P?8 )$yqJ6y5 结构内的场 Hjli)*ev .9> er "uCx.Q9ef \~Zj](# 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 B8 -/C\ bK; -X cm BnqAv xX 初始解决方案 #1 的参数优化 5Ga>qIM *#Hi W) SY["(vP%# 最终设计 #1 的性能分析 +Bv{A3E9 Eszwg 初始解决方案 #2 的参数优化 &qFdP'E;$ "*#$$e53A x2/|i?ZO 最终设计 #2 的性能分析 3j0/&ON