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YW \0k5[ t*<#<a 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
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n~=! 元件内部场分析仪：FMM sbj(|1,ac
a VL=K YXurYwV 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
Mb1t:Xf^g ORXm&z) 评估模式的选择 i g LMv+{ ^ci3F< ?Q= *+ '2?* 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
K$K^=> I"o *=V7@o 评价区域的选择 W|:lVAP.|} me6OPc;:! C ;QAT +
b$=[nfG 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
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< 65h @}9,U 不同光栅结构的场分布 `LAR@a5i x_Jwd^`t! 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
4wd& 55=2 8}X 5o]Mv ;w|b0V6 光栅结构的采样 'Jf^`ZT} Y{v(p7pl 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
")O`mXg- Y HSYu 7QKr_ 8d*/HF)h 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
5zFR7/p{ ZCKka0* 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
b"!Q2S~ #P]#9Ty: >9RD_QG7 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） Q+b
D}emd ae:zWk'! .<tqusw g 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
w C `+ W^3uEm&l!) 输出数据的采样：二维周期光栅 b@3 _L4~ pfu1 O6R 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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