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@T~% qhmA)AWG> 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
lT8^BT {A\y 4D@ 元件内部场分析仪：FMM 7-}/{o*,5 /~+ j[o B C }71SlN'M 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
-yMD 9b N p? / r} 评估模式的选择 yW;]J8 7* R aA7 U 7G%^8
ce{! 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
8I b 5 : n\D 评价区域的选择 `8D'r|=`Eh 4EJ6Zy
~Dj_N$_+9 O/ZyWT 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
`o%Ua0x2 fn.}LeeS> 不同光栅结构的场分布 6~Y`<#X5J @}tk/7-E 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
)C >M74Bt `7_s@4: eSSv8 [u 光栅结构的采样 rlkg.e6 &z "yls 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
(oB9$Zz!t 7.B]B,] 
ys9MV%* SA.,Q~_T7 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
ANd#m9(x HNV"'p; 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
5x}Or fDU @W!cC#u mTZgvPJ! 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） R1\$}ep^ XD|vB+j\O *Ui>NTl 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
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G= 输出数据的采样：二维周期光栅 G `JXi/#` lISu[{b? 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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