摘要
{UP[iw$~ ny13+Q`^ 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
A|f6H6UUx m*_X PY Bu=1-8@=qs 1. 建模任务
t~o"x . R*:$^v@4 2. 干涉条纹的变化
vmAnBY d|RUxNjM-J SDC|>e9i
3. VirtualLab Fusion概览
;9z|rWsF 3Sfd|0^ J "I,] 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
p}!i_P 设置输入场
I9qZE=i - Basic Source Models [教程视频]
gP
QOv 定义组件的位置和方向
vz4(
k/ - Basic Source Models [教程视频]
>M2~p&Si 正确设置通道以进行非顺序跟踪
5m~9Vl-& - Basic Source Models [使用案例]
;"Gy5 使用
参数运行检查影响/变化
*`+zf7-f - Usage of the Parameter Run Document [用例]
G"FO%3&| %9>w|%+;U+ ,A` |jF aDRcVA$* 5. VirtualLab Fusion 技术
mh}D[K=~% }
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