摘要
\sITwPA[z #3+~.,X9 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
SB/3jH _4v"")Xe T)~!mifX 1. 建模任务
Y&5.9 s@' n[P\*S 2. 干涉条纹的变化
Im+7<3Z j`9Qzi1 m8+:=0|$
3. VirtualLab Fusion概览
ceG&,a$\ Bzw19S6y ?A&%Cwj 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
SO_>c+Dw 设置输入场
1O0X-C,wo$ - Basic Source Models [教程视频]
#A )Ab%r8" 定义组件的位置和方向
JD*8@N - Basic Source Models [教程视频]
~j"3}wXc5 正确设置通道以进行非顺序跟踪
(hN?:q?' - Basic Source Models [使用案例]
*V DVC0R 使用
参数运行检查影响/变化
dlR_ckp - Usage of the Parameter Run Document [用例]
`XgFga) PS}73Y# 1'fb
@vO 3+V#[JBJv 5. VirtualLab Fusion 技术
NO4Z"3Pd_ /[{auUxSX