摘要
@Ys(j$U't sog?Mvoq 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
KG4~t=J` fdck/|`t {1#5\t>9yD 1. 建模任务
GNZQj8 %Kw5b ; 2. 干涉条纹的变化
v )%EG @H]g_yw [: o-("S|A-
3. VirtualLab Fusion概览
vF]?i $O%lYQY] 85w
D<bN27 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
Kcsje_I-M 设置输入场
IW$&V``v - Basic Source Models [教程视频]
h:a5FK@ 定义组件的位置和方向
9/~m837x - Basic Source Models [教程视频]
ag:#82C 正确设置通道以进行非顺序跟踪
fR_)e: - Basic Source Models [使用案例]
zc*qmb 使用
参数运行检查影响/变化
p#^L
ZX - Usage of the Parameter Run Document [用例]
v~L} : FT[wa-b SKD!V6S Tk|0
scjE^ 5. VirtualLab Fusion 技术
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