摘要
O,D/& 0 H
Z) an 白光
干涉测量法是一种非接触式技术，用于精确测量，例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源，在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性，即有限的相干长度，结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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$ap6Vxjr 1. 建模任务
Sd9%tO9mf pBR9)T\ n 2. 干涉条纹的变化
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3. VirtualLab Fusion概览
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}Ghh%] `i"7; _HoV 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
!et[Rdbu 设置输入场
XX9u%BZ~ - Basic Source Models [教程视频]
n !oxwA! 定义组件的位置和方向
RZL:k;}5 - Basic Source Models [教程视频]
jI%g! 正确设置通道以进行非顺序跟踪
'#*5jn]CqB - Basic Source Models [使用案例]
~N!-4-~p 使用
参数运行检查影响/变化
aP`[O]8j - Usage of the Parameter Run Document [用例]
.ou#BWav/ ^1}Y=! & _Pe,84 Ro VNggDKS~K 5. VirtualLab Fusion 技术
QRw/d}8l F Cp\w1+
