摘要
(+SL1O P ipE|)Ns 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
\,#;gS" B`YD>oCN OC)=KV@KE 1. 建模任务
DOOF--ua k2(k0HFR 2. 干涉条纹的变化
' g d=\gV ix"BLn]YZ
gvr&7=p 3. VirtualLab Fusion概览
}0sLeGJ! [+L!c}# 86>@.:d 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
1bjz :^ 设置输入场
+BDW1% - Basic Source Models [教程视频]
{<1uV']x 定义组件的位置和方向
bokr,I3 - Basic Source Models [教程视频]
3
2"f'{ 正确设置通道以进行非顺序跟踪
kek/C`7 - Basic Source Models [使用案例]
T-h[$fxR_ 使用
参数运行检查影响/变化
luW"| - Usage of the Parameter Run Document [用例]
uAs!5h H^dw=kS
y\,,hs ui-]%~ 5. VirtualLab Fusion 技术
\Rs9B . hhz#IA6,