摘要
= 07]z@s 60)iw4<wf 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
bQZ*r{g bC3 F |K^"3`SJ 1. 建模任务
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9oH,gZ 2. 干涉条纹的变化
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)|I5j];L 3. VirtualLab Fusion概览
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iMh =SAU4xjo MCP "GZK6W 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
/2RajsK 设置输入场
3J=Y9 } - Basic Source Models [教程视频]
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&B28Qe) 定义组件的位置和方向
?9X&tK)E- - Basic Source Models [教程视频]
_zu?.I0^ 正确设置通道以进行非顺序跟踪
7'-j%!#w - Basic Source Models [使用案例]
,\aUq|~ 使用
参数运行检查影响/变化
Jz! Z2c - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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(?*BB3b` 0iZGPe~ 5. VirtualLab Fusion 技术
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