*/OKg;IMi 内容简介
T0@$6&b%\z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
!tSh9L;<O 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
)XDbg> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
m7u" awM^ /@1pm/>ZaN 讯技科技股份有限公司
/z)Nz2W 2015年9月3日
"H]R\xp 目录
? U* `!- Preface 1
M6j~`KSE 内容简介 2
3:>hHQi 目录 i
3U'l'H, 1 引言 1
>=86*U~ 2 光学薄膜基础 2
?z0W1a 2.1 一般规则 2
"|BSGV!8 2.2 正交入射规则 3
uQ%3?bx)T 2.3 斜入射规则 6
}nptmc 2.4 精确计算 7
-56gg^Pnr 2.5 相干性 8
C%|m[,Gx 2.6 参考文献 10
BZ(DP_}&D 3 Essential Macleod的快速预览 10
4Ik'beZqK 4 Essential Macleod的特点 32
!R![:T\, 4.1 容量和局限性 33
{$V2L4 4.2 程序在哪里? 33
<`u_O!h 4.3 数据文件 35
ByacSN 4.4 设计规则 35
kJ?AAPC 4.5 材料数据库和
资料库 37
Ph)>;jU 4.5.1材料损失 38
1--Ka& H 4.5.1材料数据库和导入材料 39
>qPP_^] 4.5.2 材料库 41
TkVqv v 4.5.3导出材料数据 43
%LuA:{EVD 4.6 常用单位 43
. I."q 4.7 插值和外推法 46
MpTOC&NG%s 4.8 材料数据的平滑 50
'>HLE) l 4.9 更多光学常数模型 54
f@k.4aS 4.10 文档的一般编辑规则 55
r5y*SoD! 4.11 撤销和重做 56
Tv9\`F[ 4.12 设计文档 57
>uDC!0)R 4.10.1 公式 58
{w@9\LsU 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
!3{;oU%* 4.10.3 沉积密度 59
<`?%Cz AO 4.10.4 平行和楔形介质 60
d5`D[,]d 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
ay#f\P!1 4.10.4 性能 61
r]U8WM3r
4.10.5 保存设计和性能 64
SXC
7LJm<g 4.10.6 默认设计 64
/&9R*xNST# 4.11 图表 64
3"sXN)j 4.11.1 合并曲线图 67
/.~zk(-&h 4.11.2 自适应绘制 68
nb ?(zDJ8 4.11.3 动态绘图 68
v57<b&p26 4.11.4 3D绘图 69
Xc4zUEO9 4.12 导入和导出 73
< FY%QB)h 4.12.1 剪贴板 73
K &%8w 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
t*)!BZ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
fe8hgTP| 4.13 背景 77
C;%dZ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
zZP/C
4.15 生成Rugate 84
C{+JrHV%h 4.16 参考文献 91
$R+rB;=a! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
?6HnN0A) 5.1 Jobs 92
Dy:r)\KX 5.2 创建一个新Job(工作) 93
:i|]iXEI" 5.3 输入材料 94
J/3$I 5.4 设计数据文件夹 95
wk{]eD% 5.5 默认设计 95
4dm0:,
G 6 细化和合成 97
y0p\Gu;3j 6.1 优化介绍 97
)[u'LgVN/L 6.2 细化 (Refinement) 98
dkqyn"^ 6.3 合成 (Synthesis) 100
4P"XT 6.4 目标和评价函数 101
V(g5Gn? 6.4.1 目标输入 102
c|Z6p{)V 6.4.2 目标 103
7#SfuZ0@ 6.4.3 特殊的评价函数 104
9Q*:II 6.5 层锁定和连接 104
bR;.KC3C 6.6 细化技术 104
sk*vmxClY 6.6.1 单纯形 105
3sW!ya-VZ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
J#q^CWN3R 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
|>1#)cONW 6.6.2.1 Optimac参数 108
!}5rd\ 6.6.3 模拟退火算法 109
@sW!g;\T 6.6.3.1
模拟退火参数 109
)3<>H!yG} 6.6.4 共轭梯度 111
5X9L h_p 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
&aa3BgxyE 6.6.5 拟牛顿法 112
4j'`,a= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
t<j_` %`8 6.6.6 针合成 113
4Xww(5?3 6.6.6.1 针合成参数 114
TQPrOs? 6.6.7 差分进化 114
o,S(;6pDJ 6.6.8非局部细化 115
t*dq*(3"c 6.6.8.1非局部细化参数 115
URt+MTU[ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
;),,Hk 6.7.1 细化 116
r'lANl-v 6.7.2 合成 117
YK5(o KFN 6.8 参考文献 117
ZE=
Yn~XM 7 导纳图及其他工具 118
/5Vv5d/Z4! 7.1 简介 118
5:#|Op N 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
(_6JQn 7.2.1 四分之一
波长规则 119
W}%"xy ]N 7.2.2 导纳图 120
~Nf|,{[(5 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
JT=ax/%Mo 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
l ?YO!$ 7.5 斜入射导纳图 141
rq Uk_|Xa 7.6 对称周期 141
>3~)2)Q 7.7 参考文献 142
2m} bddS 8 典型的镀膜实例 143
O%6D2d 8.1 单层抗反射薄膜 145
?RW1%+[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
U0iV
E+)Bt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
fVVD}GM= 8.4 W-膜层 148
kbJ4CF}H 8.5 V-膜层 149
~B?Wg! 8.6 V-膜层高折射基底 150
)heHERbJ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
qJ<l$Ig 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
%<'.c9u5 8.9 四层抗反射薄膜 153
ZLdIEBi= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
YU!s;h 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
E@#<p-@~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
5uOz #hN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
0\s&;@xKk 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Q1x15pVku/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
x9S9%JG : 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
9\T9pjdZE 8.17 1/4波长堆栈 162
2;J\Z=7 8.18 陷波滤波器 163
>oaL -01i 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
TCIbPsE 8.20 褶皱 165
ULgp]IS 8.21 消偏振分光器1 169
)[r=(6?n 8.22 消偏振分光器2 171
Z",2db 8.23 消偏振立体分光器 172
WK@<# 8.24 消偏振截止滤光片 173
pYu6[ 8.25 立体偏振分束器1 174
@*- 6DG-f 8.26 立方偏振分束器2 177
E H%hL5( 8.27 相位延迟器 178
!_;J@B 8.28 红外截止器 179
>,I'S2_Zl 8.29 21层长波带通滤波器 180
lC,~_Yb 8.30 49层长波带通滤波器 181
45$aq~%as 8.31 55层短波带通滤波器 182
%+<1X?;,Fq 8.32 47 红外截止器 183
,'9R/7%s 8.33 宽带通滤波器 184
8V9OMOt! 8.34 诱导透射滤波器 186
0PsQ
1[1 8.35 诱导透射滤波器2 188
jUgx
;= 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
oA7| s1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
v-^tj}jA 8.35 增益平坦滤波器 193
r.6?| 8.38 啁啾反射镜 1 196
,"{e$|iY 8.39 啁啾反射镜2 198
VeZd\Oe 8.40 啁啾反射镜3 199
IN;9p w 8.41 带保护层的铝膜层 200
KrHKM 3< 8.42 增加铝反射率膜 201
pjFj{ 8.43 参考文献 202
wzJdS}Yy!y 9 多层膜 204
1<MJ3"60 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
\Sv|yQUT 9.2 内部透过率 204
:i@
$s/ 9.3 内部透射率数据 205
Q9B!0G.-bs 9.4 实例 206
-m mQ]'.0 9.5 实例2 210
Kv<mDA! 9.6 圆锥和带宽计算 212
~l{Qz0& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
{fX~%%c" 10 光学薄膜的颜色 216
Sm?|,C3V 10.1 导言 216
RAws{<6T- 10.2 色彩 216
U>m{B|H 10.3 主波长和纯度 220
]gm3|-EiY 10.4 色相和纯度 221
a1u4v/Qu9 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
1uR@ZK 10.6 色差 226
{?EmO+![} 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
; C(5lD&\5 10.8 颜色渲染指数 234
D%c^j9' 1 10.9 色差计算 235
+7nvy^m 10.10 参考文献 236
>K1e=SY 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
%g3QE:(2@q 11.1 短脉冲 238
yOvV"x] 11.2 群速度 239
[7[Qw]J 11.3 群速度色散 241
B,%KvL&xMX 11.4 啁啾(chirped) 245
p>:.js5.a 11.5 光学薄膜—相变 245
7!FiPH~kM 11.6 群延迟和延迟色散 246
l @@pXg3 11.7 色度色散 246
F MYcZ+4 11.8 色散补偿 249
@ PhAg 11.9 空间
光线偏移 256
6Yt3Oq<U 11.10 参考文献 258
`w8cV? 12 公差与误差 260
\Cin%S.C 12.1 蒙特卡罗模型 260
Gl45HyY_ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
N2k{@DY 12.2.1 误差工具 267
LTH,a?lD 12.2.2 灵敏度工具 271
%W| Sl 12.2.2.1 独立灵敏度 271
!W0JT#0 12.2.2.2 灵敏度分布 275
~i'!;'-_} 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
SkVah:cF- 12.3 参考文献 276
_^zs( 13 Runsheet 与Simulator 277
~|ZAS] 13.1 原理介绍 277
H1KXAy`& 13.2 截止滤光片设计 277
Gv
} 14 光学常数提取 289
:eB+t`M 14.1 介绍 289
O&~
@ior 14.2 电介质薄膜 289
B9cWxe4R# 14.3 n 和k 的提取工具 295
f;l}Z|dok6 14.4 基底的参数提取 302
|E||e10wR 14.5 金属的参数提取 306
<mTo54g 14.6 不正确的模型 306
A=e1uBGA 14.7 参考文献 311
F{.g05^y 15 反演工程 313
]~f-8!$$R 15.1 随机性和
系统性 313
xy$aFPH!- 15.2 常见的系统性问题 314
Gi$\th, 15.3 单层膜 314
CL-?Mi=Uc 15.4 多层膜 314
CtD<%v3` 15.5 含义 319
{Dy,|}7s 15.6 反演工程实例 319
;:J"- p 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
,pf\g[tz 15.6.2 反演工程提取折射率 327
QyZ'%T5J 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
sE|8a 16.1 光学性质的热致偏移 329
Z.unCf3Q 16.2 应力工具 335
[O!/hppN 16.3 均匀性误差 339
6U%d3"T 16.3.1 圆锥工具 339
5xNOIOpDB 16.3.2 波前问题 341
3!QXzT$E 16.4 参考文献 343
p?P.BU\CR 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
w+5OI9 17.1 引言 345
AxTFVot 17.2 操作数 345
s=E6HP@q 18 如何在Function中编写脚本 351
}S13]Kk?= 18.1 简介 351
-qpM 6t 18.2 什么是脚本? 351
_z.CV< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
~YviXSW 18.4 基础 352
EBQ_c@ 18.4.1 Classes(类别) 352
!/|B4Yv 18.4.2 对象 352
cSG(kFQ 18.4.3 信息(Messages) 352
fLSDt(c', 18.4.4 属性 352
0D `9 18.4.5 方法 353
\RFA?PuY 18.4.6 变量声明 353
Dsv2p~ 18.5 创建对象 354
UX|3LpFX&I 18.5.1 创建对象函数 355
HAs/f#zAk6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
,,#6SR(n 18.5.3 丢弃对象 356
%.\+j,G7 18.5.4 总结 356
u3UN 18.6 脚本中的表格 357
9]tW; ? 18.6.1 方法1 357
>!o!rs 18.6.2 方法2 357
r4K%dx-t 18.7 2D Plots in Scripts 358
["ocZ? x 18.8 3D Plots in Scripts 359
pXh`o20I 18.9 注释 360
19oyoi" 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
;4v`FC> 18.11 一个更高级的脚本 362
I\j- 18.12 <esc>键 364
`G*fx=N 18.13 包含文件 365
Tpkt'|8 18.14 脚本被
优化调用 366
.uN(44^+x 18.15 脚本中的对话框 368
XQ}7.u! 18.15.1 介绍 368
07ppq?,y 18.15.2 消息框-MsgBox 368
'C:i5?zh(q 18.15.3 输入框函数 370
v6=X]Ji{YA 18.15.4 自定义对话框 371
&/otoAr( 18.15.5 对话框编辑器 371
#X'su`+ 18.15.6 控制对话框 377
20J-VN: 18.15.7 更高级的对话框 380
$h=v;1" 18.16 Types语句 384
Hf30ve} 18.17 打开文件 385
|^F$Ta 18.18 Bags 387
} z7yS.{ 18.13 进一步研究 388
V^}$f3\B 19 vStack 389
n 4H'FZ 19.1 vStack基本原理 389
B LZ<"npn 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
"#f5jH 19.3 五棱镜 393
*F(<:3;2 19.4 光束距离 396
0}9j l 19.5 误差 399
,eqRI>,\ 19.6 二向分色棱镜 399
F6h IG G 19.7 偏振泄漏 404
{!.w} 19.8 波前误差—相位 405
a785xSUV 19.9 其它计算参数 405
i?mUQ'H 20 报表生成器 406
Rdj^k^V+a1 20.1 入门 406
}ZiJHj'< 20.2 指令(Instructions) 406
<l+hcYam 20.3 页面布局指令 406
eOZ~p 20.4 常见的参数图和三维图 407
tWTC'Gx-J 20.5 表格中的常见参数 408
xKepZ 20.6 迭代指令 408
-Wre4^,v 20.7 报表模版 408
l$W)Vk<B(T 20.8 开始设计一个报表模版 409
87+u`~ 21 一个新的project 413
PdRDUG{Jy 21.1 创建一个新Job 414
7+6I~&x!Lz 21.2 默认设计 415
,bB}lU) 21.3 薄膜设计 416
jD6T2K7i 21.4 误差的灵敏度计算 420
Ms+SJ5Lg 21.5 显色指数计算 422
#TeAw<2U 21.6 电场分布 424
,1vFX$ 后记 426
N5x I;UV9' 有兴趣可以扫码加微咨询
Q,ZV C