]7 GlO9 内容简介
Ve 3 ; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
)]6hy9< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
~Qj}ijWD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
P
}7zE3V |CD"*[j] 讯技科技股份有限公司
$K}DB N; 4 2015年9月3日
(c\hy53dP 目录
Xz{~3ih Preface 1
UmU:j@xvg 内容简介 2
8G^<[`.@j 目录 i
a$11PBi[9 1 引言 1
B|=|.qp$) 2 光学薄膜基础 2
f i~I@KJ> 2.1 一般规则 2
*A}WP_ZQ 2.2 正交入射规则 3
e79KbLV 2.3 斜入射规则 6
0JyVNuHn 2.4 精确计算 7
}M>rE 2.5 相干性 8
[j,txe?n 2.6 参考文献 10
&p(0K4: 3 Essential Macleod的快速预览 10
PH3 >9/H 4 Essential Macleod的特点 32
-%c<IX>z9 4.1 容量和局限性 33
U7$WiPTNL9 4.2 程序在哪里? 33
w|Cx>8P8@ 4.3 数据文件 35
.)XP\m\ 4.4 设计规则 35
JgRYljQi2 4.5 材料数据库和
资料库 37
nA7M8HB 4.5.1材料损失 38
R3.*dqo$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
TYns~X_PR 4.5.2 材料库 41
h:bru:ef 4.5.3导出材料数据 43
63WS7s" 4.6 常用单位 43
A#h /B+ 4.7 插值和外推法 46
{jKI^aC<[ 4.8 材料数据的平滑 50
QfjN"25_ 4.9 更多光学常数模型 54
.N m su+s 4.10 文档的一般编辑规则 55
=<z.mzqu5 4.11 撤销和重做 56
/s:fW+C 4.12 设计文档 57
\6I+K" 4.10.1 公式 58
{MdLX.ycc) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
&K+0xnUH 4.10.3 沉积密度 59
_~'+Qe_o$5 4.10.4 平行和楔形介质 60
<W)u{KS#TY 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
'_P\#7$!MV 4.10.4 性能 61
U/{6%
Qy 4.10.5 保存设计和性能 64
eet Q}] 4.10.6 默认设计 64
w(d>HHg 4.11 图表 64
"`Ge~N[$A 4.11.1 合并曲线图 67
G[Lpe 4.11.2 自适应绘制 68
tiPa6tQ 4.11.3 动态绘图 68
WCJxu}! 4.11.4 3D绘图 69
vdDludEv 4.12 导入和导出 73
;
0v>Rfa 4.12.1 剪贴板 73
$:s`4N^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
\00DqL(Oj` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
6.1)IQkO 4.13 背景 77
a,t``'c; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
aolN<u3G 4.15 生成Rugate 84
YGvUwj'2a 4.16 参考文献 91
13'vH]S$M 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
%(/!ljh_ 5.1 Jobs 92
F^$led1/F 5.2 创建一个新Job(工作) 93
fl\aqtF 5.3 输入材料 94
d)o!5L 5.4 设计数据文件夹 95
G_H?f\/ 5.5 默认设计 95
Sw&!y$ed 6 细化和合成 97
,Tagj`@bHc 6.1 优化介绍 97
<+j)P4O4 6.2 细化 (Refinement) 98
U5HKRO 6.3 合成 (Synthesis) 100
\!50UVzm) 6.4 目标和评价函数 101
o PKr*
`' 6.4.1 目标输入 102
/Dtd#OAdr 6.4.2 目标 103
&QX`NO6 6.4.3 特殊的评价函数 104
b,TiMf9},h 6.5 层锁定和连接 104
[Qt?W gPj 6.6 细化技术 104
RkeltE~u 6.6.1 单纯形 105
(6p]ZY 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Scm36sT{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
NG&_?|OmV 6.6.2.1 Optimac参数 108
eas:6Q) 6.6.3 模拟退火算法 109
<+#oBN 6.6.3.1
模拟退火参数 109
j9+I0>#X 6.6.4 共轭梯度 111
S/ywA9~3Q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
>kZ57, 6.6.5 拟牛顿法 112
lS^(&<{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
FbnO/! $8 6.6.6 针合成 113
T=a=B( 6.6.6.1 针合成参数 114
;^Sr"v6r>u 6.6.7 差分进化 114
_M[,!{ C 6.6.8非局部细化 115
Qcjc, 6.6.8.1非局部细化参数 115
Y<"7x#AB! 6.7 我应该使用哪种技术? 116
vP@v.6gS, 6.7.1 细化 116
h_d +$W5 6.7.2 合成 117
'V+dBt3 6.8 参考文献 117
`~UZU@/x 7 导纳图及其他工具 118
_lKZmhi 7.1 简介 118
]&~]#vB# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
lOwS&4UT 7.2.1 四分之一
波长规则 119
i|)Su4Dw 7.2.2 导纳图 120
@.$Xv>Jt$ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
H=g.34 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
^[-el=oKn0 7.5 斜入射导纳图 141
P|2E2=G 7.6 对称周期 141
39F
Of 7.7 参考文献 142
l%z< (L5 8 典型的镀膜实例 143
\o-&f: 8.1 单层抗反射薄膜 145
-F"QEL# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
yV3^Qtb! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
(R~]|?:wt 8.4 W-膜层 148
9mc!bj^811 8.5 V-膜层 149
mV73
\P6K 8.6 V-膜层高折射基底 150
MF3b{|Z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
|sZ! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
[OTJV pC 8.9 四层抗反射薄膜 153
,B&fFis 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
8 #X5K 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
; R=.iOn 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
H`8``#-|@S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
f=!PllxL: 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
&0TVi 8.15十五层宽带抗反射膜 159
+bK.NcS 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
oBq 49u1 8.17 1/4波长堆栈 162
3($"q]Y 8.18 陷波滤波器 163
5m=I*.qE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
*tOG*hwdT 8.20 褶皱 165
6<,dRn 8.21 消偏振分光器1 169
n26Y]7N 8.22 消偏振分光器2 171
6J~12TU, 8.23 消偏振立体分光器 172
CSbI8 5F 8.24 消偏振截止滤光片 173
X.K<4N0A9J 8.25 立体偏振分束器1 174
ki0V8]HP 8.26 立方偏振分束器2 177
=ItkFjhBc 8.27 相位延迟器 178
*?+V65~dW 8.28 红外截止器 179
Dlo xrdOY& 8.29 21层长波带通滤波器 180
FEPXuCb 8.30 49层长波带通滤波器 181
fW`&'! 8.31 55层短波带通滤波器 182
&bqT/H18 8.32 47 红外截止器 183
)5JU:jNy 8.33 宽带通滤波器 184
.,~(%#Wl$ 8.34 诱导透射滤波器 186
G1t\Q-|l0 8.35 诱导透射滤波器2 188
YJs|c\ eq? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
aw?=hXR! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
/:<IIqO. 8.35 增益平坦滤波器 193
:{'k@J"|a 8.38 啁啾反射镜 1 196
qjJBcu_C'S 8.39 啁啾反射镜2 198
bi ozZ 8.40 啁啾反射镜3 199
Z=4{Vv* 8.41 带保护层的铝膜层 200
-IlJ^Al4 8.42 增加铝反射率膜 201
FVv8-- 8.43 参考文献 202
>U1R.B7f 9 多层膜 204
OI}
&m^IOo 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
obK*rdg, 9.2 内部透过率 204
*'"T$ib 9.3 内部透射率数据 205
k{tMzx]F__ 9.4 实例 206
bW#@OrsS 9.5 实例2 210
a</D_66 9.6 圆锥和带宽计算 212
]maYUKqv}' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
4GG>!@| 10 光学薄膜的颜色 216
30PZ{c&Rll 10.1 导言 216
krq/7| 10.2 色彩 216
Y\],2[liF 10.3 主波长和纯度 220
+ SZYg[ 10.4 色相和纯度 221
jNwjK0? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
c/L>>t 10.6 色差 226
dk
QaM@ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
V~GWl1#7 10.8 颜色渲染指数 234
x?x`oirh 10.9 色差计算 235
o01kYBD 10.10 参考文献 236
Sj'ht= 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
_$<Gyz* 11.1 短脉冲 238
` b !5^W 11.2 群速度 239
$@\mpwANl 11.3 群速度色散 241
G.+l7bnZM 11.4 啁啾(chirped) 245
kE.x+2 11.5 光学薄膜—相变 245
dAP|:&y@ 11.6 群延迟和延迟色散 246
@=w<B4L 11.7 色度色散 246
Q|}aR:4 11.8 色散补偿 249
gADmN8G= 11.9 空间
光线偏移 256
rI5Foh6 11.10 参考文献 258
jk\ dG16 12 公差与误差 260
M-NV_W&M 12.1 蒙特卡罗模型 260
EG'[`<*h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
~5ZvOX6L2 12.2.1 误差工具 267
Xf=XBoN| 12.2.2 灵敏度工具 271
W$dn_9W 12.2.2.1 独立灵敏度 271
"SN4* 12.2.2.2 灵敏度分布 275
]!:oYAm 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
STfyCtS 12.3 参考文献 276
k<w(i
k1bi 13 Runsheet 与Simulator 277
qZ@0]"h 13.1 原理介绍 277
A]`El8_t" 13.2 截止滤光片设计 277
ezhDcI_T 14 光学常数提取 289
6Dws,_UAZ4 14.1 介绍 289
{vaaFs 14.2 电介质薄膜 289
R8*Q$rH< 14.3 n 和k 的提取工具 295
u{&B^s)k. 14.4 基底的参数提取 302
^x*nq3^h\ 14.5 金属的参数提取 306
@Un/c:n 14.6 不正确的模型 306
Y**|N8e 14.7 参考文献 311
"%WgT2)m. 15 反演工程 313
,!G{5FF8: 15.1 随机性和
系统性 313
puSLqouTM 15.2 常见的系统性问题 314
|1Dc!V'?" 15.3 单层膜 314
fBBa4"OK= 15.4 多层膜 314
aRj>iQaddx 15.5 含义 319
e"-X U@`k1 15.6 反演工程实例 319
?wMHS4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Mr+@c) 15.6.2 反演工程提取折射率 327
7RU}FE 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
OwzJO 16.1 光学性质的热致偏移 329
dNY"]b 16.2 应力工具 335
'f8(#n=6qP 16.3 均匀性误差 339
N5|Rmfo1 16.3.1 圆锥工具 339
XA0(f* 16.3.2 波前问题 341
si1*Wt<3Bc 16.4 参考文献 343
L^kp8o^$ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
NW$H"}+o 17.1 引言 345
Zr$d20M2A; 17.2 操作数 345
1Wg-x0R 18 如何在Function中编写脚本 351
[~5p>' 18.1 简介 351
KYJ1}5n 18.2 什么是脚本? 351
b yg0.+e0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
{TSY|D2 18.4 基础 352
k>4qkigjc 18.4.1 Classes(类别) 352
v=YK8fNi 18.4.2 对象 352
>Dm8m[76 18.4.3 信息(Messages) 352
{mYP<NBT 18.4.4 属性 352
ske@uzAz 18.4.5 方法 353
g]mtFrP 18.4.6 变量声明 353
&Y|Xd4: 18.5 创建对象 354
$KV&\Q3\0 18.5.1 创建对象函数 355
n[xkSF^) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
xIbMs4'iEx 18.5.3 丢弃对象 356
X[C3&NX#_ 18.5.4 总结 356
a+41|)pt 18.6 脚本中的表格 357
*xRc *
:0 18.6.1 方法1 357
+,'T=Ic{ 18.6.2 方法2 357
huFz97?y( 18.7 2D Plots in Scripts 358
&!.HuRiuC 18.8 3D Plots in Scripts 359
r >{G`de4 18.9 注释 360
=?@Q-(bp 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
1V&PtI3!! 18.11 一个更高级的脚本 362
-xmf'c9P 18.12 <esc>键 364
'3tw<k!1{. 18.13 包含文件 365
cleOsj;S 18.14 脚本被
优化调用 366
@B1{r|-<^ 18.15 脚本中的对话框 368
{E9v`u\ 18.15.1 介绍 368
O0~vf[i]; 18.15.2 消息框-MsgBox 368
l4'~}nn(Y 18.15.3 输入框函数 370
$j`
$[tX6l 18.15.4 自定义对话框 371
qV1O-^&[f= 18.15.5 对话框编辑器 371
Rz <OF^Iy 18.15.6 控制对话框 377
V*n==Nb5L 18.15.7 更高级的对话框 380
IY(h~O 18.16 Types语句 384
d{+(Lpj^ 18.17 打开文件 385
oT+(W,G 18.18 Bags 387
8m=Z|"H@ 18.13 进一步研究 388
H>7dND2; 19 vStack 389
AMlV%U# 19.1 vStack基本原理 389
sLh0&R7 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
=iz,S:[ 19.3 五棱镜 393
9G+f/k,P 19.4 光束距离 396
Evu=M-? 19.5 误差 399
M8W# io 19.6 二向分色棱镜 399
.CV _\ 19.7 偏振泄漏 404
$N+6h# 19.8 波前误差—相位 405
CDg AGy 19.9 其它计算参数 405
q|#MB7e/ 20 报表生成器 406
_+QwREP 20.1 入门 406
E{^^^"z P 20.2 指令(Instructions) 406
cf8-]G?tK 20.3 页面布局指令 406
y%(X+E"n* 20.4 常见的参数图和三维图 407
M]_E 20.5 表格中的常见参数 408
)qM|3], 20.6 迭代指令 408
6vz1*\:H~ 20.7 报表模版 408
`7Ug/R< 20.8 开始设计一个报表模版 409
+cg
{[f,J; 21 一个新的project 413
b](o]O{v 21.1 创建一个新Job 414
hY;_/!_ 21.2 默认设计 415
$C_M&O} 21.3 薄膜设计 416
Ek .3 21.4 误差的灵敏度计算 420
F|eu<^"$ H 21.5 显色指数计算 422
IsYP0(L 21.6 电场分布 424
|HbEk[?^s 后记 426
>9(i)e 有兴趣可以扫码加微咨询
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