R y(<6u0 内容简介
9_.pLLx Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
,?IXfJ`c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
U2tgBF?)A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
uEG4^ QMmZvz\^ 讯技科技股份有限公司
}_}
2015年9月3日
L/,gD.h^ 目录
A f!`7l- Preface 1
#<U@SMv 内容简介 2
[O|c3; 目录 i
#$L/pRC 1 引言 1
6ecx!uc$ 2 光学薄膜基础 2
7y42)X 2.1 一般规则 2
3Zs0W{OxU 2.2 正交入射规则 3
B1s&2{L6K 2.3 斜入射规则 6
%e)vl[:} 2.4 精确计算 7
>Q ^ mR 2.5 相干性 8
Z_<NUPE 2.6 参考文献 10
iTs"RW 3 Essential Macleod的快速预览 10
xj&~>&U){; 4 Essential Macleod的特点 32
lUp%1x+ 4.1 容量和局限性 33
KK]R@{ r 4.2 程序在哪里? 33
$sZ4r>- 4.3 数据文件 35
g
4|ai*^ 4.4 设计规则 35
=|dm#w_L" 4.5 材料数据库和
资料库 37
`[XH=-p 4.5.1材料损失 38
|nr;OM 4.5.1材料数据库和导入材料 39
J7e/+W~ 4.5.2 材料库 41
w@O)b-b|w 4.5.3导出材料数据 43
"*V'
4.6 常用单位 43
&B=z*m 4.7 插值和外推法 46
CdcBE.%< 4.8 材料数据的平滑 50
)56L`5#tS 4.9 更多光学常数模型 54
WE_'u+!B 4.10 文档的一般编辑规则 55
ZtP/|P5@ 4.11 撤销和重做 56
w^n&S=E E~ 4.12 设计文档 57
AW9%E/{ 4.10.1 公式 58
!vc5NKv#n 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
/R?*i@rvf 4.10.3 沉积密度 59
45iO2W uur 4.10.4 平行和楔形介质 60
h.Sbds 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
3,{;wJ
Z 4.10.4 性能 61
qoZAZ&|HI 4.10.5 保存设计和性能 64
'%:E4oI 4.10.6 默认设计 64
xdY'i0fh 4.11 图表 64
=,i?8Fuz 4.11.1 合并曲线图 67
PJe\PGh 4.11.2 自适应绘制 68
eI|~neh 4.11.3 动态绘图 68
MrOtsX 4.11.4 3D绘图 69
l^o>7 cM 4.12 导入和导出 73
.>PwbZ 4.12.1 剪贴板 73
eecIF0hp 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
;ByCtVm2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
?qn4ea-\P 4.13 背景 77
e%{7CR'~TD 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
P9Eh,j0_ 4.15 生成Rugate 84
{_z6 4.16 参考文献 91
;i+(Q%LO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
-XkjO$=!= 5.1 Jobs 92
t*6C?zEAU 5.2 创建一个新Job(工作) 93
0tMzVxS 5.3 输入材料 94
^{++h?cS) 5.4 设计数据文件夹 95
/w2IL7} 5.5 默认设计 95
dr(e)eD(R> 6 细化和合成 97
W&Xi&[Ux 6.1 优化介绍 97
rEU1
VvE 6.2 细化 (Refinement) 98
^<v.=7cL0 6.3 合成 (Synthesis) 100
"/UPq6 6.4 目标和评价函数 101
|L-- j 6.4.1 目标输入 102
zx"0^r} 6.4.2 目标 103
gq~`!tW' 6.4.3 特殊的评价函数 104
kjQI=:i= 6.5 层锁定和连接 104
tEibxE 6.6 细化技术 104
o(t`XE['< 6.6.1 单纯形 105
CaoQPb* 6.6.1.1 单纯形
参数 106
5VfpeA` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
_nw\ac#* 6.6.2.1 Optimac参数 108
~wGjr7Wt 6.6.3 模拟退火算法 109
+s [_
4 6.6.3.1
模拟退火参数 109
Vt9o8naz 6.6.4 共轭梯度 111
0{?%"t\/f 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
A?)(^ 6.6.5 拟牛顿法 112
6Hd^qouid 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
*t={9h 6.6.6 针合成 113
H-X5A\\5 6.6.6.1 针合成参数 114
xu;^F 6.6.7 差分进化 114
~n/:a 6.6.8非局部细化 115
(ijO|%? 6.6.8.1非局部细化参数 115
y92<(ziaX) 6.7 我应该使用哪种技术? 116
u/\Ipk/ 6.7.1 细化 116
g)MLgjj 6.7.2 合成 117
/`O'eH 6.8 参考文献 117
j{zVVT 7 导纳图及其他工具 118
Vr&v:8:wb 7.1 简介 118
=)]RD%Oq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
-OfAl~ 4 7.2.1 四分之一
波长规则 119
O9{A)b!HB 7.2.2 导纳图 120
!W=2ZlzS 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Me;Nn$'% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
ab 6D & 7.5 斜入射导纳图 141
2b:I. 7.6 对称周期 141
mj y+_ 7.7 参考文献 142
*I9G"R8 8 典型的镀膜实例 143
q#Ik3 5 8.1 单层抗反射薄膜 145
%g4)f9> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
2TaHWw<A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Aca?C 8.4 W-膜层 148
y|wR)\ 8.5 V-膜层 149
$ g#d1u0q 8.6 V-膜层高折射基底 150
TR{dNO!q 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
N=:xyv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
9AQ2FD 8.9 四层抗反射薄膜 153
/ pR,l5 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
9x9E+DG#( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
uQW d1> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
b55G1w 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
%,) Xi 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
8ZO~=e 8.15十五层宽带抗反射膜 159
lx~mn~;x 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
+
V-&?E( 8.17 1/4波长堆栈 162
q.lh 8.18 陷波滤波器 163
_LZ 442 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
]JI
A\|b6 8.20 褶皱 165
jbTyM"Y 8.21 消偏振分光器1 169
F=kiYa} 8.22 消偏振分光器2 171
`P9%[8`C 9 8.23 消偏振立体分光器 172
zPb"6%1B 8.24 消偏振截止滤光片 173
I~c}&'V 8.25 立体偏振分束器1 174
* km- pp 8.26 立方偏振分束器2 177
0 f"M-x 8.27 相位延迟器 178
ve=
nh]N 8.28 红外截止器 179
5{8,+
Z 8.29 21层长波带通滤波器 180
!myF_cv}' 8.30 49层长波带通滤波器 181
XpOQBXbt 8.31 55层短波带通滤波器 182
gr$H?|n l 8.32 47 红外截止器 183
* (<3 oIRS 8.33 宽带通滤波器 184
VnMiZAHR 8.34 诱导透射滤波器 186
N" oJ3-~ 8.35 诱导透射滤波器2 188
oRCD8b? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
z[_Gg8e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
^kj%Ekt7 8.35 增益平坦滤波器 193
885
,3AdA 8.38 啁啾反射镜 1 196
1uhSP!b 8.39 啁啾反射镜2 198
rkWW)h(e 8.40 啁啾反射镜3 199
px_%5^zRQ 8.41 带保护层的铝膜层 200
\R<OT%8 8.42 增加铝反射率膜 201
'+C%]p 8.43 参考文献 202
[x|{VJ(h 9 多层膜 204
93#wU}) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
k$} 6Qd 9.2 内部透过率 204
\t@|-` 9.3 内部透射率数据 205
JTB5#S4W 9.4 实例 206
(*Y ENT} 9.5 实例2 210
Cqk6I gw 9.6 圆锥和带宽计算 212
y<5xlN(+v 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
DnPV
Tp(> 10 光学薄膜的颜色 216
Q /\Hc 10.1 导言 216
ZCVN+::Y 10.2 色彩 216
h9J 10.3 主波长和纯度 220
aG\B?pn- 10.4 色相和纯度 221
Z@`HFZJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
qT L@N9 10.6 色差 226
J&6]3x 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
c^8y/wfok 10.8 颜色渲染指数 234
}'
t*BaU 10.9 色差计算 235
(wIpq<% 10.10 参考文献 236
[VP~~*b 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
{z}OZHJN 11.1 短脉冲 238
th*E"@ 11.2 群速度 239
BK]q^.7+: 11.3 群速度色散 241
/P|jHK|{ 11.4 啁啾(chirped) 245
!P0Oq)q 11.5 光学薄膜—相变 245
SLc'1{ 11.6 群延迟和延迟色散 246
{GiR-q{t 11.7 色度色散 246
-.E<~(fad 11.8 色散补偿 249
$Mp#tH28 11.9 空间
光线偏移 256
1jozM"H7Q 11.10 参考文献 258
z7J2O 12 公差与误差 260
5<ycF_ 12.1 蒙特卡罗模型 260
w#,C{6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
~(`iR xK 12.2.1 误差工具 267
f"5vpU^5* 12.2.2 灵敏度工具 271
H;$O CDRC 12.2.2.1 独立灵敏度 271
DFt1{qS8@u 12.2.2.2 灵敏度分布 275
uIvE~< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
R@r"a&{/ 12.3 参考文献 276
.gWYKZM
13 Runsheet 与Simulator 277
Xu:Sh<:R 13.1 原理介绍 277
K_B-KK(^ 13.2 截止滤光片设计 277
dg1h<]T"9 14 光学常数提取 289
3say&|kJ 14.1 介绍 289
Y m|zM1qc 14.2 电介质薄膜 289
Ro?aDrQ 14.3 n 和k 的提取工具 295
2@aVoqrq# 14.4 基底的参数提取 302
:_Y@,CpIEg 14.5 金属的参数提取 306
D[)g-_3f6< 14.6 不正确的模型 306
X] &Q^ 14.7 参考文献 311
rr#&0`] 15 反演工程 313
[x5T7= 15.1 随机性和
系统性 313
1G+42>?<1 15.2 常见的系统性问题 314
m$:o+IH/ 15.3 单层膜 314
MDS;qZx= 15.4 多层膜 314
p/xxoU 15.5 含义 319
kfBVF%90 15.6 反演工程实例 319
M: qeqn+ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
=x~HcsJ8!R 15.6.2 反演工程提取折射率 327
(&FSoe/![' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
;X !sTs 16.1 光学性质的热致偏移 329
%@5f+5{i!z 16.2 应力工具 335
gfs?H # 16.3 均匀性误差 339
8|w_PP1oE 16.3.1 圆锥工具 339
,.uPlnB_ 16.3.2 波前问题 341
V 3-5:z 16.4 参考文献 343
FMuM:%&J] 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
jyf[O - 17.1 引言 345
n=n!Hn 17.2 操作数 345
tm(.a?p 18 如何在Function中编写脚本 351
2*5Z|
3aX 18.1 简介 351
[|\~-6"7N| 18.2 什么是脚本? 351
A_}F 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
[C)-=.Xx)j 18.4 基础 352
C9U~lcIS 18.4.1 Classes(类别) 352
<5A(rDij 18.4.2 对象 352
keEyE;O}u 18.4.3 信息(Messages) 352
g&H6~ +\ 18.4.4 属性 352
1+PLj[;jJ: 18.4.5 方法 353
{SW}S_ 18.4.6 变量声明 353
i!<