KfsU RTZ 内容简介
P'6eK? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
ZVj/lOP X 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
J!,<NlP0K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
C-abc+/ %P2GQS-N 讯技科技股份有限公司
;V~[kF=t0 2015年9月3日
@e_ bG@ 目录
Mg0[PbS Preface 1
E1'HdOh&z 内容简介 2
O!(M:. 目录 i
B#_<? 1 引言 1
h7|#7 d 2 光学薄膜基础 2
2WRa@;Tj 2.1 一般规则 2
}0Qex=vkO 2.2 正交入射规则 3
9""e*-;Mi 2.3 斜入射规则 6
kqfO3{-;{: 2.4 精确计算 7
Yp1;5Bbp 2.5 相干性 8
I]|X6 2.6 参考文献 10
"RH pj3 si 3 Essential Macleod的快速预览 10
Pvq74?an` 4 Essential Macleod的特点 32
9"3 7va 4.1 容量和局限性 33
db%o3>>e 4.2 程序在哪里? 33
90oG+T4 4.3 数据文件 35
0?KY9 4.4 设计规则 35
9H9 P'lx9 4.5 材料数据库和
资料库 37
8[Ssrk 4.5.1材料损失 38
p^~AbU'6~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
+,&8U&~` 4.5.2 材料库 41
VL5GX( 4.5.3导出材料数据 43
eot]VO: 4.6 常用单位 43
_H9.AI 4.7 插值和外推法 46
v"VpE`z1# 4.8 材料数据的平滑 50
~.?,*q7 4.9 更多光学常数模型 54
[eebIJs 4.10 文档的一般编辑规则 55
Z6eM~$Y 4.11 撤销和重做 56
fD<9k 4.12 设计文档 57
^u@"L 4.10.1 公式 58
x$o?ckyH 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Nr?Z[6O| 4.10.3 沉积密度 59
| N%?7PZ( 4.10.4 平行和楔形介质 60
N^\<y7x 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
!e5!8z 4.10.4 性能 61
1PD{m{ 4.10.5 保存设计和性能 64
ztcV[{[g 4.10.6 默认设计 64
5hN`}Ve 4.11 图表 64
kcg{z8cd'r 4.11.1 合并曲线图 67
B|9)4f&\=R 4.11.2 自适应绘制 68
W_:3Sj l' 4.11.3 动态绘图 68
)YE3n-~7{ 4.11.4 3D绘图 69
(7l'e=J0 4.12 导入和导出 73
cI~uI' 4.12.1 剪贴板 73
V(hM@ztN 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
v]UT1d=_T 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
s&UuB1 4.13 背景 77
;m<22@,E& 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
[Yr}:B
< 4.15 生成Rugate 84
=hZ#Z]f 4.16 参考文献 91
M3m!u[6| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
6'YT3= 5.1 Jobs 92
PE $sF]/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
N`3q54_$ 5.3 输入材料 94
h0m+u}oP_H 5.4 设计数据文件夹 95
P%VEJ5,]b 5.5 默认设计 95
q~esxp 6 细化和合成 97
|\/`YRg> 6.1 优化介绍 97
*3.K; Ic; 6.2 细化 (Refinement) 98
RLy(Wz3% 6.3 合成 (Synthesis) 100
0, b.;r 6.4 目标和评价函数 101
US5 ]@! 6.4.1 目标输入 102
CD}::7$ 6.4.2 目标 103
99<]~,t=5 6.4.3 特殊的评价函数 104
uDhe
) 6.5 层锁定和连接 104
_yH{LUIj 6.6 细化技术 104
8DAHaS; 6.6.1 单纯形 105
~
_ ogeD 6.6.1.1 单纯形
参数 106
O;zq(/,-l 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
dY=]ES}` 6.6.2.1 Optimac参数 108
}
Xbmb8 6.6.3 模拟退火算法 109
4= 7#=F1 6.6.3.1
模拟退火参数 109
JXFPN| 6.6.4 共轭梯度 111
3jSt&+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
JVfSmxy. 6.6.5 拟牛顿法 112
S2y_5XJ<D 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
B* 0TM+
6.6.6 针合成 113
p**Sd[| 6.6.6.1 针合成参数 114
R[#Np`z 6.6.7 差分进化 114
7:[u.cd 6.6.8非局部细化 115
(G1KMy 6.6.8.1非局部细化参数 115
dC'8orFG+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
EM2=g9y 6.7.1 细化 116
E?v9c>c 6.7.2 合成 117
&`@S_YLr 6.8 参考文献 117
wh Hp}r 7 导纳图及其他工具 118
8dPDs#Zl 7.1 简介 118
]|m?pt 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
5#275Hyv 7.2.1 四分之一
波长规则 119
g=#Cc(
q 7.2.2 导纳图 120
DT;n)7+, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
k|hy_? * 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
NL^;C3u 7.5 斜入射导纳图 141
(YV]T!q 7.6 对称周期 141
hs;YMUA" 7.7 参考文献 142
wH?]kV8Q 8 典型的镀膜实例 143
.-Z=Aa> 8.1 单层抗反射薄膜 145
8SZZ_tS3r 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
'zJBp 9a% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
%I^schE* 8.4 W-膜层 148
fA$2jbGW 8.5 V-膜层 149
,=a+;D]' 8.6 V-膜层高折射基底 150
a!@(bb
z> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
.8%&K0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
QLm#7ms*y 8.9 四层抗反射薄膜 153
fw&cv9X(IU 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
2y"L&3W 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
;W 3#q: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Wq2Bo*[* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
!We9T )e 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
/4I9Elr 8.15十五层宽带抗反射膜 159
iFOa9!_0n 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
R+*-i+]Q#7 8.17 1/4波长堆栈 162
`uwSxt 8.18 陷波滤波器 163
49o /S2b4z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
<`V_H~Z 8.20 褶皱 165
C6JwJYa 8.21 消偏振分光器1 169
6:Hd ` 8.22 消偏振分光器2 171
rff_=(?i 8.23 消偏振立体分光器 172
Od("tLIO}I 8.24 消偏振截止滤光片 173
j'uzjs[ 8.25 立体偏振分束器1 174
~hxW3e 8.26 立方偏振分束器2 177
iBPIj;, 8.27 相位延迟器 178
6ys|'<? 8.28 红外截止器 179
[]-<-TqJ 8.29 21层长波带通滤波器 180
H73 r3BH 8.30 49层长波带通滤波器 181
~v@.YJoZ4Z 8.31 55层短波带通滤波器 182
w-"tA`F4 8.32 47 红外截止器 183
t`-
[ 8.33 宽带通滤波器 184
&c^tJ-s 8.34 诱导透射滤波器 186
5oe{i/#di 8.35 诱导透射滤波器2 188
m0i,Zw{eM 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Wh)>E!~9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
P(bds 8.35 增益平坦滤波器 193
r,<p#4(>_ 8.38 啁啾反射镜 1 196
I]z4}#+cX 8.39 啁啾反射镜2 198
-]Ny-[P 8.40 啁啾反射镜3 199
s7(1|}jh 8.41 带保护层的铝膜层 200
!lL~#l:F 8.42 增加铝反射率膜 201
[Mk:Zz% 8.43 参考文献 202
`.g'bZ<v/ 9 多层膜 204
s-4qK(ml- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
U6F7dT 9.2 内部透过率 204
2"QcjFW% 9.3 内部透射率数据 205
Ou_2UT 9.4 实例 206
3V]08 9.5 实例2 210
C';Dc4j 9.6 圆锥和带宽计算 212
rA|&G' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
@x^/X8c(p 10 光学薄膜的颜色 216
Hf+oG 10.1 导言 216
^KJi|'B 10.2 色彩 216
|&MOus#v 10.3 主波长和纯度 220
!S'!oinV 10.4 色相和纯度 221
L0R$T=~%) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
)43z(:< 10.6 色差 226
GMY[Gd 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
*^iSP(dg 10.8 颜色渲染指数 234
C{G;G@/7 10.9 色差计算 235
$Ji;zR4, 10.10 参考文献 236
K}DrJ/s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
b%h.>ij? 11.1 短脉冲 238
`k7X| 11.2 群速度 239
Qoa&]] 11.3 群速度色散 241
vW0U~(XlN 11.4 啁啾(chirped) 245
[4Q;5 'Dj 11.5 光学薄膜—相变 245
pQxv_4 11.6 群延迟和延迟色散 246
!iL6 / 11.7 色度色散 246
,b<m],p 11.8 色散补偿 249
:<H4hYt2 11.9 空间
光线偏移 256
fRwr}n' 11.10 参考文献 258
U1D;O}z~ 12 公差与误差 260
.7+"KP: 12.1 蒙特卡罗模型 260
#"-DE-I[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
mMT\"bb' 12.2.1 误差工具 267
l>6p')F! 12.2.2 灵敏度工具 271
ctPT=i60 12.2.2.1 独立灵敏度 271
g)}q3-<AK> 12.2.2.2 灵敏度分布 275
N"7BV 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
%NcBq3 12.3 参考文献 276
] I5&'#%2
13 Runsheet 与Simulator 277
z%nplG'~| 13.1 原理介绍 277
L lD=c 13.2 截止滤光片设计 277
K."W/A! 14 光学常数提取 289
(/S6b 14.1 介绍 289
94?/Rhs5 14.2 电介质薄膜 289
T[-Tqi NT 14.3 n 和k 的提取工具 295
\0)2 u[7 14.4 基底的参数提取 302
F5+!Gb En 14.5 金属的参数提取 306
/Ri-iC > 14.6 不正确的模型 306
($!g= 7 14.7 参考文献 311
@P">4xVX{ 15 反演工程 313
55Xfu/hQ 15.1 随机性和
系统性 313
8mC$p6Okd 15.2 常见的系统性问题 314
Z ?ATWCa 15.3 单层膜 314
(rQ)0g@ 15.4 多层膜 314
>ktekO:H 15.5 含义 319
Icx)+Mq 15.6 反演工程实例 319
(e32oP" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
'X~CrgQl 15.6.2 反演工程提取折射率 327
N_p^DP 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Gw#z:gX2 16.1 光学性质的热致偏移 329
S-79uo 16.2 应力工具 335
Pa{bkr 16.3 均匀性误差 339
FX+^S?x. 16.3.1 圆锥工具 339
`a8 &7J( 16.3.2 波前问题 341
{DX1/49 16.4 参考文献 343
G{.A5{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
AQPzId*z 17.1 引言 345
'<h@h*R 17.2 操作数 345
7'7o^>
! 18 如何在Function中编写脚本 351
k~]\kv= 18.1 简介 351
F~3 &@TWi 18.2 什么是脚本? 351
kZQ$Iv+^( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
n*hRlL 18.4 基础 352
,%KMi-w]q, 18.4.1 Classes(类别) 352
mFyYn,Mu| 18.4.2 对象 352
9abn6S(XpJ 18.4.3 信息(Messages) 352
_<jccQ 18.4.4 属性 352
XRn+6fn| 18.4.5 方法 353
6M bMAh5> 18.4.6 变量声明 353
7mYBxE/ 18.5 创建对象 354
zU#
OjvNk 18.5.1 创建对象函数 355
u]<`y6=&C 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
?e23[ 18.5.3 丢弃对象 356
r]%.,i7~8 18.5.4 总结 356
&.:yP3 18.6 脚本中的表格 357
.-:6L2 18.6.1 方法1 357
^Y^5 @x= 18.6.2 方法2 357
#Y>d@ 18.7 2D Plots in Scripts 358
S4%MnT6Uy 18.8 3D Plots in Scripts 359
BtP*R,> 18.9 注释 360
cKAZWON8;v 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
9R|B 5. 18.11 一个更高级的脚本 362
0.!Q4bhD 18.12 <esc>键 364
(d-j/v*4 18.13 包含文件 365
SFa^$w 18.14 脚本被
优化调用 366
+e)RT< 18.15 脚本中的对话框 368
Xqas[:)7+ 18.15.1 介绍 368
^Cn_
ODjo 18.15.2 消息框-MsgBox 368
wqp(E+& 18.15.3 输入框函数 370
|Vc:o_n7 18.15.4 自定义对话框 371
~{s7(^ P 18.15.5 对话框编辑器 371
]TKM.[[ 18.15.6 控制对话框 377
h9 3 18.15.7 更高级的对话框 380
e7gWz~ 18.16 Types语句 384
I\ y>I?X 18.17 打开文件 385
XcQ'( 18.18 Bags 387
2n5{H fpY 18.13 进一步研究 388
E%>){Y) 19 vStack 389
FZtILlw 19.1 vStack基本原理 389
|y7#D9m 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
;AgXl%Q 19.3 五棱镜 393
)IZ~!N|-w 19.4 光束距离 396
x20sB 19.5 误差 399
f5QJj<@ 19.6 二向分色棱镜 399
zgHF-KEV 19.7 偏振泄漏 404
pmi`Er 19.8 波前误差—相位 405
Yim` 3>#t 19.9 其它计算参数 405
rDWqJ<8 20 报表生成器 406
Z= P=oldH 20.1 入门 406
?\Z-3l%M 20.2 指令(Instructions) 406
@g'SH:} 20.3 页面布局指令 406
Nh|QYxOP 20.4 常见的参数图和三维图 407
<ba+7CK]w 20.5 表格中的常见参数 408
RJZ4fl 20.6 迭代指令 408
#$9rH
2zd 20.7 报表模版 408
jR&AQ-H& 20.8 开始设计一个报表模版 409
KwuNHK)- 21 一个新的project 413
jP|(y]! 21.1 创建一个新Job 414
awa$o 21.2 默认设计 415
k ihO~< 21.3 薄膜设计 416
{pNf&' 21.4 误差的灵敏度计算 420
K|LS VN?K 21.5 显色指数计算 422
[-Dl ,P= 21.6 电场分布 424
$:MO/Suz{ 后记 426
goV[C]| 有兴趣可以扫码加微咨询
y|@=j~}Zq