Z}*{4V`R 内容简介
Q+]9Glz9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
2UGnRZ8:1Y 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Z?}yPsOb 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
hR1n@/nh S66..sa 讯技科技股份有限公司
O3>m,v 2015年9月3日
-B l!s^-' 目录
`[*n UdG Preface 1
39+6ZTqx 内容简介 2
"\l O1D 目录 i
*He%%pk 1 引言 1
%Qc5_of 2 光学薄膜基础 2
MPg"n-g* 2.1 一般规则 2
Qso"jYl< 2.2 正交入射规则 3
T.{sO` 2.3 斜入射规则 6
mm,be. 2.4 精确计算 7
8^FAeV# 2.5 相干性 8
n6f 2.6 参考文献 10
^KeJ=VT 3 Essential Macleod的快速预览 10
QIg.r\>o 4 Essential Macleod的特点 32
@Ht7^rz+S 4.1 容量和局限性 33
t@(`24 4.2 程序在哪里? 33
_,m|gr,S 4.3 数据文件 35
[`eqma 4.4 设计规则 35
c+^#(OB 4.5 材料数据库和
资料库 37
D'!
v9} 4.5.1材料损失 38
<7;AK!BH 4.5.1材料数据库和导入材料 39
J0eJRs 4.5.2 材料库 41
P}kp_l27 4.5.3导出材料数据 43
=/b WS,= 4.6 常用单位 43
iO,_0Y4 4.7 插值和外推法 46
3Wl,T5}{ 4.8 材料数据的平滑 50
I|#1u7X%] 4.9 更多光学常数模型 54
t'{\S_ 4.10 文档的一般编辑规则 55
2W_p)8t>b 4.11 撤销和重做 56
zL<<`u? 4.12 设计文档 57
#cRw0bn: 4.10.1 公式 58
Vif0z*\e{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
WE hDep: 4.10.3 沉积密度 59
Zss `## 4.10.4 平行和楔形介质 60
2unaK<1s 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
W]t!I}yPR 4.10.4 性能 61
"&,Gn#'FG 4.10.5 保存设计和性能 64
d
Xiv8B1 4.10.6 默认设计 64
8<VO>WA>E 4.11 图表 64
Hik :Sqpox 4.11.1 合并曲线图 67
\
M_}V[1+ 4.11.2 自适应绘制 68
LXm5f; 4.11.3 动态绘图 68
X}/{90UD 4.11.4 3D绘图 69
aNLkkkJg<; 4.12 导入和导出 73
I,:R~^qJ8v 4.12.1 剪贴板 73
jv
C.T]<B 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
&3nbmkM 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
D]s8w 4.13 背景 77
%L\buwjy$ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
BJdH2qREN 4.15 生成Rugate 84
c)HHc0KD 4.16 参考文献 91
;0R>D g 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
9<9 c^2 5.1 Jobs 92
pnvHh0ck_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
aa'u5<<W 5.3 输入材料 94
I4%p?'i,C 5.4 设计数据文件夹 95
0
tZ>yR 5.5 默认设计 95
h#o3qY 6 细化和合成 97
yJheni 6.1 优化介绍 97
f~RS[h`: 6.2 细化 (Refinement) 98
XM+o e0:[ 6.3 合成 (Synthesis) 100
q:y_#r"_y 6.4 目标和评价函数 101
lDQ' 6.4.1 目标输入 102
=`b/ip5 6.4.2 目标 103
TH`zp]0 6.4.3 特殊的评价函数 104
PMdvBOtS` 6.5 层锁定和连接 104
m5G9
B-\? 6.6 细化技术 104
nY#V~^| 6.6.1 单纯形 105
q]-CTx$ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
X/
\5j
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
rl\$a2_+ 6.6.2.1 Optimac参数 108
4@qKML 6.6.3 模拟退火算法 109
vBMuV pzO 6.6.3.1
模拟退火参数 109
nj (/It 6.6.4 共轭梯度 111
`+4>NT6cu9 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Hyw T 6.6.5 拟牛顿法 112
wc3OOyP@0 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
-7^A_!. 6.6.6 针合成 113
3c"$@W:> 6.6.6.1 针合成参数 114
6a+w/IO3OU 6.6.7 差分进化 114
\,w*K'B_Y 6.6.8非局部细化 115
Lqt.S| 6.6.8.1非局部细化参数 115
"w)Y0Qq*z 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Myl!tXawe8 6.7.1 细化 116
LEq"g7YH 6.7.2 合成 117
bN,>,hj 6.8 参考文献 117
t Z_ni} 7 导纳图及其他工具 118
=aWj+ggd@ 7.1 简介 118
+B
4&$z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
Z$0+jpG_s 7.2.1 四分之一
波长规则 119
pT90TcI2 7.2.2 导纳图 120
]vyu! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
9(9+h]h+3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
g1je': 7.5 斜入射导纳图 141
GAZTCkB" 7.6 对称周期 141
GwOn&EpY! 7.7 参考文献 142
%TY;}V59 b 8 典型的镀膜实例 143
vZgV/?'z 8.1 单层抗反射薄膜 145
i/&?e+i 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
5}4f[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
LP{{PT.&X 8.4 W-膜层 148
'`-W!g[
> 8.5 V-膜层 149
3f u*{8.XZ 8.6 V-膜层高折射基底 150
U{IY
F{;@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
&B^zu+J 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
z/JoUje 8.9 四层抗反射薄膜 153
d},IQ,Az:Z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Vvth, 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
h\oAW?^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
~wMdk9RQ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
]x8_f6;D 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
-8L22t 8.15十五层宽带抗反射膜 159
L|y4u;-Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
u|!On 8.17 1/4波长堆栈 162
di@4'$5# 8.18 陷波滤波器 163
cTA8F"UGD 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
[79 eq= 8.20 褶皱 165
e}x}Fj</( 8.21 消偏振分光器1 169
(xp<@- 8.22 消偏振分光器2 171
xiu?BP?V 8.23 消偏振立体分光器 172
")/TbTVu 8.24 消偏振截止滤光片 173
Yy 4EM 8.25 立体偏振分束器1 174
`1cGb *b/ 8.26 立方偏振分束器2 177
QT1(= wK3 8.27 相位延迟器 178
vybQ}dscn 8.28 红外截止器 179
R W=<EF& 8.29 21层长波带通滤波器 180
wq|~[+y 8.30 49层长波带通滤波器 181
AN!MFsk 8.31 55层短波带通滤波器 182
j@kL`Q\&I 8.32 47 红外截止器 183
e&Z\hZBb 8.33 宽带通滤波器 184
uS9:cdH 8.34 诱导透射滤波器 186
U($sH9, 8.35 诱导透射滤波器2 188
+3HukoR( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
!Gv*iWg 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
FmfPi
.;1 8.35 增益平坦滤波器 193
uCA!L)$ 8.38 啁啾反射镜 1 196
2v!ucd} 8.39 啁啾反射镜2 198
?;{fqeJz 8.40 啁啾反射镜3 199
"[` .I*WNo 8.41 带保护层的铝膜层 200
:NB,Dz+i 8.42 增加铝反射率膜 201
r52X}Y 8.43 参考文献 202
u/Os 9 多层膜 204
UbBo#(TZ) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Hpo/CY/ 9.2 内部透过率 204
]dXHjOpA 9.3 内部透射率数据 205
omxBd#;F$ 9.4 实例 206
A),nkw0X 9.5 实例2 210
2<dl23 9.6 圆锥和带宽计算 212
br!:g]Vh 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
r]XXN2[jO 10 光学薄膜的颜色 216
T5mdC 10.1 导言 216
; Nw. 10.2 色彩 216
mhp&;
Q9 10.3 主波长和纯度 220
}3t bqFiH 10.4 色相和纯度 221
?/mk FDN 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
ryz
[A:^G 10.6 色差 226
NF&
++Vr6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
s]=s2.= 10.8 颜色渲染指数 234
~<M/<%o2* 10.9 色差计算 235
/Q7cQ2[EU 10.10 参考文献 236
O|#N$a&_N 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
pRsYA7Ti 11.1 短脉冲 238
GCxtW FXH 11.2 群速度 239
IAr 11.3 群速度色散 241
jL$&]sQ`O) 11.4 啁啾(chirped) 245
E"ju<q/Q 11.5 光学薄膜—相变 245
:n3)vK 11.6 群延迟和延迟色散 246
+39Vxe:Oy 11.7 色度色散 246
B]PTe~n^ 11.8 色散补偿 249
`={s*^Ta 11.9 空间
光线偏移 256
_":yUa0D 11.10 参考文献 258
Cdjh/+!f 12 公差与误差 260
>
,L'A;c} 12.1 蒙特卡罗模型 260
Mr}]P(4h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
cD-.thHO 12.2.1 误差工具 267
Luxo,Ve 12.2.2 灵敏度工具 271
9N9dQ}[:g 12.2.2.1 独立灵敏度 271
\NYtxGV[Z 12.2.2.2 灵敏度分布 275
lYlU8l5> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
!P7##ho0 12.3 参考文献 276
39;Z+s"; 13 Runsheet 与Simulator 277
SrV+Ox 13.1 原理介绍 277
:kycIM]s 13.2 截止滤光片设计 277
:@PM+ [B|Q 14 光学常数提取 289
`{g8A P3 14.1 介绍 289
AL.zF\? 14.2 电介质薄膜 289
-e=p*7'] 14.3 n 和k 的提取工具 295
xF)AuGdp\ 14.4 基底的参数提取 302
0dKI+zgr 14.5 金属的参数提取 306
({3hX"C@Q 14.6 不正确的模型 306
CPq{M.B 14.7 参考文献 311
aq[ ;[$w 15 反演工程 313
J@ x%TA 15.1 随机性和
系统性 313
15Vb`Vf`N 15.2 常见的系统性问题 314
{mPaloA 15.3 单层膜 314
P5;LM9W 15.4 多层膜 314
2e}${NZN 15.5 含义 319
fP`g#t)4Tu 15.6 反演工程实例 319
aa<9%j 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
W4yNET%l, 15.6.2 反演工程提取折射率 327
'3Ir(]Wfd 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
fI%+
16.1 光学性质的热致偏移 329
Wxl^f?I`: 16.2 应力工具 335
DXlP(={* 16.3 均匀性误差 339
e{edI{g 16.3.1 圆锥工具 339
?3!"js
B 16.3.2 波前问题 341
G| pZ 16.4 参考文献 343
LOyL:~$ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
SWr?>dl 17.1 引言 345
DG8LoWZ 17.2 操作数 345
uX{n#i,~L 18 如何在Function中编写脚本 351
u49zc9 18.1 简介 351
Wvl>i HB 18.2 什么是脚本? 351
.BGM1ph}~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
./@!k[ 18.4 基础 352
-k{n"9a9? 18.4.1 Classes(类别) 352
66<3zadJZU 18.4.2 对象 352
JGPLVw 18.4.3 信息(Messages) 352
Gx?p,Fj 18.4.4 属性 352
nAn/V u 18.4.5 方法 353
#LlHsY530N 18.4.6 变量声明 353
~\tI9L?|A 18.5 创建对象 354
*loPwV8 18.5.1 创建对象函数 355
0bxB@(NO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
ODK$G
[- 18.5.3 丢弃对象 356
=whZ?,u1 18.5.4 总结 356
I]P'wav~O 18.6 脚本中的表格 357
<@FOqi{o{ 18.6.1 方法1 357
V,bfD3S3 18.6.2 方法2 357
|p J)w 18.7 2D Plots in Scripts 358
<,d .`0:y 18.8 3D Plots in Scripts 359
HlqvXt\ 18.9 注释 360
'v^CA} 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
]]{$X_0n 18.11 一个更高级的脚本 362
8YC\Bw 18.12 <esc>键 364
<v;;:RB6c 18.13 包含文件 365
FL!W oTB 18.14 脚本被
优化调用 366
X l#P@60 18.15 脚本中的对话框 368
JqTkNKi/s 18.15.1 介绍 368
2g1[E_? 18.15.2 消息框-MsgBox 368
`_sc_Y|C! 18.15.3 输入框函数 370
h+Km | 18.15.4 自定义对话框 371
LZm6\x 18.15.5 对话框编辑器 371
y0qrl4S)v 18.15.6 控制对话框 377
S!qJqZ<Bv 18.15.7 更高级的对话框 380
t4pc2b 18.16 Types语句 384
N2uxiXpQZ= 18.17 打开文件 385
T9]|*~ ,T 18.18 Bags 387
kf+]bV 18.13 进一步研究 388
Pl<r*d)h 19 vStack 389
hK"hMyH^ 19.1 vStack基本原理 389
?P[uf 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
j<>|Hi
#` 19.3 五棱镜 393
^'i(@{{o\ 19.4 光束距离 396
{4Y@DQ- 19.5 误差 399
@\v, 19.6 二向分色棱镜 399
\]}|m<R 19.7 偏振泄漏 404
-}0S%|#m 19.8 波前误差—相位 405
R*IO%9O 19.9 其它计算参数 405
qd"1KzQWO 20 报表生成器 406
;>_\oZGj_ 20.1 入门 406
GwxxW 20.2 指令(Instructions) 406
}$3eRu + 20.3 页面布局指令 406
q}e"E
cr 20.4 常见的参数图和三维图 407
aO('X3? 20.5 表格中的常见参数 408
~n%~ Z|mMF 20.6 迭代指令 408
/kE3V`es 20.7 报表模版 408
M>dP
1 20.8 开始设计一个报表模版 409
r(iT&uz 21 一个新的project 413
j*>+^g\Q6 21.1 创建一个新Job 414
h`dtcJ0 21.2 默认设计 415
"Wr5:T-; 21.3 薄膜设计 416
TSqfl/UI 21.4 误差的灵敏度计算 420
OiX:h# 21.5 显色指数计算 422
,~8:^*0s 21.6 电场分布 424
t
m?[0@<s 后记 426
J]/TxUE 有兴趣可以扫码加微咨询
ES!$JWK|