摘要
J -Lynvqm ~;H,cPvrEg (=;'>*L( =_z o 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
-3v\ c~ +6P[TqR 设计任务
D&2NO/
R adIrrK o:W*#dt njg0MZBqA 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
WysWg7,r D"$Y, d 扫描参数空间以获取初始解
:{iH(ae; +~aIT=i3 o5DT1>h `iM%R3& 初始解#1的参数优化
jX8)Ov5Mv Qkx*T9W yq[/9Pci A f<VK\%M 最终设计#1的性能分析
: slO0 Xb>SA|6[| ?HZ^V 'uDx$AkY 初始解#2的参数优化
{}ADsh@7d' aK;OzB) G$V=\60a- tlUh8os 最终设计#1的性能分析
XX%K_p`&Z 43B0ynagN gDLS)4^w ^@RvCJ+ VirtualLab Fusion一瞥
U'(zKqC %sOY:>
jQ3dLctn pC,[!>0g8 VirtualLab Fusion中的工作流程
]bh%pn *nJ,|T 构建
光栅结构
df@N V Ld ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
h+j^VsP zB ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
tJ K58m$ 分析光栅
衍射效率
0>td[f ─ Grating Order Analyzer
d wG!]j>:_ 使用参数运算寻找初始解
76@W:L*J$J ─ Usage of the Parameter Run Document
Z^%a 1>` 使用参数优化确定最终解
nCWoco.xy 6d;}mhH VirtualLab Fusion技术
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