摘要
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<CmsnX W\<#`0tUt 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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vx 8rp-XiW 设计任务
BK d( ?s"v0cg+
$=m17GD JN KZ'9 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
kyo ,yD dju&Ku
扫描参数空间以获取初始解
NxX1_d 2aje$w-
j'J*QK&Q MM8)yCI 初始解#1的参数优化
wbS++cF< a@jP^VVk
eu:_V+ N~ozyIP, 最终设计#1的性能分析
!3&vgvr !yI)3;$*
YYvs~?bAy z"O-d<U5 初始解#2的参数优化
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4 z`5W, pq&c]8H 最终设计#1的性能分析
r#}Sy\ z*[Z:
Cp* n2 <C{5(=X{ VirtualLab Fusion一瞥
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aZz{4 vxt^rBA
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JDo Bm7GU`j" VirtualLab Fusion中的工作流程
Ji[w; [qL FTenXJ/c 构建
光栅结构
WE7l[<b ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
>lW*%{|b$^ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
T:&+#0< 分析光栅
衍射效率
rN~`4mZ ─ Grating Order Analyzer
awK'XFk 使用参数运算寻找初始解
nJya1AH; ─ Usage of the Parameter Run Document
]x G4T>S 使用参数优化确定最终解
yW&iUh=0 uSQ*/h-<)0 VirtualLab Fusion技术
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