摘要
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T2 Y,U { \XM^oE#G 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
c`WHNky%j &S]@Ot<z 设计任务
k^%B5 ;M#_6Hd?qD
YoLx>8 UIAj] 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
J?}WQLVP' tBT<EV{ G 扫描参数空间以获取初始解
9,_mS{+B ivz>dJ ?T
Nl9I*x^e }X_;X_\3;' 初始解#1的参数优化
T?1Du"d8 ~7t$MF.
wTGbd +sx 8t 最终设计#1的性能分析
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RJH, <b?!jV7 初始解#2的参数优化
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nG,U>) c.f"Gv VirtualLab Fusion一瞥
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)T66<UDK| ^6P3% VirtualLab Fusion中的工作流程
W$o27f ,\d6VBP& 构建
光栅结构
>'5_Y]h4m| ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
_#s=h_
FD ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
L0]_hxE? 分析光栅
衍射效率
q4$+H{xB ─ Grating Order Analyzer
Xy5s^82? 使用参数运算寻找初始解
IU]^&e9u ─ Usage of the Parameter Run Document
!k(_PM 使用参数优化确定最终解
CGP3qHrXt u!U"N*Y" VirtualLab Fusion技术
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