摘要
.uX(-8n ~ p\'X%R
dXY}B=C v\!Cq+lFML 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
9,Dw;|A] fIx|0,D&7L 设计任务
$E:z*~? ^5 "yY2}-
R"t2=3K Te)%L*X 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
!.@:t`w 1,Pg^Xu 扫描参数空间以获取初始解
PDgZb \:n<&<aVSr
jgpF+V-n$ 2Z^p) 初始解#1的参数优化
i}<fg*6@E >K%+h)%kI
2ss*&BR. 9a1R"%Z 最终设计#1的性能分析
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;`-@L t{Xf3. 初始解#2的参数优化
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8:)itYE {/PiX1mn 最终设计#1的性能分析
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9a lMC 7\sR f/ VirtualLab Fusion一瞥
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-x0VvkHu ;Vh5nO VirtualLab Fusion中的工作流程
/5 6sPl
7} %_%/ym 构建
光栅结构
76r RF ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
}qn@8} ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
'SE?IE { 分析光栅
衍射效率
h,%b>JFo ─ Grating Order Analyzer
E{B=%ZNnm 使用参数运算寻找初始解
=[T_`*s& ─ Usage of the Parameter Run Document
|B/A)(c
yV 使用参数优化确定最终解
&['cZ/bM f+iM_MI VirtualLab Fusion技术
&S|%>C{P.w q]>m#yk