摘要
!u0U5>ccw sA2o2~AmM
=tq7z =k "gg(tp45 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
sN@j5p^jc onh?/3l 设计任务
/'`6
;
uRN W9jNUZVXE#
@ V5S4E yA0Y
14\* 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
vK'9{q|g y[p6y[r* 扫描参数空间以获取初始解
!G>(j WhenwQT
Ps |QW g`{Dxb,t 初始解#1的参数优化
;>/ipnx V%o#AfMI_
jDp]R_i v['AB4 最终设计#1的性能分析
lYdQB[l 7(5]Ry:
CH#kvR2 KMe.i' 初始解#2的参数优化
e18T(g_i $uTlbAuv
Lqq*Nr c}8 -/P= 最终设计#1的性能分析
{'&8`d \|Y{jG<cu
W=M<
c@ O{*GW0}55 VirtualLab Fusion一瞥
}o{!}g9 y#nSk%"t"
r5Wkc$ w[M5M2CF VirtualLab Fusion中的工作流程
M Yu?&}%^ I(y`)$} 构建
光栅结构
T+3k$G[e/ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
{\F2*P ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Jn60i6/ 分析光栅
衍射效率
m_~y ─ Grating Order Analyzer
)m)h/_ 使用参数运算寻找初始解
QM7[ O]@ ─ Usage of the Parameter Run Document
fg< (bXC 使用参数优化确定最终解
./2Z?, s%hU*^ 8 VirtualLab Fusion技术
c-v*4b/d EOofa6f&l