摘要
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s^<
oU eGg#=l= 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
s)=7tHoqB) P40eK0e6 设计任务
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zc5_;!t =0|evC 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
S6I8zk)Z4 "Y6mM_flq 扫描参数空间以获取初始解
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-tJ*F!w6U GW#Wy=(_ 初始解#1的参数优化
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[0emOS "a7d`l: 最终设计#1的性能分析
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YFY)Z7fK W1z5|-T 初始解#2的参数优化
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!1c(UR 7BnP,Nd"W 最终设计#1的性能分析
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~gD'up@$/ AseY.0 VirtualLab Fusion一瞥
cE[lB08 5;*C0m2%i
W\ckt]' iD~s, VirtualLab Fusion中的工作流程
2I {lA@I*_lj 构建
光栅结构
"Y+`U ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
[0Sd +{Q ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Fu$otMw%l 分析光栅
衍射效率
p%_TbH3j` ─ Grating Order Analyzer
idq= US 使用参数运算寻找初始解
YH9BJ ─ Usage of the Parameter Run Document
@{G(.S 使用参数优化确定最终解
53c6dl p#w,+)1!d VirtualLab Fusion技术
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