摘要
nW)?cQ
I /!?b&N/d)
<?nz>vz Mz6\T'rC 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
a,36FF~& JC0# pU; 设计任务
Q6)?#7<jy N5c*#lHI
)T6:@n^]h Na$.VT 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
5vFM0 IL g o:xQ 扫描参数空间以获取初始解
et2;{Tb,5 vw 6$v
CBO*2?]s #+QJ5VI: 初始解#1的参数优化
(gnN</% _dELVs7OL
^k*%`iQ | }L=e. 最终设计#1的性能分析
OK)>QGl ftvu69f
i=L 86Ks tm/=Oc1p 初始解#2的参数优化
8 :WN@ vf zC2
Nyt*mbd5
{ Qo:vAv 最终设计#1的性能分析
O:sqm
n V:#rY5X
WH4rZ }Z` )w~1VcnJEp VirtualLab Fusion一瞥
6fo\z2 g zlxkv-F{
aGBd~y@e FShUw+y VirtualLab Fusion中的工作流程
b}fC'
h LtH
j 构建
光栅结构
!uit ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
T;5VNRgpI ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
`+T 2IPN
分析光栅
衍射效率
l9C `:g ─ Grating Order Analyzer
3$xpZm60 使用参数运算寻找初始解
|fywqQFq ─ Usage of the Parameter Run Document
0r_~LN^|[ 使用参数优化确定最终解
(u^8=# J90:c@O"w VirtualLab Fusion技术
k;jl3GV q_6lD~~q^