摘要
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4,g[g#g<q ~<.%sVwE 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
J 2H$ALl 8'<RPU}M 设计任务
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dA y=HM]EH>
uW 7Yem& O su 75@3 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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K6 扫描参数空间以获取初始解
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PK >~}}*yp 初始解#1的参数优化
H`T8ydNXa /mK."5-cm
~pt#'65}: "=Xky,k 最终设计#1的性能分析
r]3v.GZy TdKo"H*C
FlyRcj M&SY2\\TB 初始解#2的参数优化
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ZCAg)/ K3;~|U-l 最终设计#1的性能分析
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M`D`-vv TQL_K8k@_ VirtualLab Fusion一瞥
Wr6y w# KN<KZM
BbG=vy8'l iezY+`x4 VirtualLab Fusion中的工作流程
H tx)MEZ c~)H" n 构建
光栅结构
u
OB`A-K ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
&BOG&ot ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
0f;`Zj0l8 分析光栅
衍射效率
R<Uu(-O- ─ Grating Order Analyzer
k vF[d{l 使用参数运算寻找初始解
ijeas< ─ Usage of the Parameter Run Document
f>[!Zi* 使用参数优化确定最终解
cnL@j_mb j&l2n2z VirtualLab Fusion技术
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