摘要
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s;Z i 2^5RQl/ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
qa:muW 2}P{7flDY 设计任务
_ !"[Zr V.Lk70 \
3,#qt}8` YyYp-0# 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Rdj3dg'< 7S=]@* 扫描参数空间以获取初始解
{ }Afah W1M Bk[:Q
z:Ru` vXdI)Sx[ 初始解#1的参数优化
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LsMq&a-j2 ~:0U.v_V 最终设计#1的性能分析
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Yv{$XI7 |D;I>O^"R 初始解#2的参数优化
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ZS&+<kGD \<}e?Yx% 最终设计#1的性能分析
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tOQnxKzu {*F8'6YQ$ VirtualLab Fusion一瞥
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BQgK<_ L1SZutWD? VirtualLab Fusion中的工作流程
V1,4M _Z %NhZTmWm 构建
光栅结构
D|C!KF ( ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
i Hcy,PBD ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
]*rK; 分析光栅
衍射效率
Jjx1`S*i ─ Grating Order Analyzer
F'@[b
使用参数运算寻找初始解
N71%l ─ Usage of the Parameter Run Document
S;!7/z 使用参数优化确定最终解
uH} }z ! 0bQ"s*K VirtualLab Fusion技术
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