摘要
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gQ0~4 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
WEif&<Y ,:A;4 设计任务
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z_fjmqa? p\ ;|Z+0= 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
CL4N/[UM %}VH5s9\ 扫描参数空间以获取初始解
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>VkBQM-% X]D,kKasG 初始解#1的参数优化
ikV;]ox E6 -*2U)k+
l9&k!kF` C$1W+( 最终设计#1的性能分析
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nwUz}em?O X&?s:A 初始解#2的参数优化
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<SI|)M,, 3 R/ZScOW[ 最终设计#1的性能分析
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-JN}H m R;c9)>8L VirtualLab Fusion一瞥
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6^[4.D wc4BSJa,19 VirtualLab Fusion中的工作流程
:]@c%~~!& Q7$o&N{ 构建
光栅结构
$}gMJG ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
aIV
/ c ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
_y^r== 分析光栅
衍射效率
r@{TN6U ─ Grating Order Analyzer
LnI 使用参数运算寻找初始解
$ItjVc@U ─ Usage of the Parameter Run Document
d}h{#va* 使用参数优化确定最终解
MVsFi]- hu.o$sV3; VirtualLab Fusion技术
L>h8>JvQ LZRg%3.E