摘要
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{*BZ;Xh\8 !_yWe 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
IBT1If3 8zI*<RX.Q 设计任务
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xWiR7~E /h(bMb Z 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
M:PEY*4H Bu ]PNKIi 扫描参数空间以获取初始解
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F|wT']1Y qh]D=i 初始解#1的参数优化
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ITt*TuS2c d,5,OJY2f 最终设计#1的性能分析
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jD S/2lK*F 初始解#2的参数优化
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\ 最终设计#1的性能分析
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qlNB\~HCe >7$h VirtualLab Fusion一瞥
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`N CZzgPId%x VirtualLab Fusion中的工作流程
kM;}$*? '44I}[cA/ 构建
光栅结构
>4^,[IO/ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
}~+q S` ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
'3uN]-A>D 分析光栅
衍射效率
[W8"Mc|ve ─ Grating Order Analyzer
tJa*(%Z?f 使用参数运算寻找初始解
ml1My1 ─ Usage of the Parameter Run Document
B;A< pNT 使用参数优化确定最终解
UfNcI[xr "<$JU@P VirtualLab Fusion技术
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