摘要
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~ +z'pK~c dCMWv~> 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
ma26|N5 ~x}=lK N 设计任务
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>@d=\Kyu
uBC*7Mkm Nb;Yti@Y. 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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6v< )<jT;cT!& 扫描参数空间以获取初始解
Ow]c,F}^ Z$5@r2d)
Kth^WHL }mw31=2bD 初始解#1的参数优化
r@(hRl1k' u_U51C\rb
iP JZ% L$FLQyDR 最终设计#1的性能分析
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O-vvFl#4 t1
.6+ 初始解#2的参数优化
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cx yeNC-U<
}3!.e l4d2i;4BK 最终设计#1的性能分析
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sb&q VirtualLab Fusion一瞥
pOip$Z '?k*wEu
l>M&S^/s j CtA0W\9w5a VirtualLab Fusion中的工作流程
#3u;Ox @4b"0ne}h 构建
光栅结构
)vk$]<$ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
4>Q6!" ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
MqI!i> 分析光栅
衍射效率
-U=bC ─ Grating Order Analyzer
h7
> 使用参数运算寻找初始解
h^bbU. ─ Usage of the Parameter Run Document
cQUmcK/, 使用参数优化确定最终解
lG;sDR|)( ]#[R^t VirtualLab Fusion技术
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