摘要
GLIY!BU<C g(zeOS]q}
;'Hu75ymo -\p&18K# 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
v2tVq_\AMx b~UWFX#U 设计任务
:^W}$7$T :2KPvp7?
z4
=OR@ h zf8SpQ2~ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
ts<\n-f +\["HS7+'0 扫描参数空间以获取初始解
Pek[j)g} 0e&&k
q0q-Coh> wdt2T8`I/ 初始解#1的参数优化
k>i`G5Dh \s[L=^!
Y'000#+ 4RctYMz 最终设计#1的性能分析
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0Sk~m4fj( iOfO+3'Z_U 初始解#2的参数优化
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`oe=K{aX ^O<'Qp,[: 最终设计#1的性能分析
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1.u^shc&| iOIq2&sV VirtualLab Fusion一瞥
D?%[du:V \^0>h`[
"c} en[ W{Je)N VirtualLab Fusion中的工作流程
n CwA8AG =RXeN+
&R 构建
光栅结构
CAx$A[f< ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
ELV~
ayp5 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
ZD]{HxGL! 分析光栅
衍射效率
[>>_%T\I ─ Grating Order Analyzer
U]+I P;YS 使用参数运算寻找初始解
P7T'.|d ─ Usage of the Parameter Run Document
SVZ@'X\[M 使用参数优化确定最终解
8&HBR # &\ca ? # VirtualLab Fusion技术
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