摘要
dY<#a,eS *hs<Ez.cC
8$U ZL FM"BTA:C 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
.oj" ru dY@Tt&k8E 设计任务
OIty
]c "!6~*!]c
:TYzzl43 |~LjH |*M 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
|/=p B4Af 扫描参数空间以获取初始解
5zw23! ioa_AG6B
h;UdwmT {C0^D*U: 初始解#1的参数优化
W#7-%oT 3KFrVhB=
A;j$rGx IA 9v1:> 最终设计#1的性能分析
]AA*f_! VE"0VB.
9g5{3N3 OjlB0 初始解#2的参数优化
*o\Y~U-so (VI* c!N
b:5%} Ta\8>\6 最终设计#1的性能分析
"ko?att~ C`~4q<W'
{9|$%4kRl b}*@=X=4o VirtualLab Fusion一瞥
nK%/tdq e5>5/l]jsg
pT;-1c%: &0
)xvZ VirtualLab Fusion中的工作流程
3| '#n[3 'oHOFH9:{b 构建
光栅结构
vz#wP ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
;GgQ@s@ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
d,J<SG&L& 分析光栅
衍射效率
vLK\X$4 ─ Grating Order Analyzer
Fb{`a[& 使用参数运算寻找初始解
~ut& U ─ Usage of the Parameter Run Document
z Jo#3 使用参数优化确定最终解
.1z$ A K'{W9~9Lq VirtualLab Fusion技术
#SihedWi &DbGyV8d"|