摘要
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Y[
zZw~yx {i [y9 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
NwlU%{7W6 ~DF:lqwWP 设计任务
Pbu{'y3J V416g |lBO
FjFMR
63 G"dS+,Q 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
X~9j$3lUBR K^[#]+nQ 扫描参数空间以获取初始解
$_;e>*+x ZC0-wr\
aelO3'UN !#yq@2QX 初始解#1的参数优化
g);^NAA )_7>nuQ6
_D,
;MB&7 ]wVk+%e 最终设计#1的性能分析
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ip]w
s
+s" MI BJ}D%nm} 初始解#2的参数优化
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~B i_7 Q #Pk$L+C 最终设计#1的性能分析
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IM@tN L b7`D|7D VirtualLab Fusion一瞥
)cJ#-M2 7[#yu 2
u+m,b76 fxcc<h4 VirtualLab Fusion中的工作流程
4,Ic}CvM "SxLN
8.: 构建
光栅结构
[Nm4sI11 ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
kRJ4-n^@>< ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
l |2D/K5 分析光栅
衍射效率
:M3oUE{ ─ Grating Order Analyzer
D/y bFk 使用参数运算寻找初始解
rqPo)AL ─ Usage of the Parameter Run Document
sic"pn],U 使用参数优化确定最终解
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t< e}Vw!w VirtualLab Fusion技术
uF|3/x= p{A}pnjf