摘要
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L'LZK I
@TR| 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
ab!,)^ epsh&)5a* 设计任务
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'&&1R ,y}?Z8?63
4k5X'&Q gwDQ@ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
5o 4\Jwt >M{=qs 扫描参数空间以获取初始解
HV-c
DL !%{/eQFT4
_FXvJ}~m >J+'hm@ 初始解#1的参数优化
MaDdiyeC F+mn d,3
q(sEN!^L` q}[g/% 最终设计#1的性能分析
5+*MqO> kR2kV"-l
EkotVzR5 fYrC;&n 初始解#2的参数优化
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hTZ& dU`kJ,=Z 最终设计#1的性能分析
_m .u@+g lrqu%:q
a"7zz]XO2 \*x'7c/qg VirtualLab Fusion一瞥
ZfM DyS$. &QHZ]2%U
F/gA[Y|,gI wq K:= VirtualLab Fusion中的工作流程
Rq`B'G9|c zt&"K0X| 构建
光栅结构
CK[w0VCT ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
C_CUk d[ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
&+0WZ#VI 分析光栅
衍射效率
ckDWY<@v ─ Grating Order Analyzer
d\eTyN'rA 使用参数运算寻找初始解
K=Q<G:+&V ─ Usage of the Parameter Run Document
tW$Di*h 使用参数优化确定最终解
"XKcbdr8- E4}MU}C#[ VirtualLab Fusion技术
4Nylc.2mi JWB3;,S