摘要
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>IaGa!4 h}SZ+G/L 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
}2;P`s {4 Yxh8 设计任务
cQt&%SVT]E FM6{%}4
(o|bst][S [M[#f&=Z 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
.S|7$_9;b o C|oh 扫描参数空间以获取初始解
A^z{n/DiL ,VVA^'+
Vpg>K #w *MmH{!= 初始解#1的参数优化
(y]Z *p:EW $}su'EIo
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Q NW fPD.np} 最终设计#1的性能分析
X,w X)9]J W_M#Gi/AL
ExtC\(X; rn)Gx25 初始解#2的参数优化
&/UfXKr ^o5;><S]
o~XK*f=( 5{b;wLi$X2 最终设计#1的性能分析
2ul8]= 4q] 6[/
nBk&+SN k'O.1 VirtualLab Fusion一瞥
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+ytP5K7 >ZkL`!:s VirtualLab Fusion中的工作流程
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TUr96 |^Y"*Y4*h 构建
光栅结构
wIi(\]Q ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
kZG=C6a ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Sa<(F[p` 分析光栅
衍射效率
=i vlS ─ Grating Order Analyzer
(NFrZ0 使用参数运算寻找初始解
`D%i`"~Lf& ─ Usage of the Parameter Run Document
129\H<
m 使用参数优化确定最终解
&fB=&jc*j .;7V]B1o VirtualLab Fusion技术
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