摘要
"|GX%>/ ui&^ m,
|DUOyQ A}CpyRVCn 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Lu[xoQ~I
w/wU~~ 设计任务
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D n}TO*
}/VSIS@Z 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
*}Gu'EU R]y9>5 'U 扫描参数空间以获取初始解
E#`JH hQLh}}B
70E@h=oQ Dl_SEf6b 初始解#1的参数优化
S^ JUQx7 ~c'R7E&Bfa
h<FEe~ EK}QjY[i 最终设计#1的性能分析
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fqZ+CzH &$. x1$% 初始解#2的参数优化
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7.(vog"I) 0u8(*? 最终设计#1的性能分析
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&>z}u&oF -0:B2B VirtualLab Fusion一瞥
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9p9-tJfH. Q)ZkUmW VirtualLab Fusion中的工作流程
x^JjoI2vf W'M\DKJ? 构建
光栅结构
}{@RO./)[ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
}S>:!9f ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
&Qq4xn+J 分析光栅
衍射效率
*!x/ia9 ─ Grating Order Analyzer
My\ 使用参数运算寻找初始解
^1NtvQe@Y\ ─ Usage of the Parameter Run Document
IP+1 :M 使用参数优化确定最终解
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)|" s*W)BK|+? VirtualLab Fusion技术
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