摘要
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JDkCUN 5 6tOCZ'f 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
r)gCTV(kb <v]z6B@9! 设计任务
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*3A?uzr K'x4l,rq 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
tC^ 1} Iha[Gu 扫描参数空间以获取初始解
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#S%4? G@9u:\[l 初始解#1的参数优化
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M ~als3 88
{1mA,v 最终设计#1的性能分析
5Q`RTn% ZI,j?i6\
/?Vdqci J7:9_/e0T 初始解#2的参数优化
W]_g4,T> (z/jMMms
Dv@PAnk3C e8oKn& 最终设计#1的性能分析
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h}h^L+4 BBxc*alG0 VirtualLab Fusion一瞥
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r@k"4ce-
dByjcTPA :s"2Da3B VirtualLab Fusion中的工作流程
E tx`K5Tr] z$|;-u| 构建
光栅结构
ll%G!VR ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
&iNS?1a%f= ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
b0 & 分析光栅
衍射效率
qz`rL#W] ─ Grating Order Analyzer
Ad/($v5+ 使用参数运算寻找初始解
r!kLV )_ ─ Usage of the Parameter Run Document
Nt~x&s 使用参数优化确定最终解
mZ7B<F[qV F}'wH-qp VirtualLab Fusion技术
L6+C]t}>6 lm$;:Roj*