摘要
^%C.S : H,?AaM[V
BI}>"', ofN|%g / 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
6KV&E8Gn '1bdBx\<. 设计任务
eyy&JjVs Kr8p:$D};
rYc?y lMlXK4- 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
D3MuP
p-v <}B]f1zX 扫描参数空间以获取初始解
CjIkRa@!x N>@AsI
R`/nsou 8 v&5)0u 初始解#1的参数优化
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d<#Xqc G;,2cu
K 最终设计#1的性能分析
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yzXwxi1# .-nA#/2- 初始解#2的参数优化
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haB$W 4x Kx#G_N@ 最终设计#1的性能分析
Km-lWreTH 2W|j
K
h/PWi<R
i R0{n0Br VirtualLab Fusion一瞥
a_FJN zL 011 _(v
eK`n5Z&Y\ <udp:s3#T VirtualLab Fusion中的工作流程
hC~lH eH [f^~Z'TIN/ 构建
光栅结构
~)WE ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
l6)*u[}E ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
3\6jzD 分析光栅
衍射效率
!AP|ozkL ─ Grating Order Analyzer
[|uAfp5R 使用参数运算寻找初始解
8`'_ckIgr ─ Usage of the Parameter Run Document
~vG~Z*F 使用参数优化确定最终解
+-HaYB|p j2tw`*S+ VirtualLab Fusion技术
v@< "b U AY|8wf,LS