摘要
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t(YrF, ~wmc5L/!? 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
}=CL/JHz T >XnVK 设计任务
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v|:2U8YREf !PX`sIkT 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
D7.|UG?G 9Ml^\| 扫描参数空间以获取初始解
^a&-GhX; Te=[tx~x
+.gM"JV =~M%zdIXv 初始解#1的参数优化
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rxZ%vzVQ> $\BRX\6(- 最终设计#1的性能分析
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"LyMw){ 初始解#2的参数优化
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Y)*5M 2%Bq[SMuN 最终设计#1的性能分析
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: tKa1vL VirtualLab Fusion一瞥
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vA}U.z VirtualLab Fusion中的工作流程
>_3+s~ $F V!HD 构建
光栅结构
L'XX++2 ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
"vVL52HwB ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
,})x1y 分析光栅
衍射效率
^+Ho#] ─ Grating Order Analyzer
29P vPR6 使用参数运算寻找初始解
n{oRmw- ─ Usage of the Parameter Run Document
'\yp}r'u 使用参数优化确定最终解
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X a xT- VirtualLab Fusion技术
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