摘要
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?nL.w A,a.8!*}vd 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
5k.oW= jbAx;Xt'=M 设计任务
.X;3,D[w 4T ~}
o,)?!{k} #)nSr 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
%rv7Jy I"ok&^t^} 扫描参数空间以获取初始解
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OOo3G~2r #~
)IJ 初始解#1的参数优化
X"fb; sGT $69oV:
`9BROZnq ;'cN<x)%| 最终设计#1的性能分析
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=Lf,?"S r/u A.Aou^ 初始解#2的参数优化
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UJ&<? 最终设计#1的性能分析
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$}!p+$ =\H!GT VirtualLab Fusion一瞥
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e4 >_v(' =4FXBPoQK VirtualLab Fusion中的工作流程
rustMs2p V3^&oe% 构建
光栅结构
ur:3W6ZKl ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
*%%g{
3$ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
^\4h<M 分析光栅
衍射效率
6\g cFfo ─ Grating Order Analyzer
;V *l.gr'2 使用参数运算寻找初始解
Ab{ K<:l ─ Usage of the Parameter Run Document
PoG-Rqe 使用参数优化确定最终解
w9< R#y[A MkfBuW;) VirtualLab Fusion技术
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