[技术]抗反射蛾眼结构的严格分析与设计 [复制链接]

摘要 # a3Q<%V  
?E`J-ncP  

图片:1-1Z51510125a46.png

m=R4A4Y7  
I%ez_VG  
对于许多光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的纳米或微米结构，启发来源于自然界（蛾眼）。这些具有亚波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和角度依赖性的独特性质。在本文中，介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。  iJ\#su  
)z aMycW  
设计任务 \6N\6=t!A  
q/[)mr|~  

图片:1-1Z51510132J28.png

NT/}}vES  
'?d[ ip  
如何优化抗反射蛾眼结构的参数？最小化空气-PMMA界面的反射？ +5Mx0s(5  
H;^6%HV1  
扫描参数空间以获取初始解 3RD Q{
&J:  
9(C Ke,  

图片:1-1Z515101400435.png

n4:WM+f4  
[~J4:yDd=  
初始解#1的参数优化 !vsUL-  
1q*3
V8  

图片:1-1Z51510142T40.png

k~?@~xm,R  
>Nov9<p  
最终设计#1的性能分析 'HC4Q{b`  
wC[J=:]tA5  

图片:1-1Z515101449227.png

!,\]> c  
H1X6f7`  
初始解#2的参数优化 |h3YL!  
| o?@Eh  

图片:1-1Z515101512T7.png

h7*m+/O  
]!f=b\-Av  
最终设计#1的性能分析 , w_Ew  
al5?w{us  

图片:1-1Z515101546132.png

rsP1?Hxq  
uto4bs:  
VirtualLab Fusion一瞥 #R)$nv:h?^  
dkXK0k  

图片:1-1Z515101611624.png

vX{]_  
m\Dbb.vBvW  
VirtualLab Fusion中的工作流程 F`
3I~(  
6l50IWj,T  
 构建光栅结构 1|zo-'y  
─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces :+u?A  
─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media mtHw!*  
 分析光栅衍射效率 Pp}j=$&j\  
─ Grating Order Analyzer Kj'uTEM  
 使用参数运算寻找初始解 !7_Q_h',  
─ Usage of the Parameter Run Document d9E:LZy  
 使用参数优化确定最终解 #vIF]Y  
#"TTI vd0  
VirtualLab Fusion技术 YpAjZQZ,  
nzU@}/A/  

图片:1-1Z515101J51H.png