摘要
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O(8Px |*5K fxq 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
7t7"glP 5w)tsGX\ 设计任务
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UI}v{05] (+d7cln 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
5t`< KRz)I ]a)o@FI 扫描参数空间以获取初始解
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*HFRG)[V <H{%` 初始解#1的参数优化
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;/w-7O: ~Ts^z(v~D2 最终设计#1的性能分析
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hb 初始解#2的参数优化
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]n9o=^q/ DPCB=2E 最终设计#1的性能分析
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< 6-8,qk VirtualLab Fusion一瞥
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\$GM4:R D bBwQ1,c$ VirtualLab Fusion中的工作流程
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(.3 }71a3EUK 构建
光栅结构
5}S~8 ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
]
TY$ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
{j$ :9 H 分析光栅
衍射效率
-]$q8Q(hM ─ Grating Order Analyzer
B:Y"X:Y 使用参数运算寻找初始解
iI T7pq1 ─ Usage of the Parameter Run Document
4&b*|"Iw 使用参数优化确定最终解
T1,Nb>gBq^ {m%]`0 VirtualLab Fusion技术
D6X0(pU0 F/gA[Y|,gI