摘要
(,b\"Q nX8ulGG s Xh }G=1} 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
#"fn; m@2=v q1f 任务
tTT
:r),}$ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
1 ]ePU8 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
YK zfI9Y *E+VcU TSVlZy~Xo 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
1C0'
Gf)3 连接建模技术：衍射光束分束器
wQa,o l_p k]~$AaNq L
nyow}
通过配置助手和IFTA进行相位设计
D;[%*q* ]} n|5 p!DOc8a.\e 将传输函数转化为结构
^fmuBe}d{ N?O^" &"7+k5O 衍射光束分束器表面
\["I.gQ dVZ~n4 wCu!dxT|, 衍射光束求解器 - TEA & FMM
Dw$RHogb~y NMUF)ksjN >E3-/)Ti 光栅级数 & 可编程光栅分析器
Y^ y:N$3$\ 1 hD(l6tG@ r_kaS
als 设计与评估结果：
8fktk?| • 相位函数设计
4*HBCzr7[ • 结构设计
$k`j";8uR • TEA 评估
VCwC$ts • FMM 评估
1DGl[k/zv • 高度缩放检查（用于优化/容限）
-)xl?IB% HDaeJk 仅相位传输设计
trB-(B%5 ./^8L( pCC^Hxa 结构设计
`?SC.KT fYpJ2y-sA YFW/
Fa\7 使用TEA进行性能评估
uc}F|O MhJA8| B6| ~ +V$0Q;L 使用FMM进行性能评估
M^Tm{`O!
A[F_x*S Fk9]u^j 进一步的分析（优化后，容差分析）
Zr =B8wu T <[ u(il ^%tn$4@@Z.
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
piqh7u3~ 1.TIUH1 yr?X.Np 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
L-9;" ]d~| 8kvA^r` 1/&^~' 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
DiGHo~ f xM @s `s|n
