摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
da)NK! Aq3}Ng 任务
t%F0:SH • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
g8P TGz • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
AU2i%Q! =s<( P1|" gz3pX#S 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
jH_JmYd 连接建模技术：衍射光束分束器
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OpHsob~ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
XQw>EZdj_N N<~ku<nAU S~|T4q( 将传输函数转化为结构
u*hSj)vr1 K4kM M*D hdrm!aBd 衍射光束分束器表面
R?]02Q ynbuN x* >y,-v:Vy 衍射光束求解器 - TEA & FMM
ti#7(^j K5lmVF\ $P P-9<YN 光栅级数 & 可编程光栅分析器
RsYU59_Y &Y }N|q- ?!+MM&c-n 设计与评估结果：
BqT y~{)+ • 相位函数设计
N0r16# -g • 结构设计
?"g! • TEA 评估
P
Y • FMM 评估
*6VF
$/rP • 高度缩放检查（用于优化/容限）
8SGo9 [U2 O&Y*pOg 仅相位传输设计
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25 结构设计
>G%o,9i c I4K+ h D/*h*}T> 使用TEA进行性能评估
Fx2bwut.K P09;ng67 -[ wGX}} 使用FMM进行性能评估
<_-hR bS NGbG4-w- bJX)$G 进一步的分析（优化后，容差分析）
Ck) * & ye,> A. 
9@Jtaq>jf 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
C) `Fv=]R fSokm4]vg i uF*.hc,% 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
yjF1}SQ TIQkW, QD0"rxZJ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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