摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
@q"HZO[ cd(YH! 3 任务
vLs*}+f • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
awl3|k/ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
w2) @o>w V [Wo9Y\ Fv-~v& 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
rlQ=rNrG&E 连接建模技术:衍射光束分束器
KA? J: uqv S *t300`x
通过配置助手和IFTA进行相位设计
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9EF A kfgkZ"9 9/JBn 将传输函数转化为结构
?UV|m 2QgD< im@QJ: 衍射光束分束器表面
9~{,Hj1xE k`BS{,= 1G8,Eah 衍射光束求解器 - TEA & FMM
)I"I[jDw joBS{] ?|Ey WAL 光栅级数 & 可编程光栅分析器
)fl+3!tq
no(or5UJ @a i2A| 设计与评估结果:
E?FUr?-[ • 相位函数设计
k\X yR4r • 结构设计
{ u3giB • TEA 评估
& zv!cf • FMM 评估
U%n>(!d • 高度缩放检查(用于优化/容限)
_+OCI%=: P9)L1l<3I 仅相位传输设计
`R*SHy!
_ X0knM}5 trZU_eouI 结构设计
tYp 185 On0,#i= +DaKP)H\: 使用TEA进行性能评估
+~"(Wooi Q<Qd*v&- m=25HH7enb 使用FMM进行性能评估
tL M@o|: !JtM`x/yR (9{qT>eJg= 进一步的分析(优化后,容差分析)
[Z^26/5a (}rBnD f!F5d1N
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
&crR nv? A8g_BLj!e <}G/x*N 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
yL %88,/ g>
m)XY /VD[: sU7 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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