摘要
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U)C>^ !Us "J>8ZUP 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
*nlDN4Y[ } T&~DVM 任务
2!? =I'uMA • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Y;#H0v>E • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
=PYS5\k F&$~]R=& 1-}M5]Y 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
O7z5,- 连接建模技术：衍射光束分束器
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(x140_TH~ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
h7J 4 p 8XD_p);Oy %,f(jQfg_ 将传输函数转化为结构
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J7p?9 衍射光束分束器表面
csj 4?]gI Ti&v9re%wO +l;A L5h 衍射光束求解器 - TEA & FMM
T[%@B" |[X-i["y @waY+sqt= 光栅级数 & 可编程光栅分析器
$Go)Zs-bL? V-x/lo]Co +u;RFY^ 设计与评估结果：
?JMy • 相位函数设计
&VT O9d • 结构设计
lK3{~ \J- • TEA 评估
>f*Zf(F • FMM 评估
t)hi j&wzu • 高度缩放检查（用于优化/容限）
!#dp [,nk 2<tU 仅相位传输设计
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r9}nx0 结构设计
a]@BS6 tf6 Zz[ ); d"gv(]D 使用TEA进行性能评估
0,j!* s^HI%mdf e@{Rlz 使用FMM进行性能评估
G<Y }QhFU xM**n3SZ` MY l9 &8 进一步的分析（优化后，容差分析）
e# (X++G dWiX_&g 
` NCH^ ) 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
9}z%+t8u Zx)gLDd m.Ki4NUm 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
$y,tR.5.)[ bp>M&1^KY Ca
?d8 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
70. Tm#qh o8fY!C)
