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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 bV&"jjEx  
    \~> .NH-  
       IKVFbTX:y  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 @q"HZO[  
    cd(YH! 3  
    任务 vLs*}+f  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 awl3|k/  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 w2) @o >w  
    V [Wo9Y\  
    Fv-~v&  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 rlQ=rNrG&E  
    连接建模技术:衍射光束分束器 KA? J:  
       uqvS  
    *t300`x  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 \IP 9EFA  
    kfgkZ"9  
    9/JB n  
    将传输函数转化为结构 ?UV|m  
    2QgD<  
    im@QJ :  
    衍射光束分束器表面 9~{,Hj1xE  
    k`B S{,=  
    1G8,Eah  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM )I"I[jDw  
     joBS{]  
    ?|Ey WAL  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 )fl+3!tq  
    no(or5UJ  
    @a i2A|  
    设计与评估结果: E?FUr?-[  
    • 相位函数设计 k\X yR4r  
    • 结构设计 { u3giB  
    • TEA 评估 & zv!cf  
    • FMM 评估 U%n>(!d  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) _+OCI%=:  
    P9)L1l<3I  
    仅相位传输设计 `R*SHy! _  
    X0knM}5  
    trZU_eouI  
    结构设计 tYp 185  
    On0,#i=  
    +DaKP)H\:  
    使用TEA进行性能评估 +~"(Wooi  
    Q<Qd*v&-  
    m=25HH7enb  
    使用FMM进行性能评估 tL M@o|:  
    !JtM`x/yR  
    (9{qT>eJg=  
    进一步的分析(优化后,容差分析) [Z^26/5a  
    (}rBnD  
    f!F5d1N  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 &crR nv ?  
    A 8g_BLj!e  
    <}G/x*N  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 yL %88,/  
    g> m)XY  
    /VD[:sU7  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 )J?8"+_Y  
    b94+GL U8b  
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