摘要
`|d&ta[{ /m+q!yi & Z2soy- 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Q?"-[6[v -4!i(^w[m/ 任务
e Zb8x • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
MF%>avRj • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
dab[x@#r> ^d[ s*,i? W$_@9W(Bl 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
r -SQk>Y} 连接建模技术：衍射光束分束器
Y/aNrIK7 p/GYfa
dU 
qGgqAF#B 通过配置助手和IFTA进行相位设计
4zw5?$YWO" "Ca?liy +ysP#uAA 将传输函数转化为结构
KXy|Si8w h=Xr J {2,OK=XM| 衍射光束分束器表面
$xU5vCwAo )$ +5imi ;}=[( eqA 衍射光束求解器 - TEA & FMM
8LouCv(> T-L; iH~0 ? [K \X 光栅级数 & 可编程光栅分析器
sG~5O\,E ]\Tcy [5 0W1=9+c|X 设计与评估结果：
XCTee • 相位函数设计
|Skxa\MI • 结构设计
&bO0Rn1F • TEA 评估
(!0=~x|Z[ • FMM 评估
"77 j(Vs9 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
@'yD(ZMAz m+J3t @$ 仅相位传输设计
TLk=H Gw /o19/Pvwm f/:XIG 结构设计
2nFSu9}+r 9V%s1@K ;&Oma`Ec 使用TEA进行性能评估
-$]Tn#`Fb z$d/Vz,a }"'^.FG^_ 使用FMM进行性能评估
N}*|*!6hI 27t23@{YL ci @U
a}T 进一步的分析（优化后，容差分析）
@ qfVt yBPaGZ{ f 
YAIDSZ&l[ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
s C9j73 vf (Hcd{]M~ JWa9[Dj 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
q,JMmhWaT IR+dGqIjZb Qn77ZpL:LJ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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