摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
`L.nj6F &=lhKt 任务
ket"fXqJX • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
2*zMLI0. • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
ul\FZT 4 yuF\YOA9 \Pd>$Q 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
=AeOkie 连接建模技术:衍射光束分束器
\%.&$z3wz RNX>I,2sh
-nB.
.q 通过配置助手和IFTA进行相位设计
NHzVA*f &lB>G[t JiiYl 将传输函数转化为结构
vz)zl2F5sY ~|`jIqU uHyc7^X> 衍射光束分束器表面
H(Ad"1~.# ymA8`k5>@ ]?hlpL 衍射光束求解器 - TEA & FMM
@Sz7*p t},71Ry Qy) -gax:, 光栅级数 & 可编程光栅分析器
R78lV-};Q 3:gF4(. hj3wxH.} 设计与评估结果:
f7 zGz • 相位函数设计
^~m}(6 • 结构设计
HH^yruP\} • TEA 评估
)'`@rq! • FMM 评估
Qf|c^B • 高度缩放检查(用于优化/容限)
LLwC*) # v79\(BX 仅相位传输设计
\B8[UZA.& !GZ{UmwA wmit>69S 结构设计
eo4v[V& q_0,KOGW P".rm0@R 使用TEA进行性能评估
=OooTZb:x- <#7j~ < E)(Rhvij 使用FMM进行性能评估
oo!JAv}~ !Bb^M3iA @5TJ]= 进一步的分析(优化后,容差分析)
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6 kAXE\T
?) VBkA5j 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
nnMRp7LQ- `HsI)RmX :Pi=" 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
e>$E67h<~ Y/G~P,9 K=;oZYNd 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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