摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
U$MWsDn
pq%t@j(X 任务
%{7$\|;J' • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
oB hL}r • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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gvvFU,2 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
rGQ86L< 连接建模技术:衍射光束分束器
ddGkk@CA 8JQ<LrIt9 yz54:q?
通过配置助手和IFTA进行相位设计
E&}H\zt# W66}\&5 54, Ju'r 将传输函数转化为结构
\ x>NB \JF57t}Zk %Z-Tb OX 衍射光束分束器表面
j@kRv@ 1q;I7_{ 2 PW(_yB; 衍射光束求解器 - TEA & FMM
N^nDWK C.B8 J"T- zIX}[l4EW~ 光栅级数 & 可编程光栅分析器
|V*e2w 6|>"0[4S {|t? 设计与评估结果:
[kU[}FT • 相位函数设计
uWM4O@Qn)d • 结构设计
7~Xu71^3s • TEA 评估
h0ZW,2?l • FMM 评估
]lG_rGw • 高度缩放检查(用于优化/容限)
$n_sGr 0|f_C3 仅相位传输设计
0^|$cvYiL j:\_*f KJ05Zx~uma 结构设计
wE.@0 Tk2&{S " k-t,y|N
使用TEA进行性能评估
(\AszLW 9h)P8B.>M C$EFh4 使用FMM进行性能评估
8?]%Qi ~"hAb2 OHXeqjhy 进一步的分析(优化后,容差分析)
d&3I>E$UP Qr xO
erp .x9nWa
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
r>D[5B U7Sl@-#| itvy[b-* 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
M KE[Yb? Kk"B501 |cBF-KNZ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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