摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
e{To&gy~ ,_u8y&<|I 任务
jBI V Z!X • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Nf-IDK • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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XHRt $Jb+}mlT NZ7a ^xT_) 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
ZzzQXfA# 连接建模技术：衍射光束分束器
`o /tpuI [ {lF1+];@ 
^tc@bsUF 通过配置助手和IFTA进行相位设计
OR1X Qij sKn>K/4JZ Z%(aBz 7Et 将传输函数转化为结构
z)43+8 ;
A-ir >9<h?F%S 衍射光束分束器表面
\&@Tq-o 2#T|+mKxZM (tyo4Tz1 衍射光束求解器 - TEA & FMM
g 4Vt"2| f[ %\LHq ;`X -.45 光栅级数 & 可编程光栅分析器
aJI>qk h?] &Vnet7LfU kW6}57iV 设计与评估结果：
=J0FT 2 d • 相位函数设计
@h l5^d"l • 结构设计
RL.%o?<&? • TEA 评估
$'?CY)h{ • FMM 评估
P)>WIQSr • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Be8Gx I*6L` #j[ 仅相位传输设计
4?jhZLBU YDs/BF
Z 3~s0ux[ 结构设计
d/P$q MD 9 DKmXL ?D57 HCd`n 使用TEA进行性能评估
]$0{PBndW ;)"r^M)): ~ z32%k 使用FMM进行性能评估
2[j|:Ng7 wpx,~`& d@,q6R}!MP 进一步的分析（优化后，容差分析）
{:S{a+9~ -7m;rD4J 
I?bL4u$\ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
ax>en]rNP >[ lj8n mUcHsCszH 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
I`Rxij z 4zJ9bF 4 Br \/7F 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
O=c & IK~ur\3
