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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 ::-*~CH)  
    :-(qqC:  
       =j{Kxnv  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Ue"pNjd|  
    #%V+- b(  
    任务 k]2_vk^  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 {A)9ePgv!  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 o,@ (]e~  
    +/" \.wYv  
    0F 2p4!@W  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 upZf&4 I8  
    连接建模技术:衍射光束分束器 2@I0p\a  
       BKgCuz:y  
     P.mlk>r  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 3UUN@Tx  
    O]Y   z7  
    +*aC \4w  
    将传输函数转化为结构 |t~>Xs  
    oa`7ClzD  
    }02(Y!Gh  
    衍射光束分束器表面  s=556  
    %joU}G;"  
    _>8Q{N\- {  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM ,lFp4 C  
    S6fbwZZMG  
    imKMPO=  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 6& 6|R3  
    M|{NC`fa  
    a|4Q6Ycu  
    设计与评估结果: J"TF@7{p  
    • 相位函数设计 M Ih\z7gW  
    • 结构设计 [khXAf1{Q  
    • TEA 评估 M5L/3qLh1  
    • FMM 评估 IaU%L6Q]  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) Z9Z\2t  
    Ds#BfP7a  
    仅相位传输设计 P]armg%  
    H6U 5-  
    {-%8RSK=<  
    结构设计 {<?8Y  
    %E"Z &_3{  
    {w7/M]m-  
    使用TEA进行性能评估 2gR*]?C*  
    dcyHp>\)|  
    Cl{Ar8d}  
    使用FMM进行性能评估 J;4aghzY  
    mkl^2V13~  
    %Y>E  
    进一步的分析(优化后,容差分析) qB&Je$_uh  
    ?nWzJ5w3  
    W!Fc60>p@f  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .8T0OQ4  
    "M3;>"`G  
    5L_`Fw\l  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 n 8 K6m(  
    DJAKF  
    II!~"-WH  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 PC|ul{[*}  
    1aCpeD4|)  
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