摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Ue"pNjd| #%V+- b( 任务
k]2_vk^ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
{A)9ePgv! • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
o,@(]e~ +/" \.wYv 0F
2p4!@W 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
upZf&4 I8 连接建模技术:衍射光束分束器
2@I0p\a BKgCuz:y P.mlk>r
通过配置助手和IFTA进行相位设计
3UUN@Tx O]Yz7 +*aC
\4w 将传输函数转化为结构
|t~>Xs oa`7ClzD }02(Y!Gh 衍射光束分束器表面
s=556 %joU}G;" _>8Q{N\-
{ 衍射光束求解器 - TEA & FMM
,lFp4 C S6fbwZZMG imKMPO= 光栅级数 & 可编程光栅分析器
6&
6|R3 M|{NC`fa a|4Q6Ycu 设计与评估结果:
J"TF@7{p • 相位函数设计
MIh\z7gW • 结构设计
[khXAf1{Q • TEA 评估
M5L /3qLh1 • FMM 评估
IaU%L6Q] • 高度缩放检查(用于优化/容限)
Z9Z\2t Ds#BfP7a 仅相位传输设计
P]armg% H6U5- {-%8RSK=< 结构设计
{<?8Y %E"Z &_3{ {w7/M]m- 使用TEA进行性能评估
2 gR*] ?C* dcyHp>\)| Cl{Ar8d} 使用FMM进行性能评估
J ;4aghzY mkl^2V13~ %Y>E 进一步的分析(优化后,容差分析)
qB&Je$_uh ?nWzJ5w3 W!Fc60>p@f
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
.8T0OQ4 "M3;>"`G 5L_`Fw\l 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
n 8
K6m( DJAKF II!~"-WH 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
PC|ul{[*} 1aCpeD4|)