摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
6(7dr?^eGT I~E&::, 任务
7<L!" 2VB • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
~eS/gF? • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
ug'^$geM ^jcVJpyT@R %tPy]{S.. 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
GO*D4<#u 连接建模技术:衍射光束分束器
:T>OJ"p &LG|YvMY6 >]A#_p
通过配置助手和IFTA进行相位设计
xX0wn?,~ Jh36NE8r ,1.Td=lY$ 将传输函数转化为结构
IFZw54 ~ 588md : mVN\ 衍射光束分束器表面
LF)wn-C} ay`R jT ^rO!- 衍射光束求解器 - TEA & FMM
uJ fXe \IEuu^ C[l5[DpH 光栅级数 & 可编程光栅分析器
|N3#of( )cL`$h4DD
><.*5q 设计与评估结果:
KdzV^6K<c • 相位函数设计
`Tk~?aY • 结构设计
*y` (^kyS • TEA 评估
``@e7~F{ • FMM 评估
2z AxGX • 高度缩放检查(用于优化/容限)
e~9g~k]s YY$Z-u( 仅相位传输设计
5^CWF| fQ-IM/z b`Jsu!?{ 结构设计
NO/5pz}1 kbbHa_;aqV 1=z\,~b 使用TEA进行性能评估
ux17q>G ?(}~[ i[z#5;x+< 使用FMM进行性能评估
Bt1v7M /^gu&xnS +1\t0P24 进一步的分析(优化后,容差分析)
eOfVBF<C2 H|MAbx
7 o{l]n*
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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^j\L -q
nOq[ tWQ$`<h 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
E}#&2n8Y ZsYY)<n =.):tGDp 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
%WX^']p o,?h}@