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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 rwAycW7  
    %O>_$ 4q  
       \Zn~y--Z  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 `L.nj6F  
    &=lh Kt  
    任务 ket"fXqJX  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 2*zMLI0.  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ul\FZT 4  
    yuF\YOA9  
    \Pd>$Q  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 =AeOkie  
    连接建模技术:衍射光束分束器 \%.&$z3wz  
       RNX>I,2sh  
    -nB. .q  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 NHzVA*f  
    &lB>G[t  
    JiiYl&#  
    将传输函数转化为结构 vz)zl2F5sY  
    ~|`jIqU  
    uHyc7^X>  
    衍射光束分束器表面 H(Ad"1~.#  
    ymA8`k5>@  
    ]?hlpL  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM @Sz7*p  
    t},71Ry  
    Qy) -gax:,  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 R78lV -};Q  
    3:gF4(.  
    hj3wxH.}  
    设计与评估结果: f7 zGz  
    • 相位函数设计 ^~m}(6  
    • 结构设计 HH^yruP\}  
    • TEA 评估 )'`@rq!  
    • FMM 评估 Qf|c^B  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) LLwC*)#  
    v79\(BX  
    仅相位传输设计 \B8[UZA.&  
    !GZ{UmwA  
    wmit>69S  
    结构设计 eo4v[V&  
    q_0,KOGW  
    P".rm0@R  
    使用TEA进行性能评估 =OooTZb:x-  
    < #7j~<  
    E)( Rhvij  
    使用FMM进行性能评估 oo!JAv}~  
    !Bb^M3iA  
    @5TJ]=  
    进一步的分析(优化后,容差分析) t8"yAYj  
    6 kAXE\T  
    ?) VBkA5j  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 nnMRp7LQ-  
    `HsI)RmX  
    :Pi="  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 e>$E67h<~  
    Y/G~P,9  
    K=;oZYNd  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 =' #yG(h  
    }<G#bh6;Q  
     
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