摘要
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)!u 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
%.uN|o&n j~;y~Cx? 任务
DEfhR?v • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
>A6PH*x • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
<x$fD37 @k:@mzB7R j6 _w2 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
^b.fci{1m 连接建模技术:衍射光束分束器
B(-F|q\ ZiH4s| <P Vmr2Jp" 通过配置助手和IFTA进行相位设计
(YmIui> #fyY37- 3] U/^f3 将传输函数转化为结构
j_zy"8Y{ QYBLU7 M&/e*Ta5 衍射光束分束器表面
:}v:=c k QX(t@VP d;r,?/C 衍射光束求解器 - TEA & FMM
7:.!R^5H MAc/ T.[ d _=44( - 光栅级数 & 可编程光栅分析器
PCKxo;bD f+c{<fX
yW_goS0 设计与评估结果:
~;wR}s<}( • 相位函数设计
7 :u+-U • 结构设计
n2(\pQKm • TEA 评估
k@9q5lu;T • FMM 评估
6HVGqx • 高度缩放检查(用于优化/容限)
j8t_-sU9 i 7H[.o~\ 仅相位传输设计
#Pq6q.UB @c,=c+- ia-&? 结构设计
57U;\L;ZmZ Vf(n %U97{y 使用TEA进行性能评估
Ti5"a<R4m6 D4+OWbf6 d[ce3':z 使用FMM进行性能评估
vmtmiN8;d 4-xg+*() K5d>{c 进一步的分析(优化后,容差分析)
^`(3X y;LZX-Z- `+WQ^dP@ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
Jz_`dLL^w tpKQ$)ed 4f,%@s)zn 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
MCfDR#a {E>(%vD ns8I_H 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
FBI^}^#_ ^eqq|(<K