摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
FqwIJ|ct - ^Xy% 任务
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W< • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
1SUzzlRx • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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wX 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
O= aw^|oj] 连接建模技术：衍射光束分束器
it)ZP H .#0H{mk 
hk_g2g 通过配置助手和IFTA进行相位设计
Um z05* p>q&&;fe } Gr&w-v 将传输函数转化为结构
Me ,<\rQ 0 _A23.Y +Rqbf 衍射光束分束器表面
M\9F:.t= ?ok)>P =WK04\H 衍射光束求解器 - TEA & FMM
|n`PESf_ fagM7)x =IZ[_ /@ 光栅级数 & 可编程光栅分析器
@}DFp`~5| k][ h9' ,[X_]e;
设计与评估结果：
O9^T3~x[V • 相位函数设计
WK==j1 • 结构设计
XQ?fJWLU
• TEA 评估
)3% @9 • FMM 评估
X?/Lz;,& • 高度缩放检查（用于优化/容限）
v k'rA{x L^FcS\r; 仅相位传输设计
?Vc0) 9i=B uv]{1S{tb 结构设计
jj,r <T G;s"h%Xw98 _ie.| 4k 使用TEA进行性能评估
,h&a9:+i xS8 ,W pOA !#Aj) 使用FMM进行性能评估
".P){Dep$4 |4mVT&63( Kkv<"^H 进一步的分析（优化后，容差分析）
"IFg RaP= `/4:I 
%>zjGF< 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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!B!eO Y vHcqEV|P/n %e? fH.) 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
~3CVxbB^< @AQwr#R"l E\M-k\cSj 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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