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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 s'd\"WaQV  
    Bs|#7mA[  
       9xK#( M  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 6(7dr?^eGT  
    I~E&::,  
    任务 7<L!" 2VB  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ~eS/gF?  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ug'^$geM  
    ^jcVJpyT@R  
    %tPy]{S..  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 GO*D4<#u  
    连接建模技术:衍射光束分束器 :T>OJ"p  
       &LG|YvMY6  
    >]A#_p  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 xX0 wn?,~  
    Jh36NE8r  
    ,1.Td=lY$  
    将传输函数转化为结构 IFZw54  
    ~ 588md :  
    mVN\  
    衍射光束分束器表面 LF)wn -C}  
    ay`R jT  
    ^rO!-  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM uJ fXe  
    \IEuu^  
    C[l5[DpH  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 |N3#of(  
    )cL`$h4DD  
    ><. *5q  
    设计与评估结果: KdzV^6K<c  
    • 相位函数设计 `Tk~?aY  
    • 结构设计 *y` (^kyS  
    • TEA 评估 ``@e7~F{  
    • FMM 评估 2z AxGX  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) e~9g~k]s  
    YY$Z-u(  
    仅相位传输设计 5^CWF|  
    fQ -IM/z  
    b`Jsu!?{  
    结构设计 NO/5pz}1  
    kbbHa_;aqV  
    1=z\,~ b  
    使用TEA进行性能评估 ux 17q>G  
    ?(}~[  
    i[z#5;x+<  
    使用FMM进行性能评估 Bt1v7M  
    /^gu&xnS  
    +1\t 0P24  
    进一步的分析(优化后,容差分析) eOfVBF<C2  
    H|MAbx 7  
    o{l]n*  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 8%a ^j\L  
    -q nOq[  
    tWQ$`<h  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 E}#&2n8Y  
    ZsYY)<n  
    =.) :tGDp  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 %WX^']p  
    o,?h}@  
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