摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
8wmQ4){ V;;#/$oU:4 任务
.&|L|q} • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
(O0byu} • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
NzlAC v2>Z^ M*`hDdS 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
8UM0vNk 连接建模技术:衍射光束分束器
#xp(B5 ~OCZz$qA ]0-<>
通过配置助手和IFTA进行相位设计
YlKFw|= D/:3RZF `eD1|Go9 将传输函数转化为结构
5v|EAjB6o [.-a$J[4+F :0I
l|aB 衍射光束分束器表面
$.8 H>c %/pc=i|+ |}Ph"g2D, 衍射光束求解器 - TEA & FMM
t9` Ed>a vRr9%zx t$I|E 光栅级数 & 可编程光栅分析器
X"<|Z]w WcEt%mGQ, ~kb{K; 设计与评估结果:
JA6";fl; • 相位函数设计
A[JM4x
• 结构设计
kEP<[K • TEA 评估
h<NRE0- • FMM 评估
,YB1 y)x • 高度缩放检查(用于优化/容限)
zy>}L # "%
Y u
wMY 仅相位传输设计
u)~s4tP4 vYnftJK& A*i_|]Q 结构设计
n)RM+g nk/vGa4 Uw <{i 使用TEA进行性能评估
w}`3 d@ (>AFyh&3,X 9o_-=>( 使用FMM进行性能评估
DsQ/aG9c% fj+O'X ~L'nzquF 进一步的分析(优化后,容差分析)
6Xa.0(h +)gB9DoK *U_oao
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
e{!vNJ0` _B$"e[:yX =x
H~ww (D 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
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MZ~.(& (.Xr#;\( 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
.'lN4x )`Ed_F}k