摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Qh|-a@ Ufaqhh 任务
''(fH$pY • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
vn0cKz@ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
us\%BxxI9 Z SF= "# -Nqq 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
vZ[ $H 连接建模技术：衍射光束分束器
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4-]Do? 通过配置助手和IFTA进行相位设计
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%A)-m 69 +}c|O+6g 将传输函数转化为结构
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>*;} y:g7'+c jiA5oX^g 衍射光束分束器表面
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_Zo@y~J 9UeVvH kyW6S+ #- 衍射光束求解器 - TEA & FMM
943I :, B CB *` Y )u_nn'[ 光栅级数 & 可编程光栅分析器
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Ar z:Xj_ `p !l Q#sL` 设计与评估结果：
F=oHl@ • 相位函数设计
~vW)1Xn K • 结构设计
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• TEA 评估
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O • FMM 评估
8- dRdQu] • 高度缩放检查（用于优化/容限）
P$p@5 hl sg3h i"Im 仅相位传输设计
KI E k/]<H -Wl)Lez@ 98ca[.ui 结构设计
`t{D 7 I7 'R^i KN Ps P['X<Xt8 使用TEA进行性能评估
lZ}izl =ud `6{R 7*zB*"B'1t 使用FMM进行性能评估
g~~m' ^ )-0[ra] Cn abD{uTf 进一步的分析（优化后，容差分析）
y._'K+nl Z:I*y7V- 
= y?#^ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
_FL<egK f"Ost;7zg 98BYtxa 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
^ 4+r*YvcM T1l&B (l
Lu?NpIi 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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