摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
q^ h/64F 3
J5lz~6 任务
+0) H~
qB\ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
$E}N`B7 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
v^B2etiX_ KBa0 %e(DPX 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
5,?^SK|'x 连接建模技术：衍射光束分束器
Q9i[?=F:z b-Ru UfUn0 
cp6I ]#X 通过配置助手和IFTA进行相位设计
38GZ_ z}r B_* Ayk
a|z@5r% 将传输函数转化为结构
z
fu)X!t^ 8`_tnA RIX -t: U4r( 衍射光束分束器表面
F
|aLF{ kW=!RX[& Z>pZ| 衍射光束求解器 - TEA & FMM
zbj V>5 a\&g;n8jA )r?- _qj= 光栅级数 & 可编程光栅分析器
%e:[[yq)G Kl<NAv%j lIPz " 设计与评估结果：
T3@34} * • 相位函数设计
ZEso2|
• 结构设计
=M T'e,T • TEA 评估
,c&gw tdl • FMM 评估
L3A2A • 高度缩放检查（用于优化/容限）
,&L}^ Up 2 8vQ 仅相位传输设计
jB`:(5%RO !+]KxB [&kz4 _ 结构设计
';v1AX}5q Z\cD98B# Ss_}@p ^ 使用TEA进行性能评估
kK/XYC
0D eD7qc1*G /f drf 使用FMM进行性能评估
T FAR>8Nm HiBI0)N} M6GiohI_"P 进一步的分析（优化后，容差分析）
-hc8IS J 5xMA- 
BWNI|pq)v 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
3W{ !\ `j VRabZ0 Z{ gm4YV 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
nxNHf3
LR'; cR; M &)\PbMc 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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a&UzIF dB
