摘要
[YULvWAJ `x/i1^/_@ SA}Dkt&, 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
4tLdqs 7)jN:+4N 任务
^C~Ryw7 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
q9rm9#}[J# • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
cYK:Y!|`F L<@*6QH #J&3Zds 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
>"bW' 连接建模技术:衍射光束分束器
wrgB =o )~=8Ssu
n({%|O<| 通过配置助手和IFTA进行相位设计
sED"}F) zY:3*DiM 6CHb\k 将传输函数转化为结构
Y?J/KW3 GJcxqgk$ 6R<+_e+v 衍射光束分束器表面
/7#e z+Fu{<#( j
[lS.Lb 衍射光束求解器 - TEA & FMM
}W}( k2r HL4=P,' HP]5"ziA 光栅级数 & 可编程光栅分析器
-`XS2 ]dNNw`1\V I*.nwV< 设计与评估结果:
_|I8+(~) • 相位函数设计
4%~*} • 结构设计
we`BqZV • TEA 评估
LJ~#0Zu? • FMM 评估
-fFtHw:kHh • 高度缩放检查(用于优化/容限)
'[liZCg a)pc+w# 仅相位传输设计
07:V[@' WyatHC 6H'A]0 结构设计
*Igb3xK% W.[!Q` pZ|{p{_j 使用TEA进行性能评估
*w4#D:g s,#We} bv \DujF>: 使用FMM进行性能评估
g@!U^mr*3 /A,w{09G ;&6
{c 进一步的分析(优化后,容差分析)
%p 5Z_C(5)/Y
,3_Sf? 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
O$6&4p*F. \OkZ\!<hg )TiM>{ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
XjL3Ar* @!dIa1Q" R`<2DC>h9 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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