[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 M A}=  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 VxLq,$B76  
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任务 djS?$WBpU  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 <(6@l@J|6  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 %h g=@7,|  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 skR/Wf9DH  
连接建模技术：衍射光束分束器 <>A:
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 C#emmg!a\  
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将传输函数转化为结构
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衍射光束分束器表面 /[VafR!  
Id *Gs>4U  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM i^G/)bq  
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AT<gV/1l  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 #57nm]?  
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8js5/G+  
设计与评估结果： sT[)r]`T  
• 相位函数设计 im>Sxu@  
• 结构设计 ?t'ZX~k  
• TEA 评估 >^Klq`"?g=  
• FMM 评估 -TU7GCb=  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） U/>f" F  
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仅相位传输设计 L5
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结构设计 {q~Bss{z  
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使用TEA进行性能评估 6`]R)i]  
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Nv,[E+a2  
使用FMM进行性能评估 hmtRs]7  
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进一步的分析（优化后，容差分析） 3I^KJ/)A  
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A  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 @es}bKP  
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4\pi<#X  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 GIWgfE?  
2xZg, \  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 UIvTC S  
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