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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 [YULvWAJ  
    `x/i1^/_@  
       SA}Dkt&,  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 4tLdqs  
    7)jN:+4N  
    任务 ^C ~Ryw7  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 q9rm9#}[J#  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 cYK:Y!|`F  
    L<@*6QH  
    #J&3Zds  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 >"b W'  
    连接建模技术:衍射光束分束器 wrgB =o  
       )~=8Ssu  
    n({%|O<|  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 sED"}F)  
    zY:3*DiM  
    6CHb\k  
    将传输函数转化为结构 Y?J/KW3  
    GJcxqgk$  
    6R<+_e+v  
    衍射光束分束器表面 /7#e  
    z+Fu{<#(  
    j [lS.Lb  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM }W}(k2r  
    HL4=P,'  
    HP]5"ziA  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 -`XS2  
    ]dNNw`1\V  
    I*.nwV<  
    设计与评估结果: _|I8+(~)  
    • 相位函数设计 4%~*}  
    • 结构设计 we`BqZV  
    • TEA 评估 LJ~#0Zu?  
    • FMM 评估 -fFtHw:kHh  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) '[liZCg  
    a)pc+w#  
    仅相位传输设计 07:V[@'  
    WyatHC   
    6H'A]0  
    结构设计 *Igb3 xK%  
    W.[!Q`  
    pZ|{p{_j  
    使用TEA进行性能评估 *w4#D:g  
    s,#We} bv  
    \DujF>:  
    使用FMM进行性能评估 g@!U^mr*3  
    /A,w{09G  
    ; &6 {c  
    进一步的分析(优化后,容差分析) %p  
    5Z_C (5)/Y  
    ,3_Sf?  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 O$6&4p*F.  
    \OkZ\!<hg  
    )TiM>{  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 XjL3Ar*  
    @!dIa1Q"  
    R`<2DC>h9  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 *z69ti/ t  
    I?PqWG!O  
     
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