摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
I[MgIr^ $DFv30 f 任务
<BWkUZz\P| • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
4W4kwU6D • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
6}~pq1IF{ Ok A K .o%^'m"=D[ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
o{v&.z 连接建模技术：衍射光束分束器
6Q4X 6U:WB |XYEn7^r 
|9xI_(+{kP 通过配置助手和IFTA进行相位设计
Hi! Jj js^ ,(CS e[u?_h 将传输函数转化为结构
yn
AB 9Ywpej*+ %OR|^ M 衍射光束分束器表面
C F!Sa 6 }/dRU${! i>L+gLW 衍射光束求解器 - TEA & FMM
sML=5=otx @K223?c8l Z#d&|5Xj 光栅级数 & 可编程光栅分析器
\mM<\-'p Jo(`zuLJ k;PAh>8 设计与评估结果：
8VG!TpX/B • 相位函数设计
hD,:w%M • 结构设计
l} ^3fQXI • TEA 评估
i!2TH~ zl • FMM 评估
p?[Tm*r • 高度缩放检查（用于优化/容限）
YG:3Fhx0~ ]=rht9)," 仅相位传输设计
7`vEe 'qz Jk|Q`h Us Ga 结构设计
-\ZcOXpMx= exh/CK4; H~eRT1 使用TEA进行性能评估
o56` # ,uya2!) ;Mm7n12z C 使用FMM进行性能评估
R_] {2~J+ I jr\5FA[p LZPuDf~/ 进一步的分析（优化后，容差分析）
rWys'uc I{JU-J k| 
HCK| ~k 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
c,so`I3rI 4v
p @3fn)YQ' 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
$,I q;*7N _0+0#! J! XxHx :mi 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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