摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
(.i wD & hT,rcIkg: 任务
K}M lC}oIt • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
`DE_ <l • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
w ~"%&SNN :yE0DS<_ K'/if5>Bc 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
2 .= G 连接建模技术：衍射光束分束器
E!.&y4 ?Q$a@)x# [ $ uKI,l
通过配置助手和IFTA进行相位设计
?S9vYaA$ H |7XfM 6tjV ^sjs 将传输函数转化为结构
O,-NzGs I(WIT=Wi< wv\V&U $ 衍射光束分束器表面
_>aP5g?Ep 2s> BNWTU D SWmQQ 衍射光束求解器 - TEA & FMM
yyk@f% I}f7|hYX 19-V;F@; 光栅级数 & 可编程光栅分析器
]5K(}95& ' dz>Jl},`k ZR-64G=L, 设计与评估结果：
^ fyue~9u • 相位函数设计
34[TM 3L]. • 结构设计
p@Cas • TEA 评估
?Z4%u8Krvz • FMM 评估
+V9xK hR;x • 高度缩放检查（用于优化/容限）
@/ nGc9h Ml;` *; 仅相位传输设计
yGSZ;BDW:K g HkHAOe/ ?FUK _] 结构设计
@|sBne rE ;< ;~;od*/ BjsTHS& 使用TEA进行性能评估
C(h Td% Rjlp< AaoS & q 使用FMM进行性能评估
F |R7hqf cH4 PrMm& KZ% us 6 进一步的分析（优化后，容差分析）
U 8p %MFD ]h&1|j1 jN 'h/\
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
WC37=8mA Lfdg5D5.P ;"ESN)*|i 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
km][QEXs% tJn"$A ^N D`mr> -Y 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
2 "6qg>]-t LH=^3Gw
