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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 %4~2  
    xG^6'<  
       Hki  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 gE>_:s   
    7C%z 0/  
    任务 A[@xTq s{{  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。  X)^kJ`  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Z2,[-8,Kx  
    MwN.Ll  
    3~7X2}qU  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 O%.c%)4Xo  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ~a^"VQ5]ac  
       JC6Bs`=s~  
    7LM?<lp]  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 -_@3!X1~i+  
    P O,mg?JG(  
    WML%yO\.;  
    将传输函数转化为结构 %\5d?;   
    !vB8Pk"  
    cZ{-h  
    衍射光束分束器表面 CXr]V"X9  
    FCu0)\  
    GoK[tjb  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM WxB}Uh  
    <lj;}@qQ<  
    "[[9i  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 A3VXh^y+  
    Hvto]~=GQ  
    1/O7K R`K  
    设计与评估结果: 2aef[TY  
    • 相位函数设计 gi|j ! m  
    • 结构设计 brk>oM;t  
    • TEA 评估 ^Gc#D:zU  
    • FMM 评估 mlsM;A d2  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) |]tIE{d  
    Gf(|?" H  
    仅相位传输设计 "w#jC ~J<W  
    =}6yMR!4R<  
    9U[ A   
    结构设计 /~?'zr  
    OaeGukhX&  
    &R\t<X9 n  
    使用TEA进行性能评估 lLq:(zMH  
    ^ gY^I`"e6  
    sOegR5?;  
    使用FMM进行性能评估 BB&7VSgc-  
    /1F5khN  
    gr?[KD l~  
    进一步的分析(优化后,容差分析) 9"5J-a'  
    FwB }@)3  
    KiXRBFo  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 \>b :  
    \OV><|Lkh  
    8<gYB$* S  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 W+v7OSd92  
    PyOj{WX>W  
    'P1I-ue  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 s<f<:BC  
    R4 8w\?L  
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