摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
gE>_:s 7C%z0/ 任务
A[@xTqs{{ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
X)^kJ` • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
Z2,[-8,Kx MwN.Ll 3~7X2}qU 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
O%.c%)4Xo 连接建模技术:衍射光束分束器
~a^"VQ5]ac JC6Bs`=s~ 7LM?<lp]
通过配置助手和IFTA进行相位设计
-_@3!X1~i+ PO,mg?JG( WML%yO\.; 将传输函数转化为结构
%\5d?; !vB8Pk" cZ{-h 衍射光束分束器表面
CXr]V"X9 FCu0)\ GoK[tjb 衍射光束求解器 - TEA & FMM
WxB}Uh <lj;}@qQ< "[[9i 光栅级数 & 可编程光栅分析器
A3VXh^y+ Hvto]~=GQ 1/O7KR`K 设计与评估结果:
2aef[TY • 相位函数设计
gi|j! m • 结构设计
brk>oM;t • TEA 评估
^Gc#D:zU • FMM 评估
mlsM;Ad2 • 高度缩放检查(用于优化/容限)
|]tIE{d Gf(|?"
H 仅相位传输设计
"w#jC~J<W =}6yMR!4R< 9U[
A 结构设计
/~?'zr OaeGukhX& &R\t<X9 n 使用TEA进行性能评估
lLq:(zMH ^gY^I`"e6 sOegR5?; 使用FMM进行性能评估
BB&7VSgc- /1F5khN gr?[KDl~ 进一步的分析(优化后,容差分析)
9"5J-a' FwB}@)3 KiXRBFo
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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: \OV><|Lkh 8<gYB$* S 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
W+v7OSd92 PyOj{WX>W 'P1I-ue 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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