[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 Z;<:=#  
k|,Y_h0Y  
   ff;~k?L  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 %M3L<2  
uBK0+FLL@  
任务 zpD?5  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 ;f~fGsH}e'  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 uPq@6,+  
ppo0DC\>
 
W#+f2 RR  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 0xx4rpH  
连接建模技术：衍射光束分束器 ]$uC~b   
   f^-ot@w  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 OxPl0-]t  
2!6E~<
~HC  
UZdGV?o ?  
将传输函数转化为结构 4fIjVx  
OwT_W)$  
t`="2$NO  
衍射光束分束器表面 P!"{-m'
  
gnGh )  
H|_@9V  
衍射光束求解器 - TEA & FMM vV xw*\`<6  
b}DC|?~M  
:%z#s  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 n5%\FFG0M  
D>8p:^3g  
}L(ZLt8Q  
设计与评估结果： )Q62I\  
• 相位函数设计 lu00@~rx/  
• 结构设计 8k3y"239t  
• TEA 评估 k33\;9@k  
• FMM 评估 gs3c1Qa3b  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） |{Ex)hkw  
oNIYO*[  
仅相位传输设计 &XV9_{Hm  
(uDAdE5  
H[nco#  
结构设计 G pI4QzR  
oN[}i6^,e  
%W8iC%~  
使用TEA进行性能评估 %Z4*;VwQ  
8h0CG]  
`Th~r&GvF  
使用FMM进行性能评估 HAL\j5i  
ht*(@MCr<  
Y6&v&dA;  
进一步的分析（优化后，容差分析）

2Mk;r*FT  
?QmtZG.$  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 \I:27:iAL  
^8EW/$k  
Q 8Hl7__^  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 aoZ|@x  
:{N*Z}]  
QRvyaV  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 aXQS0>G%(  
u178vby;l