[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 &^".2)zU  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 R^#@lI~  
b=;nm#cAI  
任务 *OjKcs  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 RFaSwf,5n  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 ~B
i_7 Q  
#Pk$L+C
 
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 S$q=;"  
连接建模技术：衍射光束分束器 U(>4s]O6  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 7[#yu2  
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`>C<}xO  
将传输函数转化为结构 YIRZ+H<Q  
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4  
[Nm4sI11  
衍射光束分束器表面 kRJ4-n^@><  
l|2D/K5  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM D/ybFk  
rqPo)AL  
sic"pn],U  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 x
M>W2  
o G*5f  
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设计与评估结果： {$D,?V@%_  
• 相位函数设计 /*FH:T<V  
• 结构设计 Bq\F?zk<  
• TEA 评估 82{&# Vc  
• FMM 评估 x&sI=5l  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） H9XvO  
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仅相位传输设计 Rk<@?(l!6x  
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结构设计 p@!nYPr.  
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使用TEA进行性能评估 MB^~%uZ2K  
H(c72]@Vg  
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使用FMM进行性能评估 ?liK\C2Z<  
{R<Ea @LV+  
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进一步的分析（优化后，容差分析） hd\gH^wk  
h+p*=|j`  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 :bV mgLgG  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 {e[%;W%c&  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 b5$JfjI  
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