摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
?,8+1"|$A] U~;tk@ 任务
^H{YLO • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
$$"G1<EZ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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3. het<#3Bo 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
?:-:m'jdU 连接建模技术:衍射光束分束器
"Aw)0a[j1 AQT_s9"0 ^w2 HF
通过配置助手和IFTA进行相位设计
Id>4fF:o +mzLOJed HEIg_6sb 将传输函数转化为结构
P".IW.^kk~ kfT*G
+l] 2CneRKQy 衍射光束分束器表面
eF9GhwE= 1?1Bz?EKF* ws^Ne30 R 衍射光束求解器 - TEA & FMM
h:r?:C>n ( }Bb=~ />/e 光栅级数 & 可编程光栅分析器
Gn_DIFa w`V6vYd@ Y0A(-" 设计与评估结果:
\IImxkE • 相位函数设计
Y:t?W • 结构设计
y$SUYG'v • TEA 评估
:zPK • FMM 评估
+F2OPIanT~ • 高度缩放检查(用于优化/容限)
^2+Vt=* 6$'*MpYF4 仅相位传输设计
|?8nO.C~V g$?^bu dxv %A=/(%T> 结构设计
x3+{Y q!@!eC[b [|=M<>?[ 使用TEA进行性能评估
b/]4#?g ,m5i(WL RLB"}&SF] 使用FMM进行性能评估
31a lQ\TH !]82$ :Ev
gUA\4 进一步的分析(优化后,容差分析)
>RAg63!` }X^MB C49\'1\6
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
orH6R8P] -OlrA{=c_ H>+])~# 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
, 6X;YY #X?[")R h72/03! 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
1BU97!
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