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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 )S/=5Uc  
    bMNr +N  
       DH.UJ +  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ?,8+1"|$A]  
    U~;tk@  
    任务 ^H{YLO  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 $$"G1<EZ  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 &g1\0t  
    fFWi 3.  
    het<#3Bo  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ?:-:m'jdU  
    连接建模技术:衍射光束分束器 "Aw)0a[j1  
       AQT_s9"0  
    ^w2 HF  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 Id>4fF:o  
    +mzLOJed  
    HEIg_6sb  
    将传输函数转化为结构 P".IW.^kk~  
    kfT*G +l]  
    2CneRKQy  
    衍射光束分束器表面 eF9GhwE=  
    1?1Bz?EKF*  
    ws^Ne30R  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM h:r?:C>n  
    ( }Bb=~  
    /> /e  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 Gn_DIFa  
    w`V6vYd@  
    Y0A(- "  
    设计与评估结果: \IImxkE  
    • 相位函数设计 Y:t?W  
    • 结构设计 y$SUYG'v  
    • TEA 评估 :zPK  
    • FMM 评估 +F2OPIanT~  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) ^2+ Vt=*  
    6$'*MpYF4  
    仅相位传输设计 |?8nO.C~V  
    g$?^bu dxv  
    %A=/(%T>  
    结构设计 x3+ {Y  
    q!@!eC[b  
    [|=M<>?[  
    使用TEA进行性能评估 b/]4#?g  
    ,m5i(WL  
    RLB"}&SF]  
    使用FMM进行性能评估 31alQ\TH  
    !]82$  
    :Ev gUA\4  
    进一步的分析(优化后,容差分析) >RAg63!`  
    }X^MB  
    C49\'1\6  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 orH6R8P]  
    -OlrA{=c_  
    H>+])~#  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ,6X;YY  
    #X?[")R  
    h72/03!  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 1BU97!  
    W/>a 1  
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