摘要
A#6\5u =7U_ jDME nBA0LIb 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
-}Iw!p#O3 hvS4"% \ 任务
U- a+LS • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
yfd$T}WW6 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
0ThX1)SH D r!g$,9 fv",4L 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
/M1 / 连接建模技术：衍射光束分束器
*"pf3x6 XOe8(cXa9 
}RvP*i 通过配置助手和IFTA进行相位设计
C& QT-| 8JU9Qb]L'I dSkW[r9Z%l 将传输函数转化为结构
jxU z-U- |9F^"7Q~C 9y~5@/3 2R 衍射光束分束器表面
s]"NqwIPK }op 0`-Xb & bwhD.:= 衍射光束求解器 - TEA & FMM
gJ8+HV n8.W$ &-ia /*+P}__k 光栅级数 & 可编程光栅分析器
o"Dk`L2 >2[\WF*"X M%evk4_27 设计与评估结果：
VR @V3 ~ • 相位函数设计
C#r1zr6 • 结构设计
mct$.{~ • TEA 评估
P)2.Gx/ • FMM 评估
hw@ `Q@ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
^rmcyy8;g .<< RI8A 仅相位传输设计
D[7+xAwS _i=431Z40 |(Bc0sgw} 结构设计
6 ,707h 6i6 m*=h 0. 9%m 7.m 使用TEA进行性能评估
_7h:NLd JfJLJ( } fr\"MP 使用FMM进行性能评估
LovVJ^TD0i TJHa b;7F ZB)`*z>* 进一步的分析（优化后，容差分析）
/YP,Wfd% [f^:V :) { 
4 pin\ZS:C 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
[IF5Iv\b , : I:F ']N1OVw^vf 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
3N(5V ;ti E^)>9f7 :6
, `M, 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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