摘要
GP,xGZZ Uk0]A Q`4]\)Dp 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
$h|rd+}, {Vj25Gt 任务
t1h2ibO • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
zcTY"w\b • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
Vy:MK9U2 \mt>R[ afWEt - 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
xFcRp2W9R 连接建模技术:衍射光束分束器
-$J%.fdPs 05>xQx?"m4
$={WtR 通过配置助手和IFTA进行相位设计
{<_9QAS #:?MtVC !agtgS$qII 将传输函数转化为结构
$EuWQq7OI2 VSI.c`=, <(%cb.^c=N 衍射光束分束器表面
0- 'f1 1S 9ywPWT[^ ?-e'gC 衍射光束求解器 - TEA & FMM
_Di}={1[. vs)1Rm XS'0fq a 光栅级数 & 可编程光栅分析器
vj:hMPC
ZM uPtHCP6 /N>bEr4w 设计与评估结果:
K)`\u7Bu • 相位函数设计
&$?i • 结构设计
Y_)aoRjB • TEA 评估
q;kN+NK64 • FMM 评估
5_mb+A n, • 高度缩放检查(用于优化/容限)
r|WoM39bp %joIe w]V3 仅相位传输设计
M!s@w%0?' Odo"S;) F; IG@ & 结构设计
zJfoU*G/B I 2!0,1Q Q(}TN,N 使用TEA进行性能评估
#6tb{ws3 ~la=rh3 \c! LC4pE 使用FMM进行性能评估
3}H"(5dL}z j;O{Hvvz $UZ4,S?V 进一步的分析(优化后,容差分析)
I!)gXtJA" l_!.yV{
J]f\=;z;<a 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
R;X8%' +McKyEa I
[J0r 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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