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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 GP,xGZZ  
    Uk0]A  
       Q`4]\)Dp  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 $h|rd+},  
    {Vj25Gt  
    任务 t1h2ibO  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 zcTY"w\b  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Vy:MK9U2  
    \ mt> R[  
    af WEt -  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 xFcRp2W9R  
    连接建模技术:衍射光束分束器 -$J%.fdPs  
       05>xQx?"m4  
    $={WtR  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 {<_9QAS  
    #:?MtVC  
    !agtgS$qII  
    将传输函数转化为结构 $EuWQq7OI2  
    VSI.c`=,  
    <(%cb.^c=N  
    衍射光束分束器表面 0- 'f1 1S  
    9ywPWT[^  
    ?-e'gC  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM _Di}={1[.  
    vs )1Rm  
    XS'0fq a  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 vj:hMPC ZM  
    uPtHCP6  
    /N>bEr4w  
    设计与评估结果: K)`\u7Bu  
    • 相位函数设计 &$ ?i  
    • 结构设计 Y_) aoRjB  
    • TEA 评估 q;kN+NK64  
    • FMM 评估 5_mb+A n,  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) r|WoM39bp  
    %joIe w]V3  
    仅相位传输设计 M!s@w%0?'  
    Odo"S;)  
    F;IG@ &  
    结构设计 zJfoU*G/B  
    I2!0,1Q  
    Q(}TN,N  
    使用TEA进行性能评估 #6tb{ws3  
    ~la=rh3  
    \c! LC4pE  
    使用FMM进行性能评估 3}H"(5dL}z  
    j;O{Hvvz  
    $UZ4,S?V  
    进一步的分析(优化后,容差分析) I!)gXtJA"  
    l_!.yV{  
    J]f\=;z;<a  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 R; X8%'   
     +McKyEa  
    I [J0r  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 `O5kI#m)L*  
    }[u9vZL  
    s q_N!  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 0 mWfR8h0  
    m<BL/ 7  
     
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