摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
aKhI|%5kA IH'DCY: 任务
jx+%X\zokA • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
.COY%fz • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
B}C"Xc W{?7Pn?1` w<tr<P u' 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
yv[ s)c} 连接建模技术：衍射光束分束器
d {T3 k#w[G L|T 
CT 6a 通过配置助手和IFTA进行相位设计
th2 a'y=0 9=&LMjT Q Tmg~ZI:MW 将传输函数转化为结构
K #}DXq BI3Q~ADV mflH &Bx9 衍射光束分束器表面
dl6 d!Nz* hmHm;l kViX FPW 衍射光束求解器 - TEA & FMM
%mAgE\y25 2$jTj<.K ?A3pXa 光栅级数 & 可编程光栅分析器
o=X6PoJ N_ o2He}t2o FQ*4?D,A 设计与评估结果：
6NVf&;laQ • 相位函数设计
[kDjht|$> • 结构设计
qHt!)j9GKv • TEA 评估
rL w,? • FMM 评估
[u[F6Ws t • 高度缩放检查（用于优化/容限）
&s>H iL>f s"*zyLUUo 仅相位传输设计
6HW<E~G'6 h1^q};3!W\ IX7< 结构设计
4/e-E^ <iajtq<Z %`t;5kmR 使用TEA进行性能评估
)Fe-C ]s ?BwLU 6 %K@D{ )r_^ 使用FMM进行性能评估
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'`W7&A @kK${ 6 ] <~0{ 进一步的分析（优化后，容差分析）
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yQ?N*' }$ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
6.kX~$ K Iw(deD HeZ! "^w 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
-v e{O-; - o#HO_9 n_Px=s!1p@ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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