摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
s(5(zcBK f7 ew<c\ 任务
F*z>B >{) • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
X`L v}6}xT • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
L#D)[v" 9J M f
T] J#w=Z>oz < 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
u<n['Ur}| 连接建模技术：衍射光束分束器
/ E!6]b/ \\Zsxya1 
kSJ;kz,_ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
8% ; .H- oN83`Z U/HF6=Wot 将传输函数转化为结构
B}y# AVSA ]9<H[5>$R Vl(id_~ _ 衍射光束分束器表面
nJg N2Z va(6?"9 ~s?y[yy6i 衍射光束求解器 - TEA & FMM
L` :V]p /a$Zzs&xs #RdcSrw)W! 光栅级数 & 可编程光栅分析器
HWL? doM 55y}t%5 DDT]A<WUV 设计与评估结果：
SoCN.J30 • 相位函数设计
Vw. 4;Zy( • 结构设计
CJ3/8*;w • TEA 评估
X)TZ S • FMM 评估
RY,L'Gt O • 高度缩放检查（用于优化/容限）
+Z9 ua%,3% T/%k1Hsa4H 仅相位传输设计
m,4'@jg0 M.$=tuUL >FFp"%% 结构设计
Nhjz~S<o "|WKK} g]b%<DJ 使用TEA进行性能评估
wqE 2n vXSpn71Jb xy)W_~Mk 使用FMM进行性能评估
A,#z_2~ { Z$]Rj v49 i.c9 进一步的分析（优化后，容差分析）
Me+)2S 9 .D=#HEshk 
^sJp!hi4=) 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
Ej@N}r>X 'F1<m^ dKPx3Y' 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
3\B~`=*q/ *:chN' < 7,{!a56zX 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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