摘要
RU4X#gP4Vh SU4i'o J](NCD 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
K &`1{, ;J TY#)Bh 任务
|r Aot2 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
o}114X4q; • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
ty.$ H24 \q1tT!] w/ rQ OHV{ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
"4H@&:-(p 连接建模技术：衍射光束分束器
jK]1X8 3MNM<Ih 
>h;]rMD!| 通过配置助手和IFTA进行相位设计
`s T; \ i$<['DY ./k7""4 将传输函数转化为结构
.cQO?UKK %eg + . { @)ZXg 衍射光束分束器表面
XyE$0i~t X\ P% C 7Gs KD=bl] 衍射光束求解器 - TEA & FMM
)^{}ov 'Tjvq%ks xt?-X%oY8 光栅级数 & 可编程光栅分析器
M[ 'O`^ VZWo.Br'W 7\2I> W 设计与评估结果：
>bf.T7wy • 相位函数设计
b~,e(D9DG • 结构设计
ai sa2# • TEA 评估
gPMfn:a-8 • FMM 评估
Ph[MXb:* • 高度缩放检查（用于优化/容限）
F5
]<=i H)D|lt5xy 仅相位传输设计
'?veM X ;(/go\m
tB 0<\|D^m=&h 结构设计
3 Vc}Q'&Y 0d_)C>gcF 6(`N!]e*L 使用TEA进行性能评估
8eS (gKD )dhR&@r*w Qs,\P^n 使用FMM进行性能评估
T(*,nJi~9 -/JEKw c .u&xo{$'dS 进一步的分析（优化后，容差分析）
r$={_M$ /#Aw7F$Ey 
W`G bo
uxd 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
H 1kI+YJ@ [G|. ?`U_|Yo 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
`;6M|5G "i ;.>
]LC4rS 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
G)? *BH F5Xb_&
