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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 @%x2d1FS  
    ]i(/T$?~  
       ^wWbW&<Tg  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ;6``t+]q   
    ? -:2f#bC  
    任务 >Y8\f:KQ  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 FHU6o910  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 AvrvBz[  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 S=-$:65  
    连接建模技术:衍射光束分束器 5z 0VMt  
       PlH~um[J  
    9\hI:rI  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 qJ`:$U  
    131(0nl)=I  
    s.bo;lk  
    将传输函数转化为结构 ^K"BQ~-w  
    DNq(\@x[!  
    t?G6|3  
    衍射光束分束器表面 9}9VZ r?  
    1}a4AGAp  
    S j~SG  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM =W3 K6w  
    <9ucpV  
    {>1FZsR49t  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 an"~n`g  
    )L:e0u  
    %\<b{x# G  
    设计与评估结果: I)'bf/6?  
    • 相位函数设计 ?MRY*[$  
    • 结构设计 4{F1GW  
    • TEA 评估 op9dYjG7  
    • FMM 评估 K2 M=)B  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) ~i;{+j6Ho!  
    Su,:f_If,  
    仅相位传输设计 PX|@D_%Y=  
    ?yS1|CF%&y  
    0i_:J  
    结构设计 D;C';O  
    @5nFa~*K%  
    KCTX2eNN&h  
    使用TEA进行性能评估 wv3,% lN  
    m@Yc&M~  
    O<cP1TF  
    使用FMM进行性能评估 Gf\h7)T\  
    hNN[djR  
    t 6nRg  
    进一步的分析(优化后,容差分析) *[]E 5U  
    ) 6)bI.BY  
    v,ssv{gU  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 |2q3spd  
    +>q#eUS)  
    2HFn\kjj.s  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 (*$bTI/~  
    Y}c/wF7o  
    C")genMH  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 #; ?3k uq(  
    } jj)  
     
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