摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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?-:2f#bC 任务
>Y8\f:KQ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
FHU6o910 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
AvrvBz[ 2`riI*fQ %gO/mj3* 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
S=-$:65 连接建模技术:衍射光束分束器
5z0VMt PlH~um[J
9\hI:rI 通过配置助手和IFTA进行相位设计
qJ`:$U 131(0nl)=I s.bo;lk 将传输函数转化为结构
^K"BQ~-w DNq(\@x[! t?G6|3 衍射光束分束器表面
9}9VZ r? 1}a4AGAp Sj ~SG 衍射光束求解器 - TEA & FMM
=W3
K6w <9ucpV {>1FZsR49t 光栅级数 & 可编程光栅分析器
an"~n`g )L:e0u %\<b{x# G 设计与评估结果:
I)'bf/6? • 相位函数设计
?MRY*[$ • 结构设计
4{F1GW • TEA 评估
o p9dYjG7 • FMM 评估
K2M=)B • 高度缩放检查(用于优化/容限)
~i;{+j6Ho! Su,:f_If, 仅相位传输设计
PX|@D_%Y= ?yS1|CF%&y 0i_:J 结构设计
D;C';O @5nFa~*K% KCTX2eNN&h 使用TEA进行性能评估
wv3,%
lN m@Yc&M~ O<cP1TF 使用FMM进行性能评估
Gf\h7)T\ hNN[dj R t6nRg 进一步的分析(优化后,容差分析)
*[]E5U )6)bI.BY
v,ssv{gU 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
|2q3spd +>q#eUS) 2HFn\kjj.s 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
(*$bTI/~ Y}c/wF7o C")genMH 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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