~cp=B>*( 内容简介
QChWy`x Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
+pT;;
9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
p<dw C"z 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
%K3U`6kHcd .?g=mh79( "2C}Pr,p8
d_$0 目录
Lct_6? Preface 1
[>GblL 内容简介 2
1WqCezI 目录 i
nT=%3_. 1 引言 1
mIG>`7`7N 2 光学薄膜基础 2
ulN1z 2.1 一般规则 2
{~51h}>b# 2.2 正交入射规则 3
[-l>fP0 2.3 斜入射规则 6
$~:ZzZO 2.4 精确计算 7
@Yb8CB 2.5 相干性 8
WLU_t65 2.6 参考文献 10
fFbJE]jW 3 Essential Macleod的快速预览 10
:
^}!"4{ 4 Essential Macleod的特点 32
@ ^F{ 4.1 容量和局限性 33
{}'Jr1 4.2 程序在哪里? 33
|b='DJz2 4.3 数据文件 35
GNmP_N 4.4 设计规则 35
rusM]Z 4.5 材料数据库和
资料库 37
-,/6 Wn'j 4.5.1材料损失 38
J_&cI%. 4.5.1材料数据库和导入材料 39
Z-CA9&4Uh 4.5.2 材料库 41
3`SH-"{j% 4.5.3导出材料数据 43
/o$6"~t 4.6 常用单位 43
8Wtr,%82 4.7 插值和外推法 46
+K'YVB
U} 4.8 材料数据的平滑 50
+ah4 K(+3 4.9 更多光学常数模型 54
l8+1{6xP 4.10 文档的一般编辑规则 55
7`L]aRS[ 4.11 撤销和重做 56
D8w.r"ne 4.12 设计文档 57
c{D<+XM 4.10.1 公式 58
o\W>$$EXD 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
!}P^O(oY 4.10.3 沉积密度 59
MTE1\, 4.10.4 平行和楔形介质 60
GfP' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
|uFb(kL[U 4.10.4 性能 61
?T%"Jgy8 4.10.5 保存设计和性能 64
(]mBAQ#hw 4.10.6 默认设计 64
SLkgIb~'X 4.11 图表 64
{be|G^.c 4.11.1 合并曲线图 67
b?Q$UMAbH 4.11.2 自适应绘制 68
wDiq~! 4.11.3 动态绘图 68
A9Ea}v9: 4.11.4 3D绘图 69
G~&q
4.12 导入和导出 73
V0,5c`H c 4.12.1 剪贴板 73
yP-$@Ry 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
m#Z9wf] F 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
JT6Be8
4.13 背景 77
&?@U_emLi 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
h
}&dvd 4.15 生成Rugate 84
<uoVGV5N 4.16 参考文献 91
9@M;\ @&g 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
d\A7}_r*x 5.1 Jobs 92
(NnE\2 5.2 创建一个新Job(工作) 93
;/23CFYM 5.3 输入材料 94
<|WXFjn 5.4 设计数据文件夹 95
60|m3|0o 5.5 默认设计 95
rwwyYIlEg 6 细化和合成 97
g
p|G q 6.1 优化介绍 97
hQzT
=0 6.2 细化 (Refinement) 98
H,/=<Th;i 6.3 合成 (Synthesis) 100
YyYp-0# 6.4 目标和评价函数 101
_,Q -)\ 6.4.1 目标输入 102
)99^58my 6.4.2 目标 103
<dS I"C< 6.4.3 特殊的评价函数 104
)!zg=}V 6.5 层锁定和连接 104
?gK|R 6.6 细化技术 104
-yIx:*KI 6.6.1 单纯形 105
:=quCzG 6.6.1.1 单纯形
参数 106
DvI^3 iG8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
M>BVnB_,- 6.6.2.1 Optimac参数 108
.ArOZ{lKD> 6.6.3 模拟退火算法 109
Ho%%voJBS 6.6.3.1
模拟退火参数 109
qw|B-lT{: 6.6.4 共轭梯度 111
[e|9%[.V 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
JGhK8E
6.6.5 拟牛顿法 112
vvG*DGL)qL 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Fkqw#s(T 6.6.6 针合成 113
,4,./wIq 6.6.6.1 针合成参数 114
L`w_Q2{sv 6.6.7 差分进化 114
l~1l~Gx_&n 6.6.8非局部细化 115
Fv^>^txh 6.6.8.1非局部细化参数 115
.q 4FGPWz 6.7 我应该使用哪种技术? 116
uXGAcUx( 6.7.1 细化 116
&xC5Mecb* 6.7.2 合成 117
-ebyW# 6.8 参考文献 117
Ni;jMc 7 导纳图及其他工具 118
6%c]{eTd9 7.1 简介 118
1NN#-U 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
oSR;Im<2 7.2.1 四分之一
波长规则 119
>\lBbqa#
7.2.2 导纳图 120
'2p,0Bk9i 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
IS{>(XT{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
5S! !@P!, 7.5 斜入射导纳图 141
6D4u?P, 7.6 对称周期 141
Lp{uA4:=K 7.7 参考文献 142
)\izL]=!t 8 典型的镀膜实例 143
<5|:QLqy 8.1 单层抗反射薄膜 145
@# p{,L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
*@ S+J$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
7X/B9Hee 8.4 W-膜层 148
NdI~1kemr 8.5 V-膜层 149
=#I/x=L: 8.6 V-膜层高折射基底 150
+'g~3A-G 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
.k5&C/jv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
)*BG-nM u 8.9 四层抗反射薄膜 153
p"Di;3!y! 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
SUoUXh^!w 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
#.@D}7y5 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Q"GZh.m 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
[-=y*lx%g 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
}K 2fwE 8.15十五层宽带抗反射膜 159
N<HJ}geC" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
#/>OW2Ny 8.17 1/4波长堆栈 162
{k<mN
Y 8.18 陷波滤波器 163
Y)C!N$=@Q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
k`0m|<$ 8.20 褶皱 165
jxgs!B> 8.21 消偏振分光器1 169
R6irL!akAd 8.22 消偏振分光器2 171
@w;&:J9m 8.23 消偏振立体分光器 172
3gs7Xj%N 8.24 消偏振截止滤光片 173
mx0EEU* 8.25 立体偏振分束器1 174
c38ENf 8.26 立方偏振分束器2 177
Vfr.Yoy 8.27 相位延迟器 178
D;oX*` 8.28 红外截止器 179
Up1e4mNL 8.29 21层长波带通滤波器 180
+78cQqDY! 8.30 49层长波带通滤波器 181
CDG,l7 8.31 55层短波带通滤波器 182
gp]T.ol 8.32 47 红外截止器 183
%Wg8dy| 8.33 宽带通滤波器 184
6L&_(/{Uw 8.34 诱导透射滤波器 186
5oY^;)\/ 8.35 诱导透射滤波器2 188
Wtj*Z.=: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
\hqjk:o 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
eh6=- 8.35 增益平坦滤波器 193
Ob
h@d| 8.38 啁啾反射镜 1 196
ZcrFzi 8.39 啁啾反射镜2 198
5}'W8gV? 8.40 啁啾反射镜3 199
EpH\;25u 8.41 带保护层的铝膜层 200
u'"]{.K>fb 8.42 增加铝反射率膜 201
.arWbTR)~U 8.43 参考文献 202
Sk%*Zo{| 9 多层膜 204
Uizg.<. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
$xq$ 9.2 内部透过率 204
te#Wv9x 9.3 内部透射率数据 205
t``q_!s}F 9.4 实例 206
!s[[X5 9.5 实例2 210
-h,?_d> 9.6 圆锥和带宽计算 212
3|1v)E 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
%1kIaYZ 10 光学薄膜的颜色 216
2$yNryd 10.1 导言 216
l[b`4 10.2 色彩 216
kuo!}QFL 10.3 主波长和纯度 220
Hus.Jfam 10.4 色相和纯度 221
u:%Ln_S 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
PI$K+}E 10.6 色差 226
C5EaP%s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
l
!:kwF 10.8 颜色渲染指数 234
C "g bol^ 10.9 色差计算 235
G9r~O#=gy 10.10 参考文献 236
18G=j@k7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
QJtO~~- 11.1 短脉冲 238
A $W~R 11.2 群速度 239
\vqqs 11.3 群速度色散 241
D[p`1$E-1v 11.4 啁啾(chirped) 245
J*+[?FXRL 11.5 光学薄膜—相变 245
Apc!!*7 11.6 群延迟和延迟色散 246
=nE^zY2m% 11.7 色度色散 246
e#z#bz2< 11.8 色散补偿 249
RZqou|ki 11.9 空间
光线偏移 256
! +XreCw 11.10 参考文献 258
N<T@GQwkS 12 公差与误差 260
Z6IWQo,)Rh 12.1 蒙特卡罗模型 260
0K^?QM|S 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
^W,~ 12.2.1 误差工具 267
i&\cDQ 3 12.2.2 灵敏度工具 271
?CE&F<?#@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
E{{Kzr2$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
C,VvbB 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
jUd)|v+t 12.3 参考文献 276
]Yk)A.y 13 Runsheet 与Simulator 277
|?4NlB6 13.1 原理介绍 277
L4or*C^3 13.2 截止滤光片设计 277
*b\&R%6dR 14 光学常数提取 289
o8u;2gZx 14.1 介绍 289
o4nDjFhh 14.2 电介质薄膜 289
+PKd
</*]
14.3 n 和k 的提取工具 295
<j:@ iP 14.4 基底的参数提取 302
|Jny0a/0 14.5 金属的参数提取 306
FPukV^ 14.6 不正确的模型 306
].Xh=7&2{ 14.7 参考文献 311
)w,<XJhg` 15 反演工程 313
|H>;a@2d 15.1 随机性和
系统性 313
|X;|=. 15.2 常见的系统性问题 314
>1RL5_US 15.3 单层膜 314
V{n7KhN~Y! 15.4 多层膜 314
%{&,5|8 15.5 含义 319
- |4 Oq 15.6 反演工程实例 319
W}@IUCRs 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
3>mAZZL5[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
'+7"dHLC; 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
#M@~8dAH}M 16.1 光学性质的热致偏移 329
;Pe=cc"@ 16.2 应力工具 335
4OFv#$[ 16.3 均匀性误差 339
%BF,;(P 16.3.1 圆锥工具 339
fw)Q1"| 16.3.2 波前问题 341
}/MmuPp 16.4 参考文献 343
$+$4W\-=X 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
AejM\#> 17.1 引言 345
3?
F~H 17.2 操作数 345
XvVi)`8!u 18 如何在Function中编写脚本 351
~]SCf@pRk 18.1 简介 351
Lr0:yo 18.2 什么是脚本? 351
st)qw]Dn;Y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
zZ;V9KM>v 18.4 基础 352
`N8t2yF 18.4.1 Classes(类别) 352
z! :0%qu 18.4.2 对象 352
\&[(PNl 18.4.3 信息(Messages) 352
ox5WboL 18.4.4 属性 352
~bsdy2&/q 18.4.5 方法 353
p4D.nB8 18.4.6 变量声明 353
ojc.ykP$ 18.5 创建对象 354
3:T~$M`] 18.5.1 创建对象函数 355
nWA>u J5 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Zxh<pd25Y 18.5.3 丢弃对象 356
"r1
!hfIYf 18.5.4 总结 356
*P8CzF^>\& 18.6 脚本中的表格 357
zwk&3 18.6.1 方法1 357
D>0(*O 18.6.2 方法2 357
[9G=x[ 18.7 2D Plots in Scripts 358
}m&\I 18.8 3D Plots in Scripts 359
i6<uj 18.9 注释 360
c#TV2@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
6sG5n7E-A 18.11 一个更高级的脚本 362
),Hr 18.12 <esc>键 364
'I$kDM mwh 18.13 包含文件 365
u~PZK.Uf0 18.14 脚本被
优化调用 366
o2[$XONTl 18.15 脚本中的对话框 368
0#4A0[vV 18.15.1 介绍 368
HuR774f[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
EvH/d4V; 18.15.3 输入框函数 370
@saK:z 18.15.4 自定义对话框 371
udmLHc 18.15.5 对话框编辑器 371
%+/Dv 18.15.6 控制对话框 377
H4W!Md 18.15.7 更高级的对话框 380
6|IJwP^Q_ 18.16 Types语句 384
sf/m@425 18.17 打开文件 385
cbl>:ev1h 18.18 Bags 387
(,KzyR=*' 18.13 进一步研究 388
m_.9PZ 19 vStack 389
IwRP,MQ~ 19.1 vStack基本原理 389
!{ fu(E 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
,4Q8r:_ u 19.3 五棱镜 393
`vz7}TY 19.4 光束距离 396
wY ??#pS 19.5 误差 399
n.t5:SW 19.6 二向分色棱镜 399
F{^\vFp 19.7 偏振泄漏 404
>'4$g7o, 19.8 波前误差—相位 405
#%w+PL:*O 19.9 其它计算参数 405
|?nYs>K 20 报表生成器 406
cQ'x]u_ 20.1 入门 406
c91^7@Xv 20.2 指令(Instructions) 406
$41<ldJ 20.3 页面布局指令 406
:W6'G@ p 20.4 常见的参数图和三维图 407
1rs. 20.5 表格中的常见参数 408
:aBm,q9i:} 20.6 迭代指令 408
J%n#uUs 20.7 报表模版 408
UBJYs{zz 20.8 开始设计一个报表模版 409
)Ly~\* 21 一个新的project 413
/nsBUM[; 21.1 创建一个新Job 414
-%|
]
d ; 21.2 默认设计 415
Bex;!1 21.3 薄膜设计 416
`\|tXl. 21.4 误差的灵敏度计算 420
Hpa6;eT 21.5 显色指数计算 422
<$K=3&:s8q 21.6 电场分布 424
Ijap%l1I 后记 426
Uk*(C( 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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