k? !'OHmBL 内容简介
LfX[(FP Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
u&r+ylbsI 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
cm`x;[e6l 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
7 ;SI= 'Omj-o'tn9 %Wa. 2s
*eAzk2 目录
B8NMo5a Preface 1
wqAj=1M\ 内容简介 2
dCO)"] 目录 i
kZNVUhW6S 1 引言 1
?y2v?h" 2 光学薄膜基础 2
3?s1Yw>? 2.1 一般规则 2
Bn5$TiTcl 2.2 正交入射规则 3
Pvz\zRq 2.3 斜入射规则 6
5^C.}/#>F 2.4 精确计算 7
2!";?E 2.5 相干性 8
M"E7=J 2.6 参考文献 10
p~17cH4~-f 3 Essential Macleod的快速预览 10
'<Jqp7$dL 4 Essential Macleod的特点 32
W*9*^ 4.1 容量和局限性 33
~ ":}Rs 4.2 程序在哪里? 33
(}MN16! 4.3 数据文件 35
m!Fx# 4.4 设计规则 35
7(B"3qF8| 4.5 材料数据库和
资料库 37
h5}:>yc 4.5.1材料损失 38
M6H#Y2!ZbC 4.5.1材料数据库和导入材料 39
o$k9$H>Na 4.5.2 材料库 41
'L8B"5|> 4.5.3导出材料数据 43
QN^AihsPi 4.6 常用单位 43
%)sG 34 4.7 插值和外推法 46
Mc<O ~ 4.8 材料数据的平滑 50
zA*I=3E( 4.9 更多光学常数模型 54
tVhf1TH# 4.10 文档的一般编辑规则 55
~JG\b?s 4.11 撤销和重做 56
5'S~PQka* 4.12 设计文档 57
ev9ltl{ 4.10.1 公式 58
L(DDyA{bA 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
P:fcbfH+ 4.10.3 沉积密度 59
yR[htD` 4.10.4 平行和楔形介质 60
=k:yBswi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
YOQ>A*@4 4.10.4 性能 61
v-!^a_3Ui 4.10.5 保存设计和性能 64
'ARbJ1a 4.10.6 默认设计 64
+|zcjI'=O 4.11 图表 64
:bu]gj4e 4.11.1 合并曲线图 67
r"&VG2c0K 4.11.2 自适应绘制 68
[xH Hm5$ 4.11.3 动态绘图 68
Mh8s @g 4.11.4 3D绘图 69
v&Oc,W 4.12 导入和导出 73
$n* wS, 4.12.1 剪贴板 73
ZHimS7 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
z65Q"A 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Ih^ziDcW 4.13 背景 77
;P9cjfSn 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
BMYvxSsm 4.15 生成Rugate 84
H,0Io 4.16 参考文献 91
GDY=^r 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
4N8(WI"4S 5.1 Jobs 92
uO5y{O2W 5.2 创建一个新Job(工作) 93
u_jhmKr~ 5.3 输入材料 94
bz|-x"qk 5.4 设计数据文件夹 95
yhh\?qqy 5.5 默认设计 95
zy'cf5k2 6 细化和合成 97
=pd#U 6.1 优化介绍 97
4^_'LiX3[ 6.2 细化 (Refinement) 98
f]48>LRE8 6.3 合成 (Synthesis) 100
]? %*3I 6.4 目标和评价函数 101
=H;F{J" 6.4.1 目标输入 102
% 9} ?*U 6.4.2 目标 103
_p;=]#+c& 6.4.3 特殊的评价函数 104
!z2 KQ
4C 6.5 层锁定和连接 104
THY=8&x) 6.6 细化技术 104
tO+Lf2Ni+ 6.6.1 单纯形 105
36UUt!}p 6.6.1.1 单纯形
参数 106
\^x`GsVy 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
D|D)782 6.6.2.1 Optimac参数 108
L)X[$: 6.6.3 模拟退火算法 109
lw=!v%L 6.6.3.1
模拟退火参数 109
tA{hx- 6.6.4 共轭梯度 111
.>
5[; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
'nN'bVl/ 6.6.5 拟牛顿法 112
nR8r$2B+t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
U5ME`lN*` 6.6.6 针合成 113
QE+HL8c^s 6.6.6.1 针合成参数 114
SaFNPnk= 6.6.7 差分进化 114
1"f)\FPGe 6.6.8非局部细化 115
3gs!ojG 6.6.8.1非局部细化参数 115
Ot;)zft 6.7 我应该使用哪种技术? 116
)jGB[s";)y 6.7.1 细化 116
2x!cblo 6.7.2 合成 117
Zmz $
hr 6.8 参考文献 117
z
-uW, 7 导纳图及其他工具 118
7'.]fs: 7.1 简介 118
/wU4^8Hz 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
'+v[z=.8] 7.2.1 四分之一
波长规则 119
]XEUD1N;I 7.2.2 导纳图 120
b=XXp`h~a 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
dO4Jf9) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
C_;A~iI7 7.5 斜入射导纳图 141
47!k!cHa 7.6 对称周期 141
Ru@ { b` 7.7 参考文献 142
" 2Q*- 8 典型的镀膜实例 143
W~j>&PK,? 8.1 单层抗反射薄膜 145
YK>?;U+| 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
Y3O/`-9i 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
_K3;$2d|R 8.4 W-膜层 148
sFw;P` 8.5 V-膜层 149
yq12"Rs 8.6 V-膜层高折射基底 150
(?1/\r 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
5#~E[dr 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
p4vX3?&1W 8.9 四层抗反射薄膜 153
DLO2$d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
H1r8n$h 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
J+m1d\lBu 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
&] O^d4/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
yOO@v6jO) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
"'~&D/7 8.15十五层宽带抗反射膜 159
7 )*q@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
)yUSuK(Vu 8.17 1/4波长堆栈 162
ht2J, 1t 8.18 陷波滤波器 163
BMb0Pu8 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
)u1=, D 8.20 褶皱 165
7M<co," 8.21 消偏振分光器1 169
xu.TS 8.22 消偏振分光器2 171
`t>:i!s/ 8.23 消偏振立体分光器 172
L:7 kp<E 8.24 消偏振截止滤光片 173
pkc*toW 8.25 立体偏振分束器1 174
G
UK%RC8 8.26 立方偏振分束器2 177
=>L2~>[
8.27 相位延迟器 178
'u3,+guz 8.28 红外截止器 179
q
+!i6!6r 8.29 21层长波带通滤波器 180
BBa!le9P 8.30 49层长波带通滤波器 181
!:Ob3Mq\ 8.31 55层短波带通滤波器 182
)i<Qg.@MX 8.32 47 红外截止器 183
A`*Sx"~jdx 8.33 宽带通滤波器 184
HjY! ]!4p 8.34 诱导透射滤波器 186
9JJk\, 8.35 诱导透射滤波器2 188
9\>{1"a 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Rbcu5.6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
|%uy{ 8.35 增益平坦滤波器 193
>cH}sNHy 8.38 啁啾反射镜 1 196
)!Zm*( 8.39 啁啾反射镜2 198
-'T^gEd)c 8.40 啁啾反射镜3 199
Z6#(83G4 8.41 带保护层的铝膜层 200
a1z*Z/!5 8.42 增加铝反射率膜 201
Bw>)gSB5$k 8.43 参考文献 202
rC6@
] 9 多层膜 204
\5fvD8>H 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
0E#?H0<OeG 9.2 内部透过率 204
|a=7P 9.3 内部透射率数据 205
dst!VO:
M 9.4 实例 206
lT_dzO 9.5 实例2 210
B1TWOl?d{ 9.6 圆锥和带宽计算 212
t@jke 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
5ljEh - 10 光学薄膜的颜色 216
T!-ly7-` 10.1 导言 216
EP{/]T 10.2 色彩 216
Wa9yyc 10.3 主波长和纯度 220
i4mP*RwC 10.4 色相和纯度 221
/|@~:5R5H 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
]xPy-j6C 10.6 色差 226
i<*W,D6
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
cG{ 10.8 颜色渲染指数 234
6foiN W+ 10.9 色差计算 235
"Iacs s0; 10.10 参考文献 236
j-wKm_M#jX 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
r |2{(+ 11.1 短脉冲 238
DK1{Z;Z 11.2 群速度 239
\lK ` 11.3 群速度色散 241
gdS@NUM 11.4 啁啾(chirped) 245
yeA]j[ # 11.5 光学薄膜—相变 245
Se>v|6 11.6 群延迟和延迟色散 246
&3:<WU:U 11.7 色度色散 246
!e}4>!L,(^ 11.8 色散补偿 249
#lF 2qw 11.9 空间
光线偏移 256
V6_~"pRR= 11.10 参考文献 258
.\8LL,zT 12 公差与误差 260
,,G'Zur7 12.1 蒙特卡罗模型 260
&.JJhX 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
K+`deH_d 12.2.1 误差工具 267
4c<\_\\ck 12.2.2 灵敏度工具 271
`Dp4Z>|
K 12.2.2.1 独立灵敏度 271
$?uLFD 12.2.2.2 灵敏度分布 275
goc; .~? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
`o21f{1]X& 12.3 参考文献 276
B^/(wHBp 13 Runsheet 与Simulator 277
S2EV[K8# 13.1 原理介绍 277
y 7z)lBy\ 13.2 截止滤光片设计 277
[Xww`OUsh 14 光学常数提取 289
zEDN^K ' 14.1 介绍 289
9[h8Dy 14.2 电介质薄膜 289
!{vZvy" 14.3 n 和k 的提取工具 295
r`e6B!p 14.4 基底的参数提取 302
M6y|;lh''c 14.5 金属的参数提取 306
R| XD#bG 14.6 不正确的模型 306
oz7=1;r 14.7 参考文献 311
fJ+4H4K 15 反演工程 313
ps33& 15.1 随机性和
系统性 313
G$2Pny<! 15.2 常见的系统性问题 314
=]o2{d 15.3 单层膜 314
G6s3\de#U 15.4 多层膜 314
"g5MltH 15.5 含义 319
K4b2)8
15.6 反演工程实例 319
8F/zrPG 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
y0'WB`hNQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
E5\>mf
,;u 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
n(_wt##wE~ 16.1 光学性质的热致偏移 329
P>R u 16.2 应力工具 335
0Z{u;FI 16.3 均匀性误差 339
1jd.tup 16.3.1 圆锥工具 339
@]L$eOV_ 16.3.2 波前问题 341
HBA|NV3. 16.4 参考文献 343
@eYD@! 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
o1H6E1$= 17.1 引言 345
s\(@f4p 17.2 操作数 345
" s/ws 18 如何在Function中编写脚本 351
fC/P W`4Ae 18.1 简介 351
CKX3t:HP0 18.2 什么是脚本? 351
F<{k~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
XII',& 18.4 基础 352
7wHd*{^9N 18.4.1 Classes(类别) 352
~xcU6@/ 18.4.2 对象 352
KBA&s 18.4.3 信息(Messages) 352
\"d\b><R 18.4.4 属性 352
rr2^sQ;_ 18.4.5 方法 353
oo1h"[ 18.4.6 变量声明 353
D8`SI21P 18.5 创建对象 354
4^!%>V"d/ 18.5.1 创建对象函数 355
%K0Wm#) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
e@PY(#ru 18.5.3 丢弃对象 356
h]}DMVV] 18.5.4 总结 356
#;h>
x 18.6 脚本中的表格 357
fsWPU]\) 18.6.1 方法1 357
3bHB$n 18.6.2 方法2 357
hJ?PV@xy 18.7 2D Plots in Scripts 358
67U6`9d 18.8 3D Plots in Scripts 359
r+tHVh 18.9 注释 360
9 $^b^It 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
NKiWt
Z" 18.11 一个更高级的脚本 362
I")mg~f 18.12 <esc>键 364
*P?Rucg 18.13 包含文件 365
M]xfH * 18.14 脚本被
优化调用 366
N w/it*f 18.15 脚本中的对话框 368
Dy{lgT 0k 18.15.1 介绍 368
<(1[n
pS&+ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
3~Ll<8fv 18.15.3 输入框函数 370
ViU5l*n; 18.15.4 自定义对话框 371
NzS`s,N4/0 18.15.5 对话框编辑器 371
ED>P>Gg 18.15.6 控制对话框 377
?>My&yB 18.15.7 更高级的对话框 380
wWM[Hus 18.16 Types语句 384
8_M"lU0[ 18.17 打开文件 385
Ged} qXn 18.18 Bags 387
x#hSN|'" 18.13 进一步研究 388
\/-4 jF: 19 vStack 389
GQ sE5Vb 19.1 vStack基本原理 389
p+-IvU 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
/)sP<WPQ6 19.3 五棱镜 393
I~nz~U:ak 19.4 光束距离 396
(4/W)L$ 19.5 误差 399
B/Ltb^a 19.6 二向分色棱镜 399
YR[I,j 19.7 偏振泄漏 404
cGlpJ)'-{ 19.8 波前误差—相位 405
NTVaz. 19.9 其它计算参数 405
[MF&x9Ss?% 20 报表生成器 406
24\^{3nOK 20.1 入门 406
B?4Iu)bCxI 20.2 指令(Instructions) 406
gP>W* ]0r1 20.3 页面布局指令 406
JD9=gBN\? 20.4 常见的参数图和三维图 407
&AVX03P 20.5 表格中的常见参数 408
)|W6Z 20.6 迭代指令 408
U|aEyMU 20.7 报表模版 408
'Z)#Sz Y 20.8 开始设计一个报表模版 409
H|/"'t
OZ 21 一个新的project 413
3,J{! 21.1 创建一个新Job 414
2'Raj'2S4 21.2 默认设计 415
{ T<[-"h 21.3 薄膜设计 416
^ Z3y 21.4 误差的灵敏度计算 420
@X P_~ N 21.5 显色指数计算 422
4}Lui9 21.6 电场分布 424
X.ZG-TC 后记 426
(3=bKcD' 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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