-$<O\5cAQ 内容简介
`@`1pOb Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
0_ yP\m 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Nf9fb? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
P20|RvE R4e&^tI@* +VU4s$w6
'GJVWpvUU 目录
IeF keE Preface 1
U5/qf8)yO 内容简介 2
gJ3c; 目录 i
2GWDEgI1o 1 引言 1
wH"kk4^ 2 光学薄膜基础 2
},+~F8B 2.1 一般规则 2
o%y;(|4t > 2.2 正交入射规则 3
LD (C\ 2.3 斜入射规则 6
NvtM3 2.4 精确计算 7
:a3LS|W 2.5 相干性 8
?M6ag_h3 2.6 参考文献 10
S<6k0b(,_3 3 Essential Macleod的快速预览 10
UQd6/mD`e 4 Essential Macleod的特点 32
H5nS%D 4.1 容量和局限性 33
TSo:7&| 4.2 程序在哪里? 33
*]s&8/Gmb 4.3 数据文件 35
jB@4b'y 4.4 设计规则 35
L>Jd7;= 4.5 材料数据库和
资料库 37
=qoRS0Qa 4.5.1材料损失 38
(U87}}/l 4.5.1材料数据库和导入材料 39
Sl~x$9` 4.5.2 材料库 41
.Gb+\E{M 4.5.3导出材料数据 43
;?IT)sNY 4.6 常用单位 43
b>cafu 4.7 插值和外推法 46
V`fL%du,3 4.8 材料数据的平滑 50
0H=9@ 4.9 更多光学常数模型 54
hSqMaX%G 4.10 文档的一般编辑规则 55
's@MQ!
* 4.11 撤销和重做 56
o;J;*~g 4.12 设计文档 57
K5 vNhA 4.10.1 公式 58
V 2kWiyN 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
HdQj?f3 4.10.3 沉积密度 59
^Gz{6@TY5 4.10.4 平行和楔形介质 60
17py).\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
]b[,LwB\`~ 4.10.4 性能 61
?ow'^X- 4.10.5 保存设计和性能 64
+cfziQ$' 4.10.6 默认设计 64
3-Y=EH_0 4.11 图表 64
dl[ob,aCK 4.11.1 合并曲线图 67
rveVCTbC 4.11.2 自适应绘制 68
Ao`_",E 4.11.3 动态绘图 68
0#|7U_n 4.11.4 3D绘图 69
ySruAkw% 4.12 导入和导出 73
4DM L 4.12.1 剪贴板 73
jmW^`%;7 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
kfpm=dKL 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
QTh0SL 4.13 背景 77
d 7i#w
# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
c2b6B.4 4.15 生成Rugate 84
&|z544 4.16 参考文献 91
J%r7<y\ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
>_#)3K1y8 5.1 Jobs 92
_O52ai><b 5.2 创建一个新Job(工作) 93
x*mc - &N 5.3 输入材料 94
#1l7FT?q 5.4 设计数据文件夹 95
Z% Z"VoxH 5.5 默认设计 95
8xo;E=` 6 细化和合成 97
sQ(1/"gb 6.1 优化介绍 97
@aB9%An1 6.2 细化 (Refinement) 98
$5/\Z 6.3 合成 (Synthesis) 100
n2na9dX)w 6.4 目标和评价函数 101
0}-#b7eR 6.4.1 目标输入 102
ib Ue*Z["1 6.4.2 目标 103
;qVG
\wQq 6.4.3 特殊的评价函数 104
-M`D> 6.5 层锁定和连接 104
]S]"`;Wh 6.6 细化技术 104
a#R%8) 6.6.1 单纯形 105
XZBj=2~-3 6.6.1.1 单纯形
参数 106
iQj2UTds3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
z\h,SX<U 6.6.2.1 Optimac参数 108
zPE#[\O21B 6.6.3 模拟退火算法 109
v|y<_Ya 6.6.3.1
模拟退火参数 109
4^MSX+zt 6.6.4 共轭梯度 111
gL,"ef+nM 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Cji#?!Ra? 6.6.5 拟牛顿法 112
3#<'[TF00t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
BGA%"b 6.6.6 针合成 113
RR'(9QJ$ 6.6.6.1 针合成参数 114
"0<Sd?Sz 6.6.7 差分进化 114
4 f3=`[% 6.6.8非局部细化 115
_}z_yu#jY 6.6.8.1非局部细化参数 115
0i_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
${0%tCE 6.7.1 细化 116
z-)*Q 6.7.2 合成 117
)1BiEK`v 6.8 参考文献 117
Ahd\TH 7 导纳图及其他工具 118
xLLC)~ 7.1 简介 118
jXH0BPa, 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
I<9n(rA 7.2.1 四分之一
波长规则 119
UJ9q-r 7.2.2 导纳图 120
wC(XRqlE 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
AAdD\%JZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
p( HyRCH 7.5 斜入射导纳图 141
<Q\H 7.6 对称周期 141
zv|M*Wu 7.7 参考文献 142
Bd.Z+#%l" 8 典型的镀膜实例 143
s?~8O|Mu' 8.1 单层抗反射薄膜 145
o9~h%& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
ZtKQ]jV&@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
A&;EV#]ge 8.4 W-膜层 148
6S2r 8.5 V-膜层 149
}^IwQm*i 8.6 V-膜层高折射基底 150
*u<rU,C8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
%zRiLcAT 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
*EX$v4BX 8.9 四层抗反射薄膜 153
{rtM%%l 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
d~vTD|Et 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
./';P<) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
8Yo-~,Gb 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
fuQ4rt[i 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
rO5u~"v] 8.15十五层宽带抗反射膜 159
f<) Ro$ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Bmi:2} j 8.17 1/4波长堆栈 162
;`;G/1]#9 8.18 陷波滤波器 163
'MSEki67 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
B-B?Ff> 8.20 褶皱 165
V@LN
1| 8.21 消偏振分光器1 169
Dl>*L 8.22 消偏振分光器2 171
T-hU+(+hg 8.23 消偏振立体分光器 172
Wk0>1 rlu 8.24 消偏振截止滤光片 173
9"[!EKW 8.25 立体偏振分束器1 174
rsd2v9 8.26 立方偏振分束器2 177
FGV}5L 8.27 相位延迟器 178
E~rs11 8.28 红外截止器 179
D)f5pEq' 8.29 21层长波带通滤波器 180
y|FBYcn#F 8.30 49层长波带通滤波器 181
3D]2$a_d 8.31 55层短波带通滤波器 182
?"5~Wwp.T 8.32 47 红外截止器 183
W?SP .-I 8.33 宽带通滤波器 184
=#
k<Kw# 8.34 诱导透射滤波器 186
=}B4I
8.35 诱导透射滤波器2 188
5xG|35Pj 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
5HWwl.D 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
^#<:<X6 8.35 增益平坦滤波器 193
bEVO<x+ 8.38 啁啾反射镜 1 196
6ctHL<^ 8.39 啁啾反射镜2 198
N*_/@qM> a 8.40 啁啾反射镜3 199
+a7EsR 8.41 带保护层的铝膜层 200
B"pFJ"XR 8.42 增加铝反射率膜 201
,\\%EZ%a 8.43 参考文献 202
ccHLL6F{ 9 多层膜 204
2P;%P]~H 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
i6meY$l 9.2 内部透过率 204
BFzcoBu- 9.3 内部透射率数据 205
v9j4|w 9.4 实例 206
&4w\6IR 9.5 实例2 210
c9Y2eetO 9.6 圆锥和带宽计算 212
^yEj]]6 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
\;3B?8wbIl 10 光学薄膜的颜色 216
5Z4(J?n 10.1 导言 216
PfwI@%2 10.2 色彩 216
.}L-c>o"o 10.3 主波长和纯度 220
iBGSBSeL& 10.4 色相和纯度 221
nG4Uk2> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
aTL8l.c2 10.6 色差 226
h"RP>fZt 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
`:-@E2 10.8 颜色渲染指数 234
l|R<F;| 10.9 色差计算 235
fD3jwPL 10.10 参考文献 236
>|UrxJ7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
}[=xe(4]D 11.1 短脉冲 238
uQ)JC7b\ 11.2 群速度 239
pJ2:` f<; 11.3 群速度色散 241
6b#:H~ < 11.4 啁啾(chirped) 245
F#!@}K8 11.5 光学薄膜—相变 245
$'J6#Vs 11.6 群延迟和延迟色散 246
H|rX$P 11.7 色度色散 246
rm5T=fNJ 11.8 色散补偿 249
t+W=2w& 11.9 空间
光线偏移 256
t?du+: 11.10 参考文献 258
h X>VVeIZ 12 公差与误差 260
6)uPM"cO 12.1 蒙特卡罗模型 260
EMVoTW)z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
"2#-xOCO 12.2.1 误差工具 267
)JY_eG&2Dx 12.2.2 灵敏度工具 271
i&}zcGC 12.2.2.1 独立灵敏度 271
&.+n
L
12.2.2.2 灵敏度分布 275
jE?\Yv3 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
QKUBh-QFK 12.3 参考文献 276
|%2/I>o 13 Runsheet 与Simulator 277
_v~D{H&} 13.1 原理介绍 277
`\RX~ $^ 13.2 截止滤光片设计 277
6`s%%v 14 光学常数提取 289
`lu"y F 14.1 介绍 289
$$bTd3N+ 14.2 电介质薄膜 289
Dh!iY0Lz 14.3 n 和k 的提取工具 295
c5wkzY h 14.4 基底的参数提取 302
90y9~.v 14.5 金属的参数提取 306
=jV%O$Fx 14.6 不正确的模型 306
mD ^qx0o< 14.7 参考文献 311
#iRyjD 15 反演工程 313
+LI*!(T|lm 15.1 随机性和
系统性 313
>^a"Z[s[ 15.2 常见的系统性问题 314
}Pm(oR'KTJ 15.3 单层膜 314
w.T=Lzp 15.4 多层膜 314
+GYI2 15.5 含义 319
4I:JaRT
d 15.6 反演工程实例 319
~J. Fl[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
uJ)=+Exii 15.6.2 反演工程提取折射率 327
SILvqm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
aG8D%i0 16.1 光学性质的热致偏移 329
z[|PsC3i: 16.2 应力工具 335
f,`}hFD 16.3 均匀性误差 339
pw<q?q% 16.3.1 圆锥工具 339
rjpafGCp 16.3.2 波前问题 341
5|~r{w)9 16.4 参考文献 343
C)KtM YA, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
TOPPa?=vk 17.1 引言 345
-'H+lrmv 17.2 操作数 345
?D~SHcBaN 18 如何在Function中编写脚本 351
"$V 8y 18.1 简介 351
~&[P`
Z$ 18.2 什么是脚本? 351
4_m
/_Z0x 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
|3<ehvKy 18.4 基础 352
ev: !,}]w 18.4.1 Classes(类别) 352
X%9xuc 18.4.2 对象 352
J?Ep Nie 18.4.3 信息(Messages) 352
:oj)
eS[Y 18.4.4 属性 352
,m?UFRi 18.4.5 方法 353
q* y9/HnI 18.4.6 变量声明 353
^/d^$ 18.5 创建对象 354
tzW<&^ 18.5.1 创建对象函数 355
j]?0}Z* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
aWsKJo>j[# 18.5.3 丢弃对象 356
g7 U:A0Z 18.5.4 总结 356
AINFua4 A 18.6 脚本中的表格 357
4gv XJK- 18.6.1 方法1 357
,@>rubUz 18.6.2 方法2 357
a]wcA 18.7 2D Plots in Scripts 358
k>0cTBY& 18.8 3D Plots in Scripts 359
~oW8GQ 18.9 注释 360
^<
/vbF 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
^qus `6 18.11 一个更高级的脚本 362
<]e;tF)+ 18.12 <esc>键 364
ma-Y' 18.13 包含文件 365
,^IZ[D>u) 18.14 脚本被
优化调用 366
_g`0td>N 18.15 脚本中的对话框 368
/L|}Y242 18.15.1 介绍 368
LjQ1ar\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
(z1%lZ}( 18.15.3 输入框函数 370
QUw5~n ;- 18.15.4 自定义对话框 371
h'y@M+c( 18.15.5 对话框编辑器 371
/ ?[gB:s 18.15.6 控制对话框 377
np\Q& 18.15.7 更高级的对话框 380
K<L%@[gi 18.16 Types语句 384
W7[S7kd 18.17 打开文件 385
/qq&'}TZP 18.18 Bags 387
,/b/O4`;y 18.13 进一步研究 388
<:{[Zvl'k 19 vStack 389
+@)$l+kk9 19.1 vStack基本原理 389
n#4J]Z@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
OYtus7q< 19.3 五棱镜 393
y yR8VO{ 19.4 光束距离 396
@1ta`7# 19.5 误差 399
\HQb#f, 19.6 二向分色棱镜 399
"A1yqK 19.7 偏振泄漏 404
re7\nZ<\| 19.8 波前误差—相位 405
Sd{"A0[A| 19.9 其它计算参数 405
>T*g'954xF 20 报表生成器 406
rnhf(K.{3 20.1 入门 406
F Hcqu_;J 20.2 指令(Instructions) 406
0(g MR 20.3 页面布局指令 406
[pWDhY 20.4 常见的参数图和三维图 407
PRlo"kN 20.5 表格中的常见参数 408
P_g0G#`4 20.6 迭代指令 408
pVa|o&, 20.7 报表模版 408
FuiW\=^ 20.8 开始设计一个报表模版 409
}7z+ 21 一个新的project 413
f$W}d0(F; 21.1 创建一个新Job 414
%+!9 21.2 默认设计 415
K ':pU1 21.3 薄膜设计 416
f-nC+ 21.4 误差的灵敏度计算 420
%dU'$) 21.5 显色指数计算 422
%y\7 21.6 电场分布 424
Y*}>tD; 后记 426
Lm{ o=v
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