{|bf` 内容简介
+.:- : Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
.9PPWY;H 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
)u`q41! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
*{/BPc0* w/#k.YE C0Z
mv
a^>0XXr}Y 目录
1!~=8FTv Preface 1
|1uyJ?%B 内容简介 2
2c
LIz@ 目录 i
^giseWR( 1 引言 1
k|'{$/n 2 光学薄膜基础 2
M3!A?!BU 2.1 一般规则 2
by (xv0v; 2.2 正交入射规则 3
v=R=K 2.3 斜入射规则 6
#41~`vq3 2.4 精确计算 7
S=@.<gS 2.5 相干性 8
xy5&}_Y 2.6 参考文献 10
Y92wL} 3 Essential Macleod的快速预览 10
Mj|\LF + 4 Essential Macleod的特点 32
"AMbU68 4.1 容量和局限性 33
Ru9QQaHE 4.2 程序在哪里? 33
Bf1,(^3XH 4.3 数据文件 35
Btp 9v<" 4.4 设计规则 35
Nr8#/H2f 4.5 材料数据库和
资料库 37
SfLZVB 4.5.1材料损失 38
b"DaLwKkz 4.5.1材料数据库和导入材料 39
:c)N"EJlI2 4.5.2 材料库 41
XEl-5-M" 4.5.3导出材料数据 43
LVP2jTz 4.6 常用单位 43
uxLT*, 4.7 插值和外推法 46
*")Req 4.8 材料数据的平滑 50
gqJSz}' 4.9 更多光学常数模型 54
^YiGvZJ 4.10 文档的一般编辑规则 55
K[r<-6TS 4.11 撤销和重做 56
P'MfuTtT& 4.12 设计文档 57
%? -E)n[ 4.10.1 公式 58
cNOtfn6?F 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
jkTC/9AE| 4.10.3 沉积密度 59
|qTvy,U[ 4.10.4 平行和楔形介质 60
e!k1GTH^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
[ @ >} 4.10.4 性能 61
0P i+ (X 4.10.5 保存设计和性能 64
)B'&XLK 4.10.6 默认设计 64
?"04u*u3 4.11 图表 64
L8R{W0Zr>! 4.11.1 合并曲线图 67
o?5m^S14[1 4.11.2 自适应绘制 68
c@f?0|66M 4.11.3 动态绘图 68
&GYnGrw?@ 4.11.4 3D绘图 69
rZ`+g7&^Fh 4.12 导入和导出 73
ETZE.a 4.12.1 剪贴板 73
)<YfLDgTs 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
eLF xGZ Z 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
,6VY S\a3 4.13 背景 77
Pa)'xfQ$Y6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
# `L?24% 4.15 生成Rugate 84
PzF>yG[ 4.16 参考文献 91
tBUn
KPT 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
[h&)h+xt 5.1 Jobs 92
gI~B _0x 5.2 创建一个新Job(工作) 93
cPunMHD 5.3 输入材料 94
{0L.,T~g+[ 5.4 设计数据文件夹 95
lC.Q61 J@ 5.5 默认设计 95
,L_u
X 6 细化和合成 97
uvG'Kx 6.1 优化介绍 97
!#&`1cYX 6.2 细化 (Refinement) 98
^5E:hW[* 6.3 合成 (Synthesis) 100
JsP<etX 6.4 目标和评价函数 101
(}B3df 6.4.1 目标输入 102
[/=Z2mtA 6.4.2 目标 103
C*X=nezq 6.4.3 特殊的评价函数 104
L0\~K~q 6.5 层锁定和连接 104
i8w/a 6.6 细化技术 104
6+UTEw; 6.6.1 单纯形 105
p C^=?!:U 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Tfq7<<0$N 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Q6PaT@gs 6.6.2.1 Optimac参数 108
:MaP58dhh 6.6.3 模拟退火算法 109
w`YN#G 6.6.3.1
模拟退火参数 109
M"\Iw'5$ 6.6.4 共轭梯度 111
q!;u4J 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
:_8Nf1B+T 6.6.5 拟牛顿法 112
F:7d}Jx 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
TI/5'Oke$ 6.6.6 针合成 113
{k}$L|w 6.6.6.1 针合成参数 114
8 /vGA= 6.6.7 差分进化 114
z{H=;"+rh 6.6.8非局部细化 115
J5!-<oJ/ 6.6.8.1非局部细化参数 115
eC{St0 6.7 我应该使用哪种技术? 116
YMn*i<m 6.7.1 细化 116
P(%^J6[> 6.7.2 合成 117
U3**x5F_ 6.8 参考文献 117
0fJz[;dV>n 7 导纳图及其他工具 118
oNhCa>)/ 7.1 简介 118
Y'y
yrn} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
g@zhhBtQ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
SPT?Tt 7.2.2 导纳图 120
[a_'pAH 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
?zuKVi?I 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
!tzk7D 7.5 斜入射导纳图 141
3ytlD ' 7.6 对称周期 141
8kLHQ0pmu 7.7 参考文献 142
4_P6P 8 典型的镀膜实例 143
w2SN=X~# 8.1 单层抗反射薄膜 145
T' =6_?7K4 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
r]0>A&, 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
p%R+ c 8.4 W-膜层 148
7NvnCs 8.5 V-膜层 149
!^'6&NR#K 8.6 V-膜层高折射基底 150
Ot+Z}Z- 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
'':MhRb 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
]JR2Av 8.9 四层抗反射薄膜 153
GdYQq. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
MTip4L W9 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
*C);IdhK%y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
/_X`i[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
bcgXpP 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
LAFxeo 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Q@1SqK#-DQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
"TI>_~ 8.17 1/4波长堆栈 162
O\SH;y,N 8.18 陷波滤波器 163
ix hF,F 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
Y P,>vzW 8.20 褶皱 165
hSz_e 8.21 消偏振分光器1 169
T>pyYF1Q 8.22 消偏振分光器2 171
]N2!
'c 8.23 消偏振立体分光器 172
AJ3%Z$JJ;s 8.24 消偏振截止滤光片 173
z=TOGP( 8.25 立体偏振分束器1 174
#KNl<V+c}1 8.26 立方偏振分束器2 177
)5NWUuH 5 8.27 相位延迟器 178
G8zbb 8.28 红外截止器 179
D\Y,2!I 8.29 21层长波带通滤波器 180
IhN^*P:Fo 8.30 49层长波带通滤波器 181
:uJHFF xg 8.31 55层短波带通滤波器 182
8aJJ??o{ 8.32 47 红外截止器 183
t3AmXx 8.33 宽带通滤波器 184
{+]tx46$ 8.34 诱导透射滤波器 186
j#U,zsv: 8.35 诱导透射滤波器2 188
p~NHf\ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
)PkW,214# 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
LJ6l3)tpD 8.35 增益平坦滤波器 193
.C.b5x! 8.38 啁啾反射镜 1 196
W~PMR/^i 8.39 啁啾反射镜2 198
z%1e>`\E 8.40 啁啾反射镜3 199
h@z0 x4_]) 8.41 带保护层的铝膜层 200
q65]bs4M 8.42 增加铝反射率膜 201
MsZx 0] 8.43 参考文献 202
`8r$b/6 9 多层膜 204
!"o\H(siT 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
,!, tU7-H 9.2 内部透过率 204
*$5p,m6G 9.3 内部透射率数据 205
N~0ihTG5 9.4 实例 206
Fv*QcB9K 9.5 实例2 210
dVk(R9 8 9.6 圆锥和带宽计算 212
W/3sJc9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
Nw*F1*v` 10 光学薄膜的颜色 216
cU-A1W 10.1 导言 216
fC3T\@(& 10.2 色彩 216
IMncl=1 10.3 主波长和纯度 220
q(X7e 10.4 色相和纯度 221
AusjN-IL 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
rW090Py 10.6 色差 226
lSBR(a<\y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
sgDSl@lB 10.8 颜色渲染指数 234
PxQQf I> 10.9 色差计算 235
Y
mL{uV$ 10.10 参考文献 236
c1r+?q$f 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
Qwt0~9n( 11.1 短脉冲 238
* nFzfV 11.2 群速度 239
:<mJRsDf 11.3 群速度色散 241
"GR*d{ 11.4 啁啾(chirped) 245
q)f_!N 11.5 光学薄膜—相变 245
4lWqQVx 11.6 群延迟和延迟色散 246
'6})L 11.7 色度色散 246
AorY#oq 11.8 色散补偿 249
#0vda'q=j 11.9 空间
光线偏移 256
5eE\
X / 11.10 参考文献 258
W~2,J4= 12 公差与误差 260
gL-kI*Ra 12.1 蒙特卡罗模型 260
8zpzVizDG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
/t<
& 12.2.1 误差工具 267
qH5nw}] 12.2.2 灵敏度工具 271
NJ+$3n om 12.2.2.1 独立灵敏度 271
R<Mc+{*> 12.2.2.2 灵敏度分布 275
N$=9R 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
e[?,'Mp9 12.3 参考文献 276
XI ;] c5 13 Runsheet 与Simulator 277
$,J}w%A 13.1 原理介绍 277
<F(S_w62 13.2 截止滤光片设计 277
!mTq6H12 ! 14 光学常数提取 289
BC/5 bA 14.1 介绍 289
Il9xNVos# 14.2 电介质薄膜 289
FZn1$_Svr 14.3 n 和k 的提取工具 295
&6C]|13; 14.4 基底的参数提取 302
vPGUE`!D+ 14.5 金属的参数提取 306
>zDQt7+g; 14.6 不正确的模型 306
(oR~%2K 14.7 参考文献 311
?P-O4 15 反演工程 313
u<uc"KY= 15.1 随机性和
系统性 313
YPGzI]\ 15.2 常见的系统性问题 314
l?2 15.3 单层膜 314
fkp(M 15.4 多层膜 314
xGQP*nZ 15.5 含义 319
#O!2 15.6 反演工程实例 319
Pj]^p{> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
~] V62^0 15.6.2 反演工程提取折射率 327
-3mIdZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Q-V8=. 16.1 光学性质的热致偏移 329
G![d_F"e 16.2 应力工具 335
xT_"` @ 16.3 均匀性误差 339
l^ay*H 16.3.1 圆锥工具 339
O|+ZEBP 16.3.2 波前问题 341
>qB`03> 16.4 参考文献 343
$x`HmL3Sb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
i+mU(/l2{ 17.1 引言 345
JZ`SV}\` 17.2 操作数 345
sZCK? 18 如何在Function中编写脚本 351
>!@D^3PPA 18.1 简介 351
2w3LK2`ZL 18.2 什么是脚本? 351
s|H7;.3gp 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
"i(f+N,) 18.4 基础 352
gk 6R# 18.4.1 Classes(类别) 352
Zs79,*o+0M 18.4.2 对象 352
XJPIAN~l 18.4.3 信息(Messages) 352
XWAIW=. 18.4.4 属性 352
|Vqm1.1/Zv 18.4.5 方法 353
uP%VL}%0 18.4.6 变量声明 353
.z_nW1id 18.5 创建对象 354
2<5LQr 18.5.1 创建对象函数 355
?_d>-NC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
*X$qgSW 18.5.3 丢弃对象 356
M j[+h|e 18.5.4 总结 356
L!l?tM o 18.6 脚本中的表格 357
H @k} 18.6.1 方法1 357
lqv}~MC 18.6.2 方法2 357
*5BVL_:~J 18.7 2D Plots in Scripts 358
z+;$cfN 18.8 3D Plots in Scripts 359
KTT!P 4 18.9 注释 360
0@b<?Ms9 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
53:u6bb; 18.11 一个更高级的脚本 362
F/lL1nTdK 18.12 <esc>键 364
9C,gJp}P 18.13 包含文件 365
JS8pN5 18.14 脚本被
优化调用 366
mfI[9G 18.15 脚本中的对话框 368
guYP| 18.15.1 介绍 368
O4f9n 18.15.2 消息框-MsgBox 368
0'r}]Mws 18.15.3 输入框函数 370
A\rY~$Vr 18.15.4 自定义对话框 371
yC5>k;/6#K 18.15.5 对话框编辑器 371
5OGwOZAj52 18.15.6 控制对话框 377
V.u^;gr3 18.15.7 更高级的对话框 380
> `eo 0 18.16 Types语句 384
v"(6rZsa 18.17 打开文件 385
\R@}X cqZ 18.18 Bags 387
_){u5%vv 18.13 进一步研究 388
=v\}y+
Yh 19 vStack 389
hr.mzQd 19.1 vStack基本原理 389
^Ff fc@= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
(AZneK
:* 19.3 五棱镜 393
"~=}& 19.4 光束距离 396
U= n 19.5 误差 399
8q9^ 19.6 二向分色棱镜 399
cp8w
_TPU 19.7 偏振泄漏 404
/rD9) 19.8 波前误差—相位 405
4%nK0FAj 19.9 其它计算参数 405
0K^@P#{hd 20 报表生成器 406
~P,Z@|c4 20.1 入门 406
t"%~r3{ 20.2 指令(Instructions) 406
-M]/Xv] 20.3 页面布局指令 406
7eM6 B#rI 20.4 常见的参数图和三维图 407
Lp$&eROFVs 20.5 表格中的常见参数 408
502(CO> 20.6 迭代指令 408
6I=d0m.io 20.7 报表模版 408
kp[&SKU
c 20.8 开始设计一个报表模版 409
=u9e5n 21 一个新的project 413
S?v;+3TG 21.1 创建一个新Job 414
QrmGrRH 21.2 默认设计 415
`ZC -lAY 21.3 薄膜设计 416
epk
C' 21.4 误差的灵敏度计算 420
CWp>8@v 21.5 显色指数计算 422
hZ<FCY,/? 21.6 电场分布 424
_%rkN0-(a 后记 426
8j&1qJx) 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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