]*;F. pZ 内容简介
8a>SC$8" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
TsHF
tj9S 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
J?%}=_fsa 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
WeC(w+}p <MdGe1n 0pN{y}x,
P^[/Qi}j 目录
i8~$o:&HT Preface 1
5/MED}9C( 内容简介 2
f^9&WT 目录 i
kH?#B%N5 1 引言 1
vZkXt!%) 2 光学薄膜基础 2
<9ifPSvJ 2.1 一般规则 2
yC
!/PQ" 2.2 正交入射规则 3
7petHi 2.3 斜入射规则 6
XP?*=Z] 2.4 精确计算 7
l67KJ 2.5 相干性 8
m^I,}1H4 2.6 参考文献 10
Zw$
OKU 3 Essential Macleod的快速预览 10
*)> do
L 4 Essential Macleod的特点 32
5v9Vk`3' 4.1 容量和局限性 33
`,Orf ZMb 4.2 程序在哪里? 33
.Yx_:h=u 4.3 数据文件 35
J%Mnjk^_\S 4.4 设计规则 35
S~3\3qt$ 4.5 材料数据库和
资料库 37
]sj0~DI*m 4.5.1材料损失 38
V1<`%=%_W 4.5.1材料数据库和导入材料 39
K]fpGo 4.5.2 材料库 41
rWQY?K@ 4.5.3导出材料数据 43
mhzYz;} 4.6 常用单位 43
c Zvf"cIs 4.7 插值和外推法 46
:a3xvN-l 4.8 材料数据的平滑 50
'MQ%)hipA 4.9 更多光学常数模型 54
#C*&R>IvY 4.10 文档的一般编辑规则 55
w%xCTeK[ 4.11 撤销和重做 56
&ao(!/im 4.12 设计文档 57
>ttuum12w 4.10.1 公式 58
+K{LQsR] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
8eyl,W=dn 4.10.3 沉积密度 59
[ee30ELn 4.10.4 平行和楔形介质 60
NK/4OAt% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
WY>Knp= 4.10.4 性能 61
FtIa*j^G 4.10.5 保存设计和性能 64
;dQAV\ 4.10.6 默认设计 64
::"E?CQLV 4.11 图表 64
MYdx .NZT 4.11.1 合并曲线图 67
tcL2J . 4.11.2 自适应绘制 68
Z'M`}3O 4.11.3 动态绘图 68
gx;O6S{ 4.11.4 3D绘图 69
g}Qx`65: 4.12 导入和导出 73
x-_vl
9P) 4.12.1 剪贴板 73
GAl+Zg## 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
bQQVj?8jp 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
h$fe -G# 4.13 背景 77
j[e,?!8; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
MR;X&Up6! 4.15 生成Rugate 84
^:cRp9l"7 4.16 参考文献 91
2 ZG@!Y| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
&u8z5pls8 5.1 Jobs 92
YQVcECj 5.2 创建一个新Job(工作) 93
L
*Y|ey 5.3 输入材料 94
$0qMQ%P 5.4 设计数据文件夹 95
2`Gv5}LfyR 5.5 默认设计 95
KoHGweKl# 6 细化和合成 97
Ai kf|)D[ 6.1 优化介绍 97
!j^&gRH 6.2 细化 (Refinement) 98
:zp`6l 6.3 合成 (Synthesis) 100
' 4O- 6.4 目标和评价函数 101
KIus/S5
RC 6.4.1 目标输入 102
E zT`,#b 6.4.2 目标 103
AsxD}Nw[Z* 6.4.3 特殊的评价函数 104
ctn,
]ld 6.5 层锁定和连接 104
+5X DF 6.6 细化技术 104
92[a;a 6.6.1 单纯形 105
VmvQvQ/9R 6.6.1.1 单纯形
参数 106
4JMiyiW& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
8<dOMp;}r 6.6.2.1 Optimac参数 108
4Z5#F]OA7 6.6.3 模拟退火算法 109
};katqzEg 6.6.3.1
模拟退火参数 109
z2 hFn& 6.6.4 共轭梯度 111
#R5U
6.6.4.1 共轭梯度参数 111
UA-7nb 6.6.5 拟牛顿法 112
..qd,9H 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
u, kU$ 6.6.6 针合成 113
J;QUPpHZ 6.6.6.1 针合成参数 114
Pe ~c 6.6.7 差分进化 114
l-O$ m 6.6.8非局部细化 115
ls|LCQPx 6.6.8.1非局部细化参数 115
6X_\Ve 6.7 我应该使用哪种技术? 116
:b/J\ 6.7.1 细化 116
>k(MUmhX 6.7.2 合成 117
zx%X~U 6.8 参考文献 117
H lB]38 7 导纳图及其他工具 118
:qj<p3w~} 7.1 简介 118
4s.]M>Yb 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
RFfIF]~3 7.2.1 四分之一
波长规则 119
sC7/9</ 7.2.2 导纳图 120
&m'kI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
|g&ymFc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
w *!wQ,o 7.5 斜入射导纳图 141
C"eXs#A 7.6 对称周期 141
s] au/T6b 7.7 参考文献 142
{"}V&X160o 8 典型的镀膜实例 143
;hDa@3|]34 8.1 单层抗反射薄膜 145
Q!'qC*Gyfn 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
GDhM<bVqM* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
eSy(~Y 8.4 W-膜层 148
)&W**!(C 8.5 V-膜层 149
jai|/"HSXw 8.6 V-膜层高折射基底 150
Gi?_ujZR 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
0kDBE3i# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
#I0pYA2m 8.9 四层抗反射薄膜 153
m7jA
,~O 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
ERz;H!pU8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
SNY (* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
vmZ"o9-{#X 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
l*}FXL 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
ZI13 8.15十五层宽带抗反射膜 159
:#{Xuy: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
{6,|IGAq
V 8.17 1/4波长堆栈 162
`E`HVZ} 8.18 陷波滤波器 163
}*wLEa 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
u=NG6G 8.20 褶皱 165
= !2NU 8.21 消偏振分光器1 169
[M+tB"_ 8.22 消偏振分光器2 171
`=)2<Ca;~@ 8.23 消偏振立体分光器 172
E3l*8F%<3 8.24 消偏振截止滤光片 173
HZjf`eM, 8.25 立体偏振分束器1 174
[~mGsXV 8.26 立方偏振分束器2 177
*I*i>==Z 8.27 相位延迟器 178
MQTdk*L_] 8.28 红外截止器 179
t#wmAOW 8.29 21层长波带通滤波器 180
CboLH0Fa 8.30 49层长波带通滤波器 181
?u$u?j|N 8.31 55层短波带通滤波器 182
LBlN2)\@ 8.32 47 红外截止器 183
<iLM{@lZvJ 8.33 宽带通滤波器 184
R= 5** 8.34 诱导透射滤波器 186
[
!%R#+o=F 8.35 诱导透射滤波器2 188
&1^%Nxu1 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
1TN}GsAj 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
EtJ8^[u2J 8.35 增益平坦滤波器 193
l*
dV\ B 8.38 啁啾反射镜 1 196
On_@HQ/FI 8.39 啁啾反射镜2 198
blt'={Z?.x 8.40 啁啾反射镜3 199
vfc[p ^ 8.41 带保护层的铝膜层 200
VD7i52xS 8.42 增加铝反射率膜 201
5Jk<xWKj 8.43 参考文献 202
t;q7t!sC] 9 多层膜 204
X`r*ob 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
J%rP$O$ 9.2 内部透过率 204
UE0$ o? 9.3 内部透射率数据 205
uGH?N 9.4 实例 206
~}9PuYaD@ 9.5 实例2 210
@cvP0A 9.6 圆锥和带宽计算 212
t%VDRZo7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
tjnPyaJEl 10 光学薄膜的颜色 216
V2 d,ksKwn 10.1 导言 216
]ya; v ' 10.2 色彩 216
wxQ>ifi9Z 10.3 主波长和纯度 220
WrGK \Vw[ 10.4 色相和纯度 221
I*|P@0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
K?.e| 10.6 色差 226
.IrNa>J~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
H=c`&N7E 10.8 颜色渲染指数 234
mLbN/M 10.9 色差计算 235
*|:Q%xr- 10.10 参考文献 236
v4vf}.L] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
n> w`26MMp 11.1 短脉冲 238
B;#J"6w 11.2 群速度 239
s95F#>dr 11.3 群速度色散 241
:py\| 11.4 啁啾(chirped) 245
IVvtX} 11.5 光学薄膜—相变 245
epD?K 11.6 群延迟和延迟色散 246
,_v|#g@{ 11.7 色度色散 246
lx0~>K] 11.8 色散补偿 249
#CUzuk& 11.9 空间
光线偏移 256
,^s0</ve 11.10 参考文献 258
m]Y;c_DO: 12 公差与误差 260
?;ukvD 12.1 蒙特卡罗模型 260
%/9;ZV 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
v({N:ya 12.2.1 误差工具 267
#(;<-7M2 12.2.2 灵敏度工具 271
cD}Sf> 12.2.2.1 独立灵敏度 271
'o4p#`R:8 12.2.2.2 灵敏度分布 275
}M>rE 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
WY 12.3 参考文献 276
lTRl"`@S 13 Runsheet 与Simulator 277
^c}J,tZ] 13.1 原理介绍 277
OEhHR 13.2 截止滤光片设计 277
s<QkDERMX 14 光学常数提取 289
EM j;2! 14.1 介绍 289
u0s8yPA 14.2 电介质薄膜 289
rVSZ.+n
14.3 n 和k 的提取工具 295
D/(CU#i" 14.4 基底的参数提取 302
?V(^YFzZ 14.5 金属的参数提取 306
|pZUlQbb 14.6 不正确的模型 306
N#xG3zZl|N 14.7 参考文献 311
;^){|9@ 15 反演工程 313
"j<bA8$Vw 15.1 随机性和
系统性 313
IND ]j72 15.2 常见的系统性问题 314
1eS_
nLFw~ 15.3 单层膜 314
?knYY>Kzh1 15.4 多层膜 314
I~*
? d 15.5 含义 319
?*"srE,#JX 15.6 反演工程实例 319
W
!}{$ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
f2I6!_C!+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
;az5ZsvN
D 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
F_3:bX 16.1 光学性质的热致偏移 329
njPPztv/@ 16.2 应力工具 335
^]C&tG0 ! 16.3 均匀性误差 339
s,]%dG! 16.3.1 圆锥工具 339
&}6KPA; 16.3.2 波前问题 341
KDP H6 16.4 参考文献 343
CO+/.^s7}S 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
d 4?d4;{ 17.1 引言 345
)~)*=u/ 17.2 操作数 345
VR{+f7:} 18 如何在Function中编写脚本 351
h@{_duu 18.1 简介 351
0u
B'g+MU` 18.2 什么是脚本? 351
c"tJld5F_ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
$(pF;_W 18.4 基础 352
* *H&+T/B 18.4.1 Classes(类别) 352
qO1tj'U< 18.4.2 对象 352
:aLT0q!K 18.4.3 信息(Messages) 352
^L4Qbc(vJ 18.4.4 属性 352
>x1p%^cA;= 18.4.5 方法 353
Z)9g~g94 18.4.6 变量声明 353
nz.{P@[Qk 18.5 创建对象 354
/$N~O1"0) 18.5.1 创建对象函数 355
u6u=2 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
_jU5O; 18.5.3 丢弃对象 356
QnouBrhO 18.5.4 总结 356
!5@_j,lW( 18.6 脚本中的表格 357
`Mj}md;O" 18.6.1 方法1 357
'\#EIG 18.6.2 方法2 357
m#/_x 18.7 2D Plots in Scripts 358
1nknSw# 18.8 3D Plots in Scripts 359
$!@\ 18.9 注释 360
>ydRSr^ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
#EGA#SKoq 18.11 一个更高级的脚本 362
h0vob_Fdl 18.12 <esc>键 364
3-n19[zk 18.13 包含文件 365
4674SzL 18.14 脚本被
优化调用 366
S8Fmy1# 18.15 脚本中的对话框 368
LA3<=R] 18.15.1 介绍 368
Uh1NO&i.W 18.15.2 消息框-MsgBox 368
CWo1.pV w 18.15.3 输入框函数 370
rZPT89M6 18.15.4 自定义对话框 371
[k$*4u> 18.15.5 对话框编辑器 371
T^<>Xiam 18.15.6 控制对话框 377
rX7QbAB 18.15.7 更高级的对话框 380
w2O!M!1 18.16 Types语句 384
ZSy?T 18.17 打开文件 385
2L_6x<u' 18.18 Bags 387
/.Nov 18.13 进一步研究 388
|%a4`w 19 vStack 389
nP~({:l8X 19.1 vStack基本原理 389
Mp$@`8X` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
w@\vHH.;V 19.3 五棱镜 393
!}+tdT(y 19.4 光束距离 396
)+")Sz3zx 19.5 误差 399
?Ucu#UO 19.6 二向分色棱镜 399
YT/kC'A 19.7 偏振泄漏 404
GV6K/T: 19.8 波前误差—相位 405
Dq@2-Cv 19.9 其它计算参数 405
c)md 20 报表生成器 406
_lKZmhi 20.1 入门 406
]&~]#vB# 20.2 指令(Instructions) 406
FSuAjBl0- 20.3 页面布局指令 406
u}bf-;R 20.4 常见的参数图和三维图 407
>gKh 20.5 表格中的常见参数 408
# {fTgq 20.6 迭代指令 408
gnp~OVDqfL 20.7 报表模版 408
<mMTD8Sx] 20.8 开始设计一个报表模版 409
e}VBRvr 21 一个新的project 413
t2" (2 21.1 创建一个新Job 414
$eV$2p3H 21.2 默认设计 415
juF{}J2 21.3 薄膜设计 416
%owsBO+ 21.4 误差的灵敏度计算 420
/"H`.LD.? 21.5 显色指数计算 422
)Rat0$6 21.6 电场分布 424
Z}A%=Z\/3 后记 426
tj]9~eJ- 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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