6y,P4O*q 内容简介
s~X*U&}5 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
/dJ)TW(Ir 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
@PoFxv 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
G h[`q7B
Q A9l})_~i ~K-*q{6Q
BT#=Xh 目录
G k"L%Zt) Preface 1
YG 5Z8@kH 内容简介 2
) Zb`~w 目录 i
}pE~85h4M 1 引言 1
w-H%B`/ 2 光学薄膜基础 2
CnSX 2.1 一般规则 2
(21 W6 2.2 正交入射规则 3
'*N9"C 2.3 斜入射规则 6
EhIV(q9x 2.4 精确计算 7
mk%"G =w 2.5 相干性 8
yI.}3y{^5 2.6 参考文献 10
BnaU)E h 3 Essential Macleod的快速预览 10
De
nt? 4 Essential Macleod的特点 32
vf'cx:m 4.1 容量和局限性 33
p37zz4 4.2 程序在哪里? 33
UhSh(E8p> 4.3 数据文件 35
@bW[J 4.4 设计规则 35
RJRq` T|m 4.5 材料数据库和
资料库 37
Uc&6=5~Ys\ 4.5.1材料损失 38
?wLdW1&PpX 4.5.1材料数据库和导入材料 39
_D>as\dP 4.5.2 材料库 41
`?]rr0.}hp 4.5.3导出材料数据 43
OS"{"P 4.6 常用单位 43
8{G?92
{rN 4.7 插值和外推法 46
vdH+>l 4.8 材料数据的平滑 50
[EmOA.6 4.9 更多光学常数模型 54
Rct"\{V')n 4.10 文档的一般编辑规则 55
oF;%^XFp 4.11 撤销和重做 56
(~ ]g,*+ 4.12 设计文档 57
%[Zqr;~l 4.10.1 公式 58
V/3 {^Fcr 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
h
eE'S/ 4.10.3 沉积密度 59
&R'w-0k_ 4.10.4 平行和楔形介质 60
ntj`+7mw 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
1C0Y0{6, 4.10.4 性能 61
coF T2Pq 4.10.5 保存设计和性能 64
oI_oz0nHk 4.10.6 默认设计 64
*bCi2mbm@ 4.11 图表 64
9U|<q 4.11.1 合并曲线图 67
cXk6e.Uz 4.11.2 自适应绘制 68
f`hyYp`d5 4.11.3 动态绘图 68
,C{^`Bk-W 4.11.4 3D绘图 69
-}Cc"qm 4.12 导入和导出 73
&r'{(O8$N 4.12.1 剪贴板 73
/lLov. 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
b|sc'eP#? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
(ve+,H6w\ 4.13 背景 77
(]3ERPn#y 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
_/,SZ-C#L4 4.15 生成Rugate 84
<$jKy 3@ 4.16 参考文献 91
L289'Gzg 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
01LZE,. 5.1 Jobs 92
RDs,sj/Y9? 5.2 创建一个新Job(工作) 93
Kajkw>z 5.3 输入材料 94
~@T+mHny 5.4 设计数据文件夹 95
y$IaXr5L 5.5 默认设计 95
m<FF$pTT 6 细化和合成 97
E tJ~dL) 6.1 优化介绍 97
@72x`&|I?u 6.2 细化 (Refinement) 98
N@Xg5huO 6.3 合成 (Synthesis) 100
81g9ZV(4 6.4 目标和评价函数 101
`OKo=e~, 6.4.1 目标输入 102
xi680' 6.4.2 目标 103
\f(Y:}9 6.4.3 特殊的评价函数 104
/ <JY:1| 6.5 层锁定和连接 104
YXF#c)# 6.6 细化技术 104
1P_Fe[8 6.6.1 单纯形 105
\#PP8 6.6.1.1 单纯形
参数 106
sS,
zzx< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
uuu\f*< 6.6.2.1 Optimac参数 108
f5@.^hi[ 6.6.3 模拟退火算法 109
9;=q=O/ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
0jBKCu 6.6.4 共轭梯度 111
KHvIN}V5?3 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
/@&(P#h 6.6.5 拟牛顿法 112
xN6?yr 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
R=`U 4Ml; 6.6.6 针合成 113
3PfiQ|/b 6.6.6.1 针合成参数 114
#hIEEkCp + 6.6.7 差分进化 114
aSRjFL^ 6.6.8非局部细化 115
~6p5H}'H1 6.6.8.1非局部细化参数 115
GGCqtA^@7d 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Ay2b,q 6.7.1 细化 116
Ll,I-BQ9 6.7.2 合成 117
T`uDlo 6.8 参考文献 117
{3_Gjb5\\4 7 导纳图及其他工具 118
S#,+Z7 7.1 简介 118
[!W5}=^H 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
M9gOoYf,~ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
<BSSa`N` 7.2.2 导纳图 120
5)w4)K-% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
>GgE,h 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
8+9\7* 7.5 斜入射导纳图 141
5i6VZv 7.6 对称周期 141
pg+b[7 7.7 参考文献 142
\H^;'agA 8 典型的镀膜实例 143
$Jc q7E~ 8.1 单层抗反射薄膜 145
\fTTkpM 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
6VC-KY 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
/w0sj`;" 8.4 W-膜层 148
+vf:z?I8 8.5 V-膜层 149
[~COYjp 8.6 V-膜层高折射基底 150
}7%9}2}Iw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
>E,Q 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
f_rp<R>Uu 8.9 四层抗反射薄膜 153
((qGh>* 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
F'1k<V? 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
xpAok] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
M;qBDT~) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
K!p,x;YX 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
^_sQG 8.15十五层宽带抗反射膜 159
NddO*`8+) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Y17hOKc` 8.17 1/4波长堆栈 162
40u7fojg2 8.18 陷波滤波器 163
\0nlPXk?G 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
%yfE7UPS] 8.20 褶皱 165
J smB^ 8.21 消偏振分光器1 169
T<P0T< 8.22 消偏振分光器2 171
k=`$6(>Fz 8.23 消偏振立体分光器 172
_B3zRO 8.24 消偏振截止滤光片 173
b:1 L@8s; 8.25 立体偏振分束器1 174
}-74 f 8.26 立方偏振分束器2 177
2L:$aZ 8.27 相位延迟器 178
cAb>2]M5V 8.28 红外截止器 179
6lsEGe 8.29 21层长波带通滤波器 180
ytiyF2Kp 8.30 49层长波带通滤波器 181
eQ;Q4 8.31 55层短波带通滤波器 182
"TNVD"RLY 8.32 47 红外截止器 183
hCAZ{+`z 8.33 宽带通滤波器 184
W&YU^&`Yr 8.34 诱导透射滤波器 186
FIS "Z( 8.35 诱导透射滤波器2 188
DHv2&zH 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
b1xpz1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
q*bt4,D&Es 8.35 增益平坦滤波器 193
-%,"iaO 8.38 啁啾反射镜 1 196
w^Ag]HZN 8.39 啁啾反射镜2 198
9,scH65x 8.40 啁啾反射镜3 199
'C^;OjAg 8.41 带保护层的铝膜层 200
f}iU& 3S 8.42 增加铝反射率膜 201
+Ofa#^5);K 8.43 参考文献 202
h)cY])tGtK 9 多层膜 204
R&*@@F-dx 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
epkD*7 9.2 内部透过率 204
-uj3'g(;w 9.3 内部透射率数据 205
[9AM\n>g 9.4 实例 206
\J3/keL 9.5 实例2 210
A?A9`w 9.6 圆锥和带宽计算 212
lL0M^Nv 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
,EI:gLH 10 光学薄膜的颜色 216
wXbsS)#/ 10.1 导言 216
I3(d<+M 10.2 色彩 216
($8t%jVWJJ 10.3 主波长和纯度 220
;&S;%W>| 10.4 色相和纯度 221
Hhl-E:"H` 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
>g}G}=R~3 10.6 色差 226
Z!_n_Fk 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
.T8K-<R 10.8 颜色渲染指数 234
Qnt5HSSt 10.9 色差计算 235
DpvrMI~I_ 10.10 参考文献 236
)%F5t&lum 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
! %Ny0JkO 11.1 短脉冲 238
Ryv_1gR! 11.2 群速度 239
`5l01nOxJ 11.3 群速度色散 241
9:8|)a(1 11.4 啁啾(chirped) 245
"r$/
11.5 光学薄膜—相变 245
q.W>4 k 11.6 群延迟和延迟色散 246
q7_+}"i 11.7 色度色散 246
(>7>3 11.8 色散补偿 249
nB] Ia? 11.9 空间
光线偏移 256
5jZiJw( 11.10 参考文献 258
!YE zFU`L 12 公差与误差 260
t)a;/scT 12.1 蒙特卡罗模型 260
_ck[&Q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
tTuX\;G 12.2.1 误差工具 267
d1G8*YO@ 12.2.2 灵敏度工具 271
>2lwWXA 12.2.2.1 独立灵敏度 271
L'E^c,-x~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
f<=Fe:1. 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
E!mmLVa9 12.3 参考文献 276
.zkP~xQ~ 13 Runsheet 与Simulator 277
<[i}n55 13.1 原理介绍 277
G5Yk bw# 13.2 截止滤光片设计 277
6gU{(H
14 光学常数提取 289
v~=\H 14.1 介绍 289
/X#z*GX 14.2 电介质薄膜 289
q>s`uFRg( 14.3 n 和k 的提取工具 295
MKg,!TELe 14.4 基底的参数提取 302
S
v`qB'e2 14.5 金属的参数提取 306
#/70!+J_UF 14.6 不正确的模型 306
1@qgF 14.7 参考文献 311
:Li/=>R^ 15 反演工程 313
@Rq}nq=k 15.1 随机性和
系统性 313
E^CiOTN 15.2 常见的系统性问题 314
D/ Dt 15.3 单层膜 314
Adx`8}N8 15.4 多层膜 314
sWqM?2g 15.5 含义 319
7wVH8^| 15.6 反演工程实例 319
DL8x":; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
,hRN\Kt)p 15.6.2 反演工程提取折射率 327
1[PMDS_X 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
'jfRt-_- 16.1 光学性质的热致偏移 329
!mnUdR|>( 16.2 应力工具 335
/'wF2UR 16.3 均匀性误差 339
r>t1 _b+nu 16.3.1 圆锥工具 339
KoBW}x9Jp 16.3.2 波前问题 341
[hh/1[ 16.4 参考文献 343
Q8nId<\( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
<02m%rhuW 17.1 引言 345
K5 KyG 17.2 操作数 345
iiC!|`k" 18 如何在Function中编写脚本 351
yVJ%+d:6 18.1 简介 351
Q[u6|jRt 18.2 什么是脚本? 351
\'v(Xp6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
BmBz}:xMez 18.4 基础 352
Ng=ONh
18.4.1 Classes(类别) 352
I 3$dVls} 18.4.2 对象 352
egR-w[{ 18.4.3 信息(Messages) 352
NXk!qGV2 18.4.4 属性 352
)"<8K}%! 18.4.5 方法 353
osP\DiQ 18.4.6 变量声明 353
>U!*y4 18.5 创建对象 354
}
cNW^4F 18.5.1 创建对象函数 355
7hw .B'7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
dcfe_EuT 18.5.3 丢弃对象 356
LIpEQ7; 18.5.4 总结 356
EL{vFP 18.6 脚本中的表格 357
[(mlv42" 18.6.1 方法1 357
3HC 18.6.2 方法2 357
9S7A!AKE 18.7 2D Plots in Scripts 358
j`>^1Q 18.8 3D Plots in Scripts 359
'MxSd( T
= 18.9 注释 360
aX6}6zubr 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
8|g<X1H{M 18.11 一个更高级的脚本 362
|oFAGP1 18.12 <esc>键 364
AC- )BM'; 18.13 包含文件 365
LHYLC>J 18.14 脚本被
优化调用 366
6W2hr2Zy9 18.15 脚本中的对话框 368
4=<*Vd`p 18.15.1 介绍 368
3iNkoBCg 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Xyx"A(v^l 18.15.3 输入框函数 370
kU l 18.15.4 自定义对话框 371
N_gD>6I 18.15.5 对话框编辑器 371
| A)\
: 18.15.6 控制对话框 377
!cX[-}Q 18.15.7 更高级的对话框 380
~/#1G.H 18.16 Types语句 384
D-p.kA3MJ 18.17 打开文件 385
Ctu?o+^;z 18.18 Bags 387
7<\C?`q" 18.13 进一步研究 388
B4H!5b 19 vStack 389
nHXX\i 19.1 vStack基本原理 389
+0$/y]k 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
GZ #aj| 19.3 五棱镜 393
Sv[ 5NZn0& 19.4 光束距离 396
YA]5~ZE\ 19.5 误差 399
iJh!KEy~A5 19.6 二向分色棱镜 399
X[$++p
. 19.7 偏振泄漏 404
Q[4:
xkU 19.8 波前误差—相位 405
%VNlXHO. 19.9 其它计算参数 405
aAt>QxGQW 20 报表生成器 406
cntco@ 20.1 入门 406
Li{~=S@N* 20.2 指令(Instructions) 406
19e8 20.3 页面布局指令 406
$&I'o 20.4 常见的参数图和三维图 407
}Fb!?['G5 20.5 表格中的常见参数 408
dFXc/VH') 20.6 迭代指令 408
Q;/a F` 20.7 报表模版 408
9WG{p[ 20.8 开始设计一个报表模版 409
9)dfL?x8V{ 21 一个新的project 413
UK[v6".^h 21.1 创建一个新Job 414
aptY6lGv-| 21.2 默认设计 415
G=9d&N 21.3 薄膜设计 416
gXFWxT8S 21.4 误差的灵敏度计算 420
kSncZ0K{ 21.5 显色指数计算 422
R!\EKH 21.6 电场分布 424
\_6OC Vil 后记 426
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