%X>P+6<= 内容简介
[|E|(@J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
o u*`~K|R 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
\Czuf 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
-lNT"9 R#w9%+ p5PTuJ>q
+4--Dl? 目录
. L'eVLQe Preface 1
>p,FAz> 内容简介 2
D8,V'n>L 目录 i
Z9vJF.clO 1 引言 1
t9(sSl 2 光学薄膜基础 2
g W(7jFl 2.1 一般规则 2
B`1"4[{ 2.2 正交入射规则 3
6nP-IKL 2.3 斜入射规则 6
dxAP7v 2.4 精确计算 7
Tyk\l>S 2.5 相干性 8
%}x$YDO 2.6 参考文献 10
cJ#|mzup 3 Essential Macleod的快速预览 10
B9Y*'hmI 4 Essential Macleod的特点 32
=%IBl]Z!" 4.1 容量和局限性 33
sUEvL(%nY 4.2 程序在哪里? 33
NwB;9ZhZ 4.3 数据文件 35
VGtKW kVH 4.4 设计规则 35
syR
+; 4.5 材料数据库和
资料库 37
4kqgZtg. 4.5.1材料损失 38
xY,W[?3CY 4.5.1材料数据库和导入材料 39
;;;{<GEQ 4.5.2 材料库 41
[>y 0Xf9^ 4.5.3导出材料数据 43
1j":j %9M 4.6 常用单位 43
4(O;lVT} 4.7 插值和外推法 46
0^IHBN?9 4.8 材料数据的平滑 50
}:f
\!b 4.9 更多光学常数模型 54
C^W9=OH 4.10 文档的一般编辑规则 55
)|SmB YV 4.11 撤销和重做 56
etk@ j3# 4.12 设计文档 57
*4oj '} 4.10.1 公式 58
t3b64J[A{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
?O!'ZZX 4.10.3 沉积密度 59
vx&r 4.10.4 平行和楔形介质 60
k,UezuV 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
^:F |2 4.10.4 性能 61
T~"T%r 4.10.5 保存设计和性能 64
1deNrmp% 4.10.6 默认设计 64
V( A p|I:G 4.11 图表 64
13v# 4.11.1 合并曲线图 67
B[Gl}(E 4.11.2 自适应绘制 68
dD{{G:V 4.11.3 动态绘图 68
S+7:fu2?+ 4.11.4 3D绘图 69
7ga|4j3% 4.12 导入和导出 73
Rz_fNlA 4.12.1 剪贴板 73
eYD|`)-f<^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Y o$NE 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
n fU\l< 4.13 背景 77
0-!K@#$>= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
/Q8glLnM 4.15 生成Rugate 84
>lg-j-pV 4.16 参考文献 91
v2tKk^6`(i 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
f3u^:6U~ 5.1 Jobs 92
gfW8s+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
eJv_`#R&Of 5.3 输入材料 94
A,4|UA?- 5.4 设计数据文件夹 95
paG^W&`; 5.5 默认设计 95
6JYVC>i 6 细化和合成 97
00d<V:Aoy 6.1 优化介绍 97
k25:H[ 6.2 细化 (Refinement) 98
?h*Ngbj> 6.3 合成 (Synthesis) 100
0M^v%22 6.4 目标和评价函数 101
ARt+"[.*p 6.4.1 目标输入 102
]*M-8_D 6.4.2 目标 103
?9)-?tZ^Q 6.4.3 特殊的评价函数 104
(E.,kcAJ 6.5 层锁定和连接 104
B9glPcy}SS 6.6 细化技术 104
=ZaTD-%id 6.6.1 单纯形 105
6zfi\(fop 6.6.1.1 单纯形
参数 106
I2R"
Y< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
@TTB$ 6.6.2.1 Optimac参数 108
snW=9b)m 6.6.3 模拟退火算法 109
;>z.wol 6.6.3.1
模拟退火参数 109
~)k OOoH 6.6.4 共轭梯度 111
,iQRf@#W_b 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
[-$ :XOO 6.6.5 拟牛顿法 112
!N@d51T=N 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
1oSrhUTy 6.6.6 针合成 113
^lp#j;Df 6.6.6.1 针合成参数 114
{"([p L 6.6.7 差分进化 114
w>]?gN?8Fe 6.6.8非局部细化 115
rrSs Qq 6.6.8.1非局部细化参数 115
}eO{+{D+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
,+gU^dc|hq 6.7.1 细化 116
TfbB1 6.7.2 合成 117
/7)l 22< 6.8 参考文献 117
%%dQIlF
7 导纳图及其他工具 118
el;ey Ga 7.1 简介 118
])sIQ{P 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
g{_wMf 7.2.1 四分之一
波长规则 119
v|&Nh?r 7.2.2 导纳图 120
?Bdhn{_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
cen[|yCtOH 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
007(k"=oV 7.5 斜入射导纳图 141
mYy{G s7 7.6 对称周期 141
c8^M::NI 7.7 参考文献 142
I)B+h8l72< 8 典型的镀膜实例 143
Bv)^GU& 8.1 单层抗反射薄膜 145
DLWG0$#! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
Hj>(kL9H 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
J ^y1=PM 8.4 W-膜层 148
M$9?{8m 8.5 V-膜层 149
f[AN=M"B"s 8.6 V-膜层高折射基底 150
L>&o_bzp 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
3Dd"qON! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
T;f`ND2fY 8.9 四层抗反射薄膜 153
Fbpe`pS+V 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
xE2sb* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
/s'7[bSv 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
'K L"i 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
* 7<{Xbsj^ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
907N;r 8.15十五层宽带抗反射膜 159
8$+mST'4N 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
g p2S 8.17 1/4波长堆栈 162
v*.[O/,EBR 8.18 陷波滤波器 163
#s\HiO$BT 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
cL]vJ`?Ih 8.20 褶皱 165
Q||vU 8.21 消偏振分光器1 169
j>{Dbl:#2 8.22 消偏振分光器2 171
YPV@/n[N 8.23 消偏振立体分光器 172
*CIR$sS 8.24 消偏振截止滤光片 173
j;GH|22 8.25 立体偏振分束器1 174
i; qb\ 8.26 立方偏振分束器2 177
g?e$B}% 8.27 相位延迟器 178
lhx"<kR4 8.28 红外截止器 179
"}ms| 8.29 21层长波带通滤波器 180
JZa^GW:YQh 8.30 49层长波带通滤波器 181
Z8 X=Md8= 8.31 55层短波带通滤波器 182
Aa.eu=@I 8.32 47 红外截止器 183
\I@hDMqv 8.33 宽带通滤波器 184
GQ@`qYLZ+ 8.34 诱导透射滤波器 186
d3m!34ml 8.35 诱导透射滤波器2 188
PQkFzyk 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
|2$wJ$I 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
o4%H/|Oq. 8.35 增益平坦滤波器 193
a'[Ah2}3r< 8.38 啁啾反射镜 1 196
WS!:w'rzr 8.39 啁啾反射镜2 198
%`M IGi# 8.40 啁啾反射镜3 199
@d+NeS 8.41 带保护层的铝膜层 200
R">-h;# 8.42 增加铝反射率膜 201
_uYidtxo= 8.43 参考文献 202
qM$4c7'4P6 9 多层膜 204
B"@3Q av3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
8NE+G.:G 9.2 内部透过率 204
s9Tp(Yr,k 9.3 内部透射率数据 205
Rz #&v 9.4 实例 206
u{6b>c|,X 9.5 实例2 210
y:m
;_U,%c 9.6 圆锥和带宽计算 212
u . xUM 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
!a.|URa7 10 光学薄膜的颜色 216
:aIS>6 10.1 导言 216
hR g?H 10.2 色彩 216
V!{}%;f 10.3 主波长和纯度 220
+2KYtyI 10.4 色相和纯度 221
?g6xy[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
v_ U$jjO1 10.6 色差 226
D('
w<9. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
>8*0"Q 10.8 颜色渲染指数 234
,cesQ
ou 10.9 色差计算 235
1?oX" 10.10 参考文献 236
} xy>uT 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
(}#8$ ) 11.1 短脉冲 238
4 kNiS^h 11.2 群速度 239
$ouw*|< 11.3 群速度色散 241
G2 E4 11.4 啁啾(chirped) 245
-->~<o 11.5 光学薄膜—相变 245
9GV1@'<Y] 11.6 群延迟和延迟色散 246
mBrH`! 11.7 色度色散 246
tF/)DZ.to 11.8 色散补偿 249
,Vc>'4E- 11.9 空间
光线偏移 256
e}PJN6"5
11.10 参考文献 258
]UMt 12 公差与误差 260
6XFLWN-) 12.1 蒙特卡罗模型 260
PXx:JZsju 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
B%.vEk)* 12.2.1 误差工具 267
a7?)x])e 12.2.2 灵敏度工具 271
[J{M'+a 12.2.2.1 独立灵敏度 271
Q|6lp 12.2.2.2 灵敏度分布 275
PX} ~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
'&;s32']} 12.3 参考文献 276
wDv G5 13 Runsheet 与Simulator 277
UZV\]Y 13.1 原理介绍 277
NKSK+ll2 13.2 截止滤光片设计 277
F%]ZyO9 14 光学常数提取 289
#B^A"?*S 14.1 介绍 289
cm'`u&S 14.2 电介质薄膜 289
, S
} 14.3 n 和k 的提取工具 295
q;)+O#CR 14.4 基底的参数提取 302
TdCC,/c3 14.5 金属的参数提取 306
&>xd6- 14.6 不正确的模型 306
G2[?b2)8 14.7 参考文献 311
w<P$)~6 15 反演工程 313
Fcz}Gs4 15.1 随机性和
系统性 313
$!ATj`}kb 15.2 常见的系统性问题 314
.XVW2ISv 15.3 单层膜 314
vT&)
5nN 15.4 多层膜 314
%aB
RL6 15.5 含义 319
9*<=K 15.6 反演工程实例 319
+W7#G `> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
8k0f&Cak= 15.6.2 反演工程提取折射率 327
D^30R*gV 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
y"L7.B 16.1 光学性质的热致偏移 329
o?O> pK 16.2 应力工具 335
WSKubn?7B 16.3 均匀性误差 339
(>R 16.3.1 圆锥工具 339
B*3<(eI 16.3.2 波前问题 341
qj#C8Tc7 16.4 参考文献 343
i[#XYX'\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
;S5J"1)O~ 17.1 引言 345
XZ&cTjNB& 17.2 操作数 345
"8#EA<lsS 18 如何在Function中编写脚本 351
Ifu[L&U 18.1 简介 351
DmA~Vj!a^y 18.2 什么是脚本? 351
T1\@4x 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
~85>.o2RDW 18.4 基础 352
w~%Rxdh?8W 18.4.1 Classes(类别) 352
Ds<~JfVl 18.4.2 对象 352
QSNPraT 18.4.3 信息(Messages) 352
w2(pgWed 18.4.4 属性 352
1Uaj}=@M 18.4.5 方法 353
q(9S4F 18.4.6 变量声明 353
Q&@e,7]V+ 18.5 创建对象 354
!XqU'xxC 18.5.1 创建对象函数 355
Zn{Y+ce7d 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
np6R\Q!& 18.5.3 丢弃对象 356
ecsQshR 18.5.4 总结 356
>>b <)?3Rv 18.6 脚本中的表格 357
6g-Q 18.6.1 方法1 357
Rh :|ij>B 18.6.2 方法2 357
b9Mp@I7Q- 18.7 2D Plots in Scripts 358
8 t5o&8v 18.8 3D Plots in Scripts 359
hqW),^\>' 18.9 注释 360
/_D_W,#P 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
'o]kOp@q 18.11 一个更高级的脚本 362
Iy#=Nq= 18.12 <esc>键 364
O\+b1+&b3Y 18.13 包含文件 365
M/J?$j 18.14 脚本被
优化调用 366
F.cKg~E|e 18.15 脚本中的对话框 368
s|[CvjL#0 18.15.1 介绍 368
?_t_rF(?6 18.15.2 消息框-MsgBox 368
.gclE~h. 18.15.3 输入框函数 370
$V\Dl]a1 18.15.4 自定义对话框 371
>n"4M~I 18.15.5 对话框编辑器 371
Aryp!oW 18.15.6 控制对话框 377
rX}FhBl5 18.15.7 更高级的对话框 380
^:u-wr8?{ 18.16 Types语句 384
7SJbrOL4Q- 18.17 打开文件 385
wM1&_%N 18.18 Bags 387
C7=N`s} 18.13 进一步研究 388
=1+/`w 19 vStack 389
<]f{X<ef 19.1 vStack基本原理 389
Jq*Q;}n 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
;Qi0j<dXd 19.3 五棱镜 393
vI20G89E 19.4 光束距离 396
r7jh)Q;BbR 19.5 误差 399
{`ByZB 19.6 二向分色棱镜 399
"DC L
Z 19.7 偏振泄漏 404
M3VTzwuf^S 19.8 波前误差—相位 405
| r,{# EE 19.9 其它计算参数 405
`rest_vu 20 报表生成器 406
_A~>?gJ;, 20.1 入门 406
O<P(UT" 20.2 指令(Instructions) 406
):]5WHYg 20.3 页面布局指令 406
^O
QeOTF 20.4 常见的参数图和三维图 407
D4O^5?F)| 20.5 表格中的常见参数 408
"9X1T] 20.6 迭代指令 408
iyv5\ 20.7 报表模版 408
Gzc`5n{" 20.8 开始设计一个报表模版 409
&)izh) FA 21 一个新的project 413
8/<+p? 3p> 21.1 创建一个新Job 414
OK(xG3T 21.2 默认设计 415
+Kp8X53 21.3 薄膜设计 416
6>gm!6` 21.4 误差的灵敏度计算 420
:(YFIW`59 21.5 显色指数计算 422
&fW'_,- 21.6 电场分布 424
wv 后记 426
{8"Uxj_6V 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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