5/(sjMB 内容简介
UkfA}b^@v Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
u){S$</ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
})7K S? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
K~@`o-Z[ @_Sp3nWdu L*^
V5^-
!gJzg*{u@ 目录
rKIRNc#d Preface 1
bd{\{[^S! 内容简介 2
m1y `v" 目录 i
-TZ^ ~s 1 引言 1
y@ . b
4 2 光学薄膜基础 2
r?$&Z^ 2.1 一般规则 2
0_HJ.g! 2.2 正交入射规则 3
JMePI%#8 2.3 斜入射规则 6
U'M|=I' 2.4 精确计算 7
2@*<9-9 2.5 相干性 8
5L3{w+V 2.6 参考文献 10
Xi+n`T'i 3 Essential Macleod的快速预览 10
c(&AnIlS 4 Essential Macleod的特点 32
|*1xrM:v~ 4.1 容量和局限性 33
6>uQt:e 4.2 程序在哪里? 33
rXDJ:NP 4.3 数据文件 35
niAZ$w 4.4 设计规则 35
mtX31M4 4.5 材料数据库和
资料库 37
WG\Q5k4Ba 4.5.1材料损失 38
vX 1W@s 4.5.1材料数据库和导入材料 39
>uW^.e "F 4.5.2 材料库 41
4+I 3+a" 4.5.3导出材料数据 43
kwc*is 4.6 常用单位 43
QA,*:qx 4.7 插值和外推法 46
%2YN,a4 4.8 材料数据的平滑 50
IywiCMjH 4.9 更多光学常数模型 54
PJ;.31u 4.10 文档的一般编辑规则 55
cdDY]"k 4.11 撤销和重做 56
l.uN$B 4.12 设计文档 57
->3uOF!q 4.10.1 公式 58
&t_A0z 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
R.O 4.10.3 沉积密度 59
lJlhl7 4.10.4 平行和楔形介质 60
wBE7Bv45 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
W[fT
R?n 4.10.4 性能 61
H7}g!n? 4.10.5 保存设计和性能 64
GI?PGAT 4.10.6 默认设计 64
IqXBz.p 4.11 图表 64
\#2
s4RCji 4.11.1 合并曲线图 67
%rw}u"3T 4.11.2 自适应绘制 68
"R8.P/ 3 4.11.3 动态绘图 68
y]7%$*
< 4.11.4 3D绘图 69
(HPz 4.12 导入和导出 73
`ReGnT[ 4.12.1 剪贴板 73
6UO$z- e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
L7<+LA)s0 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
F$[)Bd /" 4.13 背景 77
3Qk/ Ll 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
S7Znz@ 4.15 生成Rugate 84
brj[c>ID 4.16 参考文献 91
OgQntj:%lN 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
<5M_EJp 5.1 Jobs 92
Ca
X^) 5.2 创建一个新Job(工作) 93
gU+ss 5.3 输入材料 94
~z &0qQ 5.4 设计数据文件夹 95
1*L^^%w 5.5 默认设计 95
tg3zXJ4k_ 6 细化和合成 97
pL8H8kn 6.1 优化介绍 97
)U]:9) 6.2 细化 (Refinement) 98
<r_3obRC 6.3 合成 (Synthesis) 100
Q*Y4m8wY 6.4 目标和评价函数 101
J}:&eS 6.4.1 目标输入 102
k{_1r; 6.4.2 目标 103
C0gfJ~M) 6.4.3 特殊的评价函数 104
VZHr-z$6n 6.5 层锁定和连接 104
g%ZdIKj! 6.6 细化技术 104
b$dBV}0 L 6.6.1 单纯形 105
.l7j8} 6.6.1.1 单纯形
参数 106
g
,`F<CF9 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
&<`-:x1 2_ 6.6.2.1 Optimac参数 108
1]Gf)| 6.6.3 模拟退火算法 109
5[nmP95YK 6.6.3.1
模拟退火参数 109
pa>p% 6.6.4 共轭梯度 111
]F
!'M 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
9U&~(; 6.6.5 拟牛顿法 112
mZ]P[lQ'5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
c!.=%QY 6.6.6 针合成 113
33*^($bE& 6.6.6.1 针合成参数 114
#]k0Z~Bl 6.6.7 差分进化 114
FMoJ"6Q 6.6.8非局部细化 115
y2U/$%B)G 6.6.8.1非局部细化参数 115
fn3*2 6.7 我应该使用哪种技术? 116
L^6"'# 6.7.1 细化 116
I; ^xAd3G 6.7.2 合成 117
=sxkr ih 6.8 参考文献 117
UP}feN 7 导纳图及其他工具 118
B^H4Q
4- 7.1 简介 118
:sU!PF[< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
cLn; ,u4 7.2.1 四分之一
波长规则 119
9*BoYFw92* 7.2.2 导纳图 120
jMTRcj];( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
o1
jk= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
b*cW<vX}~ 7.5 斜入射导纳图 141
)gr}<}X)B 7.6 对称周期 141
KrJ 5"1= 7.7 参考文献 142
|Uc<;> l 8 典型的镀膜实例 143
\)FeuLGL9 8.1 单层抗反射薄膜 145
>s;oOo+5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
4 U3C~J 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
)ZQHa7V 8.4 W-膜层 148
(irk$d % 8.5 V-膜层 149
@m5O{[euj< 8.6 V-膜层高折射基底 150
S4;wa6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
,?C|.5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
| -JI`!7 8.9 四层抗反射薄膜 153
c'"#q) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Xq+!eOT 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
mfj4`3:NV 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
s.f`.o 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
ll^Th > 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
r3n=<l!Jr 8.15十五层宽带抗反射膜 159
=9kj?
u~
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
W/#KX}4 8.17 1/4波长堆栈 162
f+*J
ue 8.18 陷波滤波器 163
`)0Rv|? 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
!y.ei1diw 8.20 褶皱 165
`2Wl 8.21 消偏振分光器1 169
_Syre6k 8.22 消偏振分光器2 171
J@oEV=L 8.23 消偏振立体分光器 172
7xX;MB& 8.24 消偏振截止滤光片 173
"2*G$\ 8.25 立体偏振分束器1 174
]ev *m&O 8.26 立方偏振分束器2 177
9yh9HE 8.27 相位延迟器 178
Y'tq m&} 8.28 红外截止器 179
99\{! W 8.29 21层长波带通滤波器 180
I8%d;G~ 8.30 49层长波带通滤波器 181
Ask' ! 8.31 55层短波带通滤波器 182
b7?U8/#' 8.32 47 红外截止器 183
<8}KEe4 8.33 宽带通滤波器 184
~%olCxfO 8.34 诱导透射滤波器 186
Ah6wU|_-g 8.35 诱导透射滤波器2 188
O<}ep)mr 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
17J} uXA 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~5lKL5w 8.35 增益平坦滤波器 193
Yh}zt
H 8.38 啁啾反射镜 1 196
!F=|*j 8.39 啁啾反射镜2 198
N BV}4 8.40 啁啾反射镜3 199
!7ei1 8.41 带保护层的铝膜层 200
)B-MPuB 8.42 增加铝反射率膜 201
)2iM<-uB 8.43 参考文献 202
Xz;et>UD*B 9 多层膜 204
-9=M9}eDF 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
CBiU#h
q 9.2 内部透过率 204
>wz;}9v 9.3 内部透射率数据 205
08<k'Oi] 9.4 实例 206
i_j9/k 9.5 实例2 210
F Q8RK~?` 9.6 圆锥和带宽计算 212
>2l13^Y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
v7s] 10 光学薄膜的颜色 216
@rnp- +kq 10.1 导言 216
(|yRo 10.2 色彩 216
FK4nz2&4 10.3 主波长和纯度 220
/e-ka{WS 10.4 色相和纯度 221
dzjB UD 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
ib5;f0Qa 10.6 色差 226
6{JR 0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
3v8V*48B$ 10.8 颜色渲染指数 234
MgJ%26TZ 10.9 色差计算 235
/'8*aUa 10.10 参考文献 236
Uq<a22t@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
=]_d pE EQ 11.1 短脉冲 238
6vD]@AF 11.2 群速度 239
@<@R=aqE 11.3 群速度色散 241
Wrf^O2 11.4 啁啾(chirped) 245
Tf&f`/ 11.5 光学薄膜—相变 245
5}.,"Fbr 11.6 群延迟和延迟色散 246
bE7(L
$UF 11.7 色度色散 246
n/9 LRZD|w 11.8 色散补偿 249
jMm_A#V>p 11.9 空间
光线偏移 256
AijPN 11.10 参考文献 258
jI*}y[o 12 公差与误差 260
9[epr+f 12.1 蒙特卡罗模型 260
R9b/?*%=9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
}<(
"0jC 12.2.1 误差工具 267
@{J!6YGh 12.2.2 灵敏度工具 271
u+2xrzf 12.2.2.1 独立灵敏度 271
4_6W s$x 12.2.2.2 灵敏度分布 275
d-6sC@PB 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
P?Gd}mdX?m 12.3 参考文献 276
ql#{=oGDnA 13 Runsheet 与Simulator 277
2.fyP"P
L 13.1 原理介绍 277
mhHA!:Y 13.2 截止滤光片设计 277
Q%,o8E2~ 14 光学常数提取 289
1S*8v 7 14.1 介绍 289
>:Rt>po8|w 14.2 电介质薄膜 289
\N#
HPrv} 14.3 n 和k 的提取工具 295
h/0<:eZ* 14.4 基底的参数提取 302
.c=$ bQ>^ 14.5 金属的参数提取 306
^]#Ptoz^(l 14.6 不正确的模型 306
p\\P50(- 14.7 参考文献 311
r+{!@`dYi 15 反演工程 313
Vze!/ED 15.1 随机性和
系统性 313
)#b}qc#` 15.2 常见的系统性问题 314
_Ep{|]:gw 15.3 单层膜 314
>\6jb&,%O 15.4 多层膜 314
h3UZ|B0= 15.5 含义 319
L337/8fh 15.6 反演工程实例 319
GsP@ B' 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
@!L@UP0 15.6.2 反演工程提取折射率 327
Ak\D6eHcB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
!^Z[z[ 16.1 光学性质的热致偏移 329
[3{:H"t 16.2 应力工具 335
ND9n1WZ&x 16.3 均匀性误差 339
K,lK\^y 16.3.1 圆锥工具 339
m+72C]9 16.3.2 波前问题 341
~_dBND? 16.4 参考文献 343
Q>SPV8s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
SHXa{- 17.1 引言 345
7(A
G] 17.2 操作数 345
=FtM;(\ 18 如何在Function中编写脚本 351
??$i* 18.1 简介 351
nK?k< 18.2 什么是脚本? 351
V',m $ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
4 BE:&A 18.4 基础 352
{Gk}3u/ 18.4.1 Classes(类别) 352
8^P2GG'+- 18.4.2 对象 352
;*>QG6Fh 18.4.3 信息(Messages) 352
_-|yCo 18.4.4 属性 352
xVHQ[I% 18.4.5 方法 353
h|c:!VN@ 18.4.6 变量声明 353
+s+PnZ%0V 18.5 创建对象 354
OVQxZ~uQ 18.5.1 创建对象函数 355
$.r}g\43P 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
K*HVn2OV 18.5.3 丢弃对象 356
bbQ10H 18.5.4 总结 356
AXNszS%4 18.6 脚本中的表格 357
PoBukOv 18.6.1 方法1 357
k"DQbUy0L 18.6.2 方法2 357
7b7%( 18.7 2D Plots in Scripts 358
U'sVs2sk6 18.8 3D Plots in Scripts 359
\0*yxSg,^ 18.9 注释 360
)'K!)?&d 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
iP#A-du 18.11 一个更高级的脚本 362
\K_!d]I { 18.12 <esc>键 364
D:6x*+jah) 18.13 包含文件 365
JX2
| 18.14 脚本被
优化调用 366
Y00i{/a 8 18.15 脚本中的对话框 368
|j5AU 18.15.1 介绍 368
^;bGP.!p 18.15.2 消息框-MsgBox 368
=AnZ>6 18.15.3 输入框函数 370
`3>)BV<P 18.15.4 自定义对话框 371
M$>WmG1~D 18.15.5 对话框编辑器 371
5EV8zf 18.15.6 控制对话框 377
e$/Zb`k 18.15.7 更高级的对话框 380
0()9vTY+ 18.16 Types语句 384
W(PW9J9 18.17 打开文件 385
1CS]~1Yp: 18.18 Bags 387
bb
O;AiHD 18.13 进一步研究 388
V"2AN3~& 19 vStack 389
qed!C 19.1 vStack基本原理 389
zhR_qW+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
:hl}Zn~jt 19.3 五棱镜 393
UQji7K } 19.4 光束距离 396
`MpC<sit 19.5 误差 399
k. ?
T.9 19.6 二向分色棱镜 399
@h7GTA \ 19.7 偏振泄漏 404
oVuj020 19.8 波前误差—相位 405
C(%5,|6 19.9 其它计算参数 405
`>K k;` 20 报表生成器 406
0R%uVJG 20.1 入门 406
bbPd&7 20.2 指令(Instructions) 406
whg4o|p 20.3 页面布局指令 406
1o6J9kCq^3 20.4 常见的参数图和三维图 407
5f`XFe$8 20.5 表格中的常见参数 408
lA^Kh 20.6 迭代指令 408
HU'`kimWb 20.7 报表模版 408
1Sc~Vb|> 20.8 开始设计一个报表模版 409
]BS{,sI 21 一个新的project 413
{</$ObK 21.1 创建一个新Job 414
$RFu
m'`5 21.2 默认设计 415
dXK~
Z: 21.3 薄膜设计 416
PEQvEruZ} 21.4 误差的灵敏度计算 420
nO.+&kA 21.5 显色指数计算 422
Ci#5@Q9#w 21.6 电场分布 424
\%4+mgiD 后记 426
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