[原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 1hQeuG  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 rcWr0q  
本课将给出一个学习例子: oMj;9,WK'  
1. 镜片数22片 eZ^-gk?  
2. 物高31mm *75?%l  
3. 物方数值孔径NA 0.2 c5t],P  
4. 波长为UV C=z7Gk=  
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm yA/
b7x-c  
6. 总长小于1200mm '&.QW$B\B_  
U[Pll~m2b  
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 |rDv!m  
9Xv>FVG!  
首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： w9J^s<e  
下面是对 DSEARCH 的输入： -8]M ,,?  
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 P{-f./(JD  
@+3@Z?!SZ  
LS=HX~5C  
3'H 1T  
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： A$9^JF0$  
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 vZQ'  
>lRa},5(  
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. 9ntXLWK7e  
;be2sTo  
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： Ris5)*7  
    COMBINE 23 'NJC
U.lKm  
    RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。 T@ [
*V[  
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。 (>E70|T  
查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射）  多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF $ 'B0ZL  
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS ;eG,T-:
 
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 T-: @p>  
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 CCp8,