课程四十八:从
初始结构开始设计的微
光刻透镜 CD4@0Z+ 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的
镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习
光学设计,这将是一个好的学习例子。
r6It)PQ 本课将给出一个学习例子:
5>hXqNjP2 1. 镜片数22片
nuw7pEW@? 2. 物高31mm
onm"7JsO' 3. 物方数值孔径NA 0.2
J|([( 4.
波长为UV
TY?O$d2b3 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm
#$l:% 6. 总长小于1200mm
E@-5L9eJ\ xl9S=^`= 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让
光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束
成像到晶圆片上。
8[#EC 3 ]1MZ:]k 首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下:
,:0!+1 下面是对 DSEARCH 的输入:
z`,dEGfh^ 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 <`NtTG V`G^Jyj 返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
3E}j*lo <@c@`K 现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下:
FytGg[#] 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 AEUR`. 0 c]] 结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11.
ULO_?4}B +^%)QH>9 )|W6Z 现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入:
U|aEyMU COMBINE 23
'Z)#Sz Y RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
x@D>JG B7sBO6Z$J 现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的
优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并
模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
=&~ K;=: (0Jr<16si$ X_)x Fg'k 查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射) 多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
o\fPZ`p-m~ qCq?`0&# 查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
?QtM|e 1B$8<NCQ=? 我们有了一个非常好的微光刻镜头。
O`Htdnu 很高兴您选择
SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。
09i77 [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]