课程四十八：从
初始结构开始设计的微
光刻透镜 W^i[7 r 你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的
镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习
光学设计，这将是一个好的学习例子。
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,.1 本课将给出一个学习例子:
!O4)Y M 1. 镜片数22片
fs2y$HN 2. 物高31mm
5Vr#>W 3. 物方数值孔径NA 0.2
t')%; N 4.
波长为UV
bUe6f,8, 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm
{a,U{YJ\H
6. 总长小于1200mm
C?]+(P QtLd (&
!v 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让
光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束
成像到晶圆片上。
p3qKtMs0! f%yNq6l 首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：
QwLSL<. 下面是对 DSEARCH 的输入：
xu@+b~C\ 【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 6 )lWuY]e q:m qA$n 返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。使用命令为：SAVE LEFT11.
hLaQ[9 !.7m4mKzo 现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下：
Jm 1n|f 【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 lt%9Zgr[u _Nf%x1m5s 结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11.
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,uZz?7mO 现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入：
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OpmPw4?} RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
V]/ $ dJ 现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的
优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并
模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
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J ykN EMB# 查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF
{w ]L'0ES[ 查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS
(R!`Z% 我们有了一个非常好的微光刻镜头。
@DlN;r ?Cv 很高兴您选择
SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。
D 1(9/;9 [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
