[原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 rn]F97v@]  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 ,zEPdhTX  
本课将给出一个学习例子: </pt($  
1. 镜片数22片 *4/
KK  
2. 物高31mm ASB3|uy_  
3. 物方数值孔径NA 0.2 _ h/:
r1  
4. 波长为UV 5?A<('2  
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm &Qe2 }e$  
6. 总长小于1200mm 5 qMP u|A  
v}\Fbe  
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 Ap~6Vu  
XVF!l>nE  
首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： g_@b- :$Yq  
下面是对 DSEARCH 的输入： GX'S4B  
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 ~7gFddi=i  
?rY+,nQP  
Yfx?3  
~x[(1  
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： m=TZfa^r  
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 j$<g8Bg=o  
_FU}If
G>t  
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. kZ;Y/DH  
<sn,X0W  
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： h1y3gl[;TD  
    COMBINE 23 Z5g*'  
    RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。 j)wrF@W  
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。 \O]kf>nC  
查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射）  多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF qT01@Bku  
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS a^Z=xlJ/uZ  
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 e:K'e2  
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 `QZKW