[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 )/JC.d#  
Pla EI p  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %'HUC>ChN  
(`p(c;"*C!  

图片:1-1ZR2092134500.png

qSd $$L^  
iI1t P  
设计任务 24Fxx9g  
m+=!Z|K  

图片:1-1ZR209220C47.png

|(<L!6  
9wC; m:  
光栅特性与参数的严格分析 j$^]WRt  
W#[!8d35$  
不同光栅周期的衍射效率 2~<0<^j/]  
(G VGoh&  

图片:1-1ZR209224S93.png

1dcy+ !>  
'w2;oO  
考虑光栅周期的选择 [;I8ZVE  
-ZB"Yg$l  

图片:1-1ZR2092315557.png

F*4+7$E0B  
偏振相关衍射特性 >`:+d'Jv0  
||V:',#,W  

图片:1-1ZR20923422Y.png

x_K%  
bv/b<N@4?$  
偏振相关衍射特性 "x)DE,  
=+p+_}C  

图片:1-1ZR2092446256.png

n1Jz49[r  

.IXwa,  
偏振相关衍射特性 m"R(_E5  
{/<&  

图片:1-1ZR2092540b7.png

J%)2,szn0  
o[#a}5Y  
基于参数优化的光栅设计 o__q)"^~-  
{76!  
具有固定周期的二维参数优化 oK6lCGM5  
/Hmo!"W`  

图片:1-1ZR209260I63.png

T8-$[ 2  
二维参数优化 - 设计＃1 ~<aB-.d  
u$#7W>R  

图片:1-1ZR209263E10.png

dK: "  
>Il`AR;D  
二维参数优化 - 设计＃2 y~7lug  
kP$gl|  

图片:1-1ZR2092F2136.png

QGd- 9UEA]  
TeJ `sJ  
制造公差分析 - 设计＃2 {%{GZ  

`Tj}4f  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

p( *3U[1  
{O)&5  
不同光栅周期的三维参数优化 M-N2>i#  
!Yu-a!  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

F/sBr7I  
Gq/6{eRo\  
制造公差分析 .h,xBT`}Ji  
9#ft;c  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

SWpUVZyd  
|@.<}/  
走进VirtualLab Fusion   dn_OfK  
e-9unnk  

图片:1-1ZR2092924332.png

<q2nZI^  
zF&UdS3  
VirtualLab Fusion 工作流程 *GP_ut%  
P*`xiTA  

图片:1-1ZR2092952P4.png

YS~t d+*  
)H)Udhz  
VirtualLab Fusion技术 'V#ew\  
w9$8t9$|  

图片:1-1ZR2093031446.png