摘要
ytmFe ! O BCH%\;g 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@5[9iY GKk>;X- 设计任务
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brdfjE8 bG|aQ2HW 光栅特性与参数的严格分析
u%s@B1j 'Nqa=_<WW 不同光栅周期的衍射效率
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pxuZ=< 考虑光栅周期的选择
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c; MF 偏振相关衍射特性
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<*Ex6/j ./KXElvQ% 偏振相关衍射特性
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D)_67w|u| yu~o9 偏振相关衍射特性
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lQq&tz, nZtP!^# 基于参数优化的光栅设计
fqY;>Z J^Mq4& 具有固定周期的二维参数优化
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%x]8^vze 二维参数优化 - 设计#1
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1FPt%{s3 c@&`!e 二维参数优化 - 设计#2
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G9YfJ?I O'i!}$=g 制造
公差分析 - 设计#2
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"J_#6q* `zw^ WbCO{ 不同光栅周期的
三维参数优化
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~x #RIt wr~Ydmsf 制造公差分析
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