摘要
x\aCZ ~WKWx.ul 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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He1~27+99 =4
NKXP~C 设计任务
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fU|4^p) N9 TM 光栅特性与参数的严格分析
h(p cGE wQ?Z y;/S 不同光栅周期的衍射效率
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~toR)=Yv +do*C=z 考虑光栅周期的选择
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A u"BDP 偏振相关衍射特性
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?N]G;%3/ &'u%|A@ 偏振相关衍射特性
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&Z%'xAOGR 3:bP>l! 偏振相关衍射特性
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`$ pJ2S `d4;T|f+= 基于参数优化的光栅设计
zz #IY'dwT `KUL4) g~ 具有固定周期的二维参数优化
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jvhD_L/ 二维参数优化 - 设计#1
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ihD|e& Ct]? / 二维参数优化 - 设计#2
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rEoOv p1s|JI 制造
公差分析 - 设计#2
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jF-0 fK;)* 64D4*GQ 不同光栅周期的
三维参数优化
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$'KhA6u g_?bWm4br 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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