摘要
TnZc.
^QHMN 7r/ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(fLbg, Hhce:E@K 设计任务
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dA M ilTo [b)K@Ha 光栅特性与参数的严格分析
QeOt;{_| *F4G qX3 不同光栅周期的衍射效率
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s"^YW+HMb L-X
_b3E\ 考虑光栅周期的选择
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]P ?#lO6 偏振相关衍射特性
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`'k's]Y iTBhLg, 偏振相关衍射特性
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fN? Lz%z3 0T{Y_IG 偏振相关衍射特性
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bU +eJU_% '/"M02a 基于参数优化的光栅设计
d-S'y-V?d :Tl6:=B 具有固定周期的二维参数优化
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r3bvuq,6$ 二维参数优化 - 设计#1
)^'B:ic +M%2m3.Jo
W&re;?Z{ke x jUH<LFxy 二维参数优化 - 设计#2
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#d i_V" ~X(xa 制造
公差分析 - 设计#2
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>yHnz?bf@ I z=w2\r 不同光栅周期的
三维参数优化
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Rie[ 制造公差分析
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