摘要
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}/<I xan/ay> 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>9(7h&[Y <XY;fhnB 设计任务
L;nZ0)@@l S]5VEn;pV
c-ttds dp33z"<3 光栅特性与参数的严格分析
X9 z:D> )Xq@v']%~9 不同光栅周期的衍射效率
d~vTD|Et 9PUa?Bc`=
BQ5_s,VM LAizx^F 考虑光栅周期的选择
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y @]8Ep 偏振相关衍射特性
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3j]UEA^ 8x!+tw7 偏振相关衍射特性
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j{-mQTSD xI-=tib 偏振相关衍射特性
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97['VOh0 NvEm,E\| 基于参数优化的光栅设计
i# CaKS j` [#Ij 具有固定周期的二维参数优化
L"Qh_+ E1$Hu{
Usa{J: 二维参数优化 - 设计#1
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</K%i;l e6tH/`Uln 二维参数优化 - 设计#2
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<^H1)=tlF 制造
公差分析 - 设计#2
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A^}i^ 不同光栅周期的
三维参数优化
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[fE lM@<_=2 制造公差分析
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