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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-15
    摘要 Q*8 x Bi1  
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    对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "J `#  
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    VirtualLab Fusion中查看 UUvR>5@n  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 CH6;jo]  
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    •构造光栅结构 &b]_#c   
    - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] O44Fj)  
    - 倾斜光栅的高级配置[用例] |"}rC >+  
    •分析光栅衍射效率 r4]hcoU  
    - 光栅级次分析器[用例] k?Njge6@  
    •使用参数优化优化光栅参数 |#B)`r8  
    •使用参数运行进行容差分析 iS`ok  
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