摘要
` Yk~2t"V up[9L | 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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U 6(( VR86ok 建模任务
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Lu.D,oP -f&16pc1t 1阶的
参数优化 U(lcQC`$ g@IV|C( *0 
9`83cL BCDmce`=l 结果-容差分析
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3 [R<Jr O }2W scxL 结果-容差分析
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Bw;gl^:UG 在
VirtualLab Fusion中查看
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jJ2T VirtualLab Fusion的工作流程
Y(aEp_kV 20 <$f •构造光栅结构
l@;UwnI - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
#w%d - 倾斜光栅的高级配置[用例]
KpHt(>NR •分析光栅衍射效率
` Aa}q(}k - 光栅级次分析器[用例]
t)#8r,9c •使用参数优化优化光栅参数
C5}c?=#bdf •使用参数运行进行
容差分析 d:Y!!LV-@L - 参数运行文档的用法[用例]
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oXC|q -(C ?]*WVjskE VirtualLab Fusion技术
N>R\ ,n|I %bu$t, 
