摘要
I&c ~8Dw a[bBT@f 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Huw\&E 2U
kK0ls
V2Q$g^X' F7m?xy 建模任务
Id'RL2Kq*& !4"sX+z9
6Sj6i^" -a Gcf]6 1阶的
参数优化 }S-DB#6 u#7+U\
Wx'Kp+9' p4> $z& _ 结果-容差分析
u),Qa=Wp A?Q a 4i
!M<{E* WnFG{S{s 结果-容差分析
6Z?j AXGSq K[\'"HyQ,X
S/vf'gj {@}?k s5 在
VirtualLab Fusion中查看
Wm'QP4` 9&%fq)gS
5y2?
f %m5Q"4O VirtualLab Fusion的工作流程
C.:=lo B _zxLwU1(x •构造光栅结构
)Ag/Qep - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
0XwHP{XaO - 倾斜光栅的高级配置[用例]
^ OJyN,A •分析光栅衍射效率
g3@Rl2yQJ - 光栅级次分析器[用例]
2g*J •使用参数优化优化光栅参数
R)?{]]v •使用参数运行进行
容差分析 ln*icaDqf - 参数运行文档的用法[用例]
x)rlyjFM sGDV]~E
XB hb`AG $m1<i?'m VirtualLab Fusion技术
1RLY $M P=L$;xgp